முக்கிய அம்சங்கள்:
1. உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு:
வெப்பநிலை 1600 C ஆக இருக்கும்போது ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு இன்னும் நன்றாக இருக்கும்.
2. உயர் தூய்மை : அதிக வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலையில் இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் செய்யப்படுகிறது.
3. அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, கச்சிதமான மேற்பரப்பு, நுண்ணிய துகள்கள்.
4. அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.
முக்கிய விவரக்குறிப்புகள்CVD-SIC பூச்சு
| SiC-CVD பண்புகள் | ||
| படிக அமைப்பு | FCC β கட்டம் | |
| அடர்த்தி | g/cm ³ | 3.21 |
| கடினத்தன்மை | விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை | 2500 |
| தானிய அளவு | μm | 2~10 |
| இரசாயன தூய்மை | % | 99.99995 |
| வெப்ப திறன் | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | ℃ | 2700 |
| Felexural வலிமை | MPa (RT 4-புள்ளி) | 415 |
| யங்ஸ் மாடுலஸ் | Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) | 430 |
| வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| வெப்ப கடத்தி | (W/mK) | 300 |
