SiC வேஃபர் படகு
சிலிக்கான் கார்பைடு செதில் படகுசெதில்களுக்கான சுமை தாங்கும் சாதனம், முக்கியமாக சூரிய மற்றும் குறைக்கடத்தி பரவல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. உடைகள் எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, உயர்-வெப்பநிலை தாக்க எதிர்ப்பு, பிளாஸ்மா குண்டுவீச்சுக்கு எதிர்ப்பு, அதிக வெப்பநிலை தாங்கும் திறன், அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், அதிக வெப்பச் சிதறல் மற்றும் வளைக்க மற்றும் சிதைக்க எளிதானது அல்லாத நீண்ட காலப் பயன்பாடு போன்ற பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. எங்கள் நிறுவனம் சேவை வாழ்க்கையை உறுதிப்படுத்த உயர் தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடு பொருளைப் பயன்படுத்துகிறது மற்றும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட வடிவமைப்புகளை வழங்குகிறது. பல்வேறு செங்குத்து மற்றும் கிடைமட்டசெதில் படகு.
SiC துடுப்பு
திசிலிக்கான் கார்பைடு கான்டிலீவர் துடுப்புஇது முக்கியமாக சிலிக்கான் செதில்களின் (பரவல்) பூச்சுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது அதிக வெப்பநிலையில் சிலிக்கான் செதில்களை ஏற்றி கொண்டு செல்வதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. இது ஒரு முக்கிய அங்கமாகும்குறைக்கடத்தி செதில்ஏற்றுதல் அமைப்புகள் மற்றும் பின்வரும் முக்கிய பண்புகள் உள்ளன:
1. இது அதிக வெப்பநிலை சூழலில் சிதைக்காது மற்றும் செதில்களில் அதிக ஏற்றுதல் சக்தியைக் கொண்டுள்ளது;
2. இது கடுமையான குளிர் மற்றும் விரைவான வெப்பத்தை எதிர்க்கும் மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை கொண்டது;
3. வெப்ப விரிவாக்க குணகம் சிறியது, பராமரிப்பு மற்றும் சுத்தம் சுழற்சியை பெரிதும் நீட்டிக்கிறது, மேலும் மாசுபடுத்திகளை கணிசமாக குறைக்கிறது.
SiC உலை குழாய்
சிலிக்கான் கார்பைடு செயல்முறை குழாய், உலோக அசுத்தங்கள் இல்லாமல் உயர்-தூய்மை SiC யால் ஆனது, செதில்களை மாசுபடுத்தாது, மேலும் குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த பரவல், அனீலிங் மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற செயல்முறை போன்ற செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது.
SiC ரோபோ ஆர்ம்
SiC ரோபோ கை, வேஃபர் டிரான்ஸ்ஃபர் எண்ட் எஃபெக்டர் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, இது செமிகண்டக்டர் செதில்களைக் கொண்டு செல்லப் பயன்படும் ஒரு ரோபோ கை ஆகும், மேலும் இது குறைக்கடத்தி, ஒளியியல் மற்றும் சூரிய ஆற்றல் தொழில்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. உயர் தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடைப் பயன்படுத்துதல், அதிக கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு, நில அதிர்வு எதிர்ப்பு, சிதைவின்றி நீண்ட கால பயன்பாடு, நீண்ட சேவை வாழ்க்கை, முதலியன தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகளை வழங்க முடியும்.
படிக வளர்ச்சிக்கான கிராஃபைட்
கிராஃபைட் வெப்ப கவசம்
கிராஃபைட் மின்முனை குழாய்
கிராஃபைட் டிஃப்ளெக்டர்
கிராஃபைட் சக்
செமிகண்டக்டர் crvstals வளர்ச்சிக்கு பயன்படுத்தப்படும் அனைத்து செயல்முறைகளும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் செயல்படுகின்றன. படிக வளர்ச்சி உலையின் வெப்ப மண்டலம் பொதுவாக வெப்ப-எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பை-எதிர்ப்பு உயர் தூய்மை கொண்டதாக இருக்கும். கிராஃபைட் ஹீட்டர்கள், க்ரூசிபிள்கள், சிலிண்டர்கள், டிஃப்ளெக்டர், சக்ஸ், டியூப்கள், மோதிரங்கள், ஹோல்டர்கள், கொட்டைகள் போன்ற கிராஃபைட் கூறுகள், எங்கள் முடிக்கப்பட்ட தயாரிப்பு 5ppm க்கும் குறைவான சாம்பல் உள்ளடக்கத்தை அடைய முடியும்.
செமிடண்டக்டர் எபிடாக்ஸிக்கான கிராஃபைட்
MOCVD கிராஃபைட் பாகங்கள்
செமிகண்டக்டர் கிராஃபைட் பொருத்துதல்
எபிடாக்சியல் செயல்முறை என்பது ஒரு படிக அடி மூலக்கூறில் ஒரே படிகப் பொருளின் வளர்ச்சியைக் குறிக்கிறது. இதற்கு பல அதி-உயர் தூய்மை கிராஃபைட் பாகங்கள் மற்றும் SIC பூச்சுடன் கூடிய கிராஃபைட் தளம் தேவைப்படுகிறது. செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸிக்காகப் பயன்படுத்தப்படும் உயர் தூய்மை கிராஃபைட் பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது, இது தொழில்துறையில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் உபகரணங்களுடன் பொருந்தக்கூடியது, அதே நேரத்தில், இது மிக அதிகமாக உள்ளது. தூய்மை, சீரான பூச்சு, சிறந்த சேவை வாழ்க்கை, மற்றும் மிக அதிக இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை.
காப்பு பொருள் மற்றும் பிற
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் வெப்ப காப்பு பொருட்கள் கிராஃபைட் கடின உணர்தல், மென்மையான உணர்தல், கிராஃபைட் படலம், கார்பன் கலவை பொருட்கள் போன்றவை. எங்கள் மூலப்பொருட்கள் இறக்குமதி செய்யப்பட்ட கிராஃபைட் பொருட்கள், அவை வாடிக்கையாளர்களின் விவரக்குறிப்புகளின்படி வெட்டப்படலாம், மேலும் அவை விற்கப்படலாம். முழுவதும். கார்பன் கலவைப் பொருள் பொதுவாக சூரிய மோனோகிரிஸ்டல் மற்றும் பாலிசிலிகான் செல் உற்பத்தி செயல்முறைக்கு கேரியராகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.