பொறித்தல் செயல்முறை பாகங்கள்

குறைக்கடத்தி செதில் பரிமாற்றத்திற்கான PSS செயலாக்க கேரியர்
தனிப்பயன் குறைக்கடத்தி ICP தட்டு (பொறித்தல்)
LED எட்ச் சிலிக்கான் கார்பைடு தாங்கி தட்டு, ICP தட்டு (Etch)
அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்பை எதிர்க்கும் LED சிலிக்கான் கார்பைடு பொறித்தல் தட்டு (ICP பொறித்தல் தட்டு)
ஆர்டிபி/ஆர்டிஏ விரைவான வெப்பமூட்டும் வெப்ப சிகிச்சைக்கான SiC கேரியர்
LED தொழிற்துறையில் ICP பொறித்தல் செயல்முறைகளுக்கான SiC பின் தட்டுகள்
குறைக்கடத்திக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு RTA கேரியர் தட்டு
குறைக்கடத்தி பொறிப்பதற்கான SiC பூச்சு கேரியர்கள்