SOI வேஃபர்ஸ்

குறுகிய விளக்கம்:

SOI செதில் என்பது மூன்று அடுக்குகளைக் கொண்ட ஒரு சாண்ட்விச் போன்ற அமைப்பாகும்;மேல் அடுக்கு (சாதன அடுக்கு), புதைக்கப்பட்ட ஆக்ஸிஜன் அடுக்கின் நடுப்பகுதி (இன்சுலேடிங் SiO2 அடுக்குக்கு) மற்றும் கீழ் அடி மூலக்கூறு (மொத்த சிலிக்கான்) உட்பட.SOI செதில்கள் SIMOX முறை மற்றும் செதில் பிணைப்பு தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி தயாரிக்கப்படுகின்றன, இது மெல்லிய மற்றும் துல்லியமான சாதன அடுக்குகள், சீரான தடிமன் மற்றும் குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தி ஆகியவற்றை அனுமதிக்கிறது.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

SOI வேஃபர்ஸ்(1)

பயன்பாட்டு புலம்

1. அதிவேக ஒருங்கிணைந்த சுற்று

2. மைக்ரோவேவ் சாதனங்கள்

3. உயர் வெப்பநிலை ஒருங்கிணைந்த சுற்று

4. சக்தி சாதனங்கள்

5. குறைந்த சக்தி ஒருங்கிணைந்த சுற்று

6. MEMS

7. குறைந்த மின்னழுத்த ஒருங்கிணைந்த சுற்று

பொருள்		வாதம்
ஒட்டுமொத்த	செதில் விட்டம் 晶圆尺寸(மிமீ)	50/75/100/125/150/200mm±25um
	வில்/வார்ப் 翘曲度(	<10um
	துகள்கள் 颗粒度(	0.3um<30ea
	பிளாட்/நாட்ச் 定位边/定位槽	பிளாட் அல்லது நாட்ச்
	எட்ஜ் விலக்கு 边缘去除(மிமீ)	/
சாதன அடுக்கு 器件层	சாதன அடுக்கு வகை/டோபண்ட் 器件层掺杂类型	N-வகை/P-வகை B/ P/ Sb / As
	சாதன அடுக்கு நோக்குநிலை 器件层晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	சாதன அடுக்கு தடிமன் 器件层厚度(உம்)	0.1~300um
	சாதன அடுக்கு எதிர்ப்பு 器件层电阻率(ohm•cm)	0.001~100,000 ஓம்-செ.மீ
	சாதன அடுக்கு துகள்கள் 器件层颗粒度(	<30ea@0.3
	சாதன அடுக்கு TTV 器件层TTV(	<10um
	சாதன லேயர் பினிஷ் 器件层表面处理	மெருகூட்டப்பட்டது
பெட்டி	புதைக்கப்பட்ட வெப்ப ஆக்சைடு தடிமன் 埋氧层厚度(உம்)	50nm(500Å)~15um
கைப்பிடி அடுக்கு 衬底	கைப்பிடி வேஃபர் வகை/டோபண்ட் 衬底层类型	N-வகை/P-வகை B/ P/ Sb / As
	வேஃபர் நோக்குநிலையைக் கையாளவும் 衬底晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	வேஃபர் ரெசிஸ்டிவிட்டியைக் கையாளவும் 衬底电阻率(ohm•cm)	0.001~100,000 ஓம்-செ.மீ
	வேஃபர் தடிமனைக் கையாளவும் 衬底厚度(உம்)	>100um
	கைப்பிடி வேஃபர் பினிஷ் 衬底表面处理	மெருகூட்டப்பட்டது
இலக்கு விவரக்குறிப்புகளின் SOI செதில்கள் வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கப்படலாம்.