சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு கொண்ட வேஃபர் கேரியர்கள்

வேஃபர் கேரியர்கள்உடன்சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுசெமிசெராவிலிருந்து உயர் செயல்திறன் கொண்ட எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்காக திறமையாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, உகந்த முடிவுகளை உறுதி செய்கிறதுஎஸ்ஐ எபிடாக்ஸிமற்றும்SiC எபிடாக்ஸிபயன்பாடுகள். செமிசெராவின் துல்லிய-பொறியியல் கேரியர்கள் தீவிர நிலைமைகளைத் தாங்கும் வகையில் கட்டமைக்கப்பட்டுள்ளன, அதிக துல்லியம் மற்றும் நீடித்துழைப்பு தேவைப்படும் தொழில்களுக்கு MOCVD சஸ்பெப்டர் அமைப்புகளில் அவை இன்றியமையாத கூறுகளாக அமைகின்றன.

இந்த செதில் கேரியர்கள் பல்துறை, போன்ற உபகரணங்களுடன் முக்கியமான செயல்முறைகளை ஆதரிக்கின்றனPSS பொறித்தல் கேரியர், ICP பொறித்தல் கேரியர், மற்றும்RTP கேரியர். அவற்றின் வலுவான SiC பூச்சு போன்ற பயன்பாடுகளுக்கான செயல்திறனை அதிகரிக்கிறதுஎல்இடி எபிடாக்சியல்சஸ்செப்டர் மற்றும் மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான், கோரும் சூழல்களிலும் சீரான முடிவுகளை உறுதி செய்கிறது.

பேரல் சஸ்செப்டர் மற்றும் பான்கேக் சஸ்செப்டர் போன்ற பல கட்டமைப்புகளில் கிடைக்கிறது, இந்த கேரியர்கள் ஒளிமின்னழுத்த மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன, ஒளிமின்னழுத்த பாகங்கள் உற்பத்தியை ஆதரிக்கின்றன மற்றும் SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளில் GaN ஐ எளிதாக்குகின்றன. அவற்றின் சிறந்த வடிவமைப்புடன், இந்த கேரியர்கள் அதிக திறன் கொண்ட உற்பத்தியை இலக்காகக் கொண்ட உற்பத்தியாளர்களுக்கு ஒரு முக்கிய சொத்தாக இருக்கின்றன.