CVD SiC பூச்சு
சிலிக்கான் கார்பைடு(SiC) எபிடாக்ஸி
SiC எபிடாக்சியல் ஸ்லைஸை வளர்ப்பதற்கான SiC அடி மூலக்கூறை வைத்திருக்கும் எபிடாக்சியல் தட்டு, எதிர்வினை அறையில் வைக்கப்பட்டு, செதில்களை நேரடியாக தொடர்பு கொள்கிறது.
மேல் அரை நிலவு பகுதி Sic epitaxy உபகரணங்களின் எதிர்வினை அறையின் மற்ற பாகங்களுக்கு ஒரு கேரியர் ஆகும், அதே சமயம் கீழ் அரை நிலவு பகுதி குவார்ட்ஸ் குழாயுடன் இணைக்கப்பட்டுள்ளது, சஸ்பெப்டர் தளத்தை சுழற்றுவதற்கு வாயுவை அறிமுகப்படுத்துகிறது.அவை வெப்பநிலையைக் கட்டுப்படுத்தக்கூடியவை மற்றும் செதில்களுடன் நேரடி தொடர்பு இல்லாமல் எதிர்வினை அறையில் நிறுவப்பட்டுள்ளன.
எபிடாக்ஸி
Si எபிடாக்சியல் ஸ்லைஸை வளர்ப்பதற்கு Si அடி மூலக்கூறை வைத்திருக்கும் தட்டு, எதிர்வினை அறையில் வைக்கப்பட்டு, செதில்களை நேரடியாக தொடர்பு கொள்கிறது.
முன் சூடாக்கும் வளையம் Si epitaxial அடி மூலக்கூறு தட்டில் வெளிப்புற வளையத்தில் அமைந்துள்ளது மற்றும் அளவுத்திருத்தம் மற்றும் வெப்பமாக்கலுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.இது எதிர்வினை அறையில் வைக்கப்படுகிறது மற்றும் செதில் நேரடியாக தொடர்பு கொள்ளாது.
ஒரு எபிடாக்சியல் சஸ்பெப்டர், இது Si எபிடாக்சியல் ஸ்லைஸை வளர்ப்பதற்காக Si அடி மூலக்கூறை வைத்திருக்கும், இது எதிர்வினை அறையில் வைக்கப்பட்டு செதில்களை நேரடியாக தொடர்பு கொள்கிறது.
எபிடாக்சியல் பீப்பாய் என்பது பல்வேறு குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் முக்கிய கூறுகள், பொதுவாக MOCVD உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு, அதிக வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த மிகவும் பொருத்தமானது.இது செதில்களைத் தொடர்பு கொள்கிறது.
| 重结晶碳化硅物理特性 மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைட்டின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
| 性质 / சொத்து | 典型数值 / வழக்கமான மதிப்பு |
| 使用温度 / வேலை செய்யும் வெப்பநிலை (°C) | 1600°C (ஆக்ஸிஜனுடன்), 1700°C (சுற்றுச்சூழலைக் குறைக்கிறது) |
| SiC 含量 / SiC உள்ளடக்கம் | > 99.96% |
| 自由 Si 含量 / இலவச Si உள்ளடக்கம் | <0.1% |
| 体积密度 / மொத்த அடர்த்தி | 2.60-2.70 கிராம்/செ.மீ3 |
| 气孔率 / வெளிப்படையான போரோசிட்டி | < 16% |
| 抗压强度 / சுருக்க வலிமை | > 600 MPa |
| 常温抗弯强度 / குளிர் வளைக்கும் வலிமை | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度 சூடான வளைக்கும் வலிமை | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数 / வெப்ப விரிவாக்கம் @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数 / வெப்ப கடத்துத்திறன் @1200°C | 23 W/m•K |
| 杨氏模量 / மீள் மாடுலஸ் | 240 GPa |
| 抗热震性 / வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு | மிகவும் நல்லது |
| 烧结碳化硅物理特性 சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
| 性质 / சொத்து | 典型数值 / வழக்கமான மதிப்பு |
| 化学成分 / இரசாயன கலவை | SiC>95%, Si<5% |
| 体积密度 / மொத்த அடர்த்தி | >3.07 g/cm³ |
| 显气孔率 / வெளிப்படையான போரோசிட்டி | <0.1% |
| 常温抗弯强度 / 20℃ இல் முறிவு மாடுலஸ் | 270 MPa |
| 高温抗弯强度 / 1200℃ இல் முறிவு மாடுலஸ் | 290 MPa |
| 硬度 / 20℃ இல் கடினத்தன்மை | 2400 கிகி/மிமீ² |
| 断裂韧性 / எலும்பு முறிவு கடினத்தன்மை 20% | 3.3 MPa · மீ1/2 |
| 导热系数 / 1200℃ வெப்ப கடத்துத்திறன் | 45 w/m .K |
| 热膨胀系数 / 20-1200℃ வெப்ப விரிவாக்கம் | 4.5 1 × 10 -6/℃ |
| 最高工作温度 / அதிகபட்ச வேலை வெப்பநிலை | 1400℃ |
| 热震稳定性 / 1200℃ வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு | நல்ல |
| CVD SiC 薄膜基本物理性能 CVD SiC படங்களின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
| 性质 / சொத்து | 典型数值 / வழக்கமான மதிப்பு |
| 晶体结构 / படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
| 密度 / அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / கடினத்தன்மை 2500 | 维氏硬度 (500 கிராம் சுமை) |
| 晶粒大小 / தானிய அளவு | 2~10μm |
| 纯度 / இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
| 热容 / வெப்ப திறன் | 640 ஜே·கிலோ-1·கே-1 |
| 升华温度 / பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
| 抗弯强度 / நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
| 杨氏模量 / யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
| 导热系数 / வெப்ப கடத்துத்திறன் | 300W·m-1·கே-1 |
| 热膨胀系数 / வெப்ப விரிவாக்கம்(CTE) | 4.5×10-6 K -1 |
பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு
முக்கிய அம்சங்கள்
மேற்பரப்பு அடர்த்தியானது மற்றும் துளைகள் இல்லாதது.
அதிக தூய்மை, மொத்த தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம் <20ppm, நல்ல காற்று புகாத தன்மை.
அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அதிகரிக்கும் பயன்பாட்டு வெப்பநிலையுடன் வலிமை அதிகரிக்கிறது, அதிகபட்ச மதிப்பை 2750℃ அடையும், 3600℃ இல் பதங்கமாதல்.
குறைந்த மீள் மாடுலஸ், அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் மற்றும் சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு.
நல்ல இரசாயன நிலைப்புத்தன்மை, அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம வினைகளை எதிர்க்கும் மற்றும் உருகிய உலோகங்கள், கசடுகள் மற்றும் பிற அரிக்கும் ஊடகங்களில் எந்த விளைவையும் ஏற்படுத்தாது.இது வளிமண்டலத்தில் 400 C க்கும் குறைவான ஆக்ஸிஜனேற்றம் செய்யாது, மேலும் ஆக்சிஜனேற்ற விகிதம் 800 ℃ இல் கணிசமாக அதிகரிக்கிறது.
அதிக வெப்பநிலையில் எந்த வாயுவையும் வெளியிடாமல், 1800°C இல் 10-7mmHg வெற்றிடத்தை அது பராமரிக்க முடியும்.
தயாரிப்பு பயன்பாடு
செமிகண்டக்டர் தொழிலில் ஆவியாதல் உருகும் சிலுவை.
உயர் சக்தி மின்னணு குழாய் வாயில்.
மின்னழுத்த சீராக்கியுடன் தொடர்பு கொள்ளும் தூரிகை.
எக்ஸ்ரே மற்றும் நியூட்ரானுக்கு கிராஃபைட் மோனோக்ரோமேட்டர்.
கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளின் பல்வேறு வடிவங்கள் மற்றும் அணு உறிஞ்சும் குழாய் பூச்சு.
500X நுண்ணோக்கியின் கீழ் பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு விளைவு, அப்படியே மற்றும் சீல் செய்யப்பட்ட மேற்பரப்புடன்.
CVD டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு
TaC பூச்சு புதிய தலைமுறை உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு பொருள், SiC ஐ விட சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை கொண்டது.அரிப்பை-எதிர்ப்பு பூச்சு, ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு பூச்சு மற்றும் அணிய-எதிர்ப்பு பூச்சு, 2000C க்கும் அதிகமான சூழலில் பயன்படுத்தப்படலாம், இது ஏரோஸ்பேஸ் அதி-உயர் வெப்பநிலை வெப்ப இறுதி பாகங்கள், மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி ஒற்றை படிக வளர்ச்சி துறைகளில் பரவலாக பயன்படுத்தப்படுகிறது.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
| 密度/ அடர்த்தி | 14.3 (g/cm3) |
| 比辐射率 /குறிப்பிட்ட உமிழ்வு | 0.3 |
| 热膨胀系数/ வெப்ப விரிவாக்க குணகம் | 6.3 10/கே |
| 努氏硬度 / கடினத்தன்மை (HK) | 2000 எச்.கே |
| 电阻/ எதிர்ப்பு | 1x10-5 ஓம்* செ.மீ |
| 热稳定性 /வெப்ப நிலைத்தன்மை | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化/கிராஃபைட் அளவு மாற்றங்கள் | -10~-20um |
| 涂层厚度/பூச்சு தடிமன் | ≥220um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |
திட சிலிக்கான் கார்பைடு (CVD SiC)
திடமான CVD SILICON CARBIDE பாகங்கள் RTP/EPI மோதிரங்கள் மற்றும் தளங்கள் மற்றும் பிளாஸ்மா எட்ச் குழி பகுதிகளுக்கான முதன்மைத் தேர்வாக அங்கீகரிக்கப்பட்டுள்ளன, அவை அதிக அமைப்பு தேவைப்படும் இயக்க வெப்பநிலையில் (> 1500°C), தூய்மைக்கான தேவைகள் குறிப்பாக அதிகமாக உள்ளன (> 99.9995%) எதிர்ப்பு டோல் இரசாயனங்கள் குறிப்பாக அதிகமாக இருக்கும் போது செயல்திறன் சிறப்பாக இருக்கும்.இந்த பொருட்கள் தானிய விளிம்பில் இரண்டாம் நிலைகளைக் கொண்டிருக்கவில்லை, எனவே il கூறுகள் மற்ற பொருட்களை விட குறைவான துகள்களை உருவாக்குகின்றன.கூடுதலாக, இந்த கூறுகளை சூடான HF/HCI ஐப் பயன்படுத்தி சிறிய சிதைவுடன் சுத்தம் செய்யலாம், இதன் விளைவாக குறைவான துகள்கள் மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை கிடைக்கும்.
