செமிசெராசிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சுமிகவும் கடினமான மற்றும் அணிய-எதிர்ப்பு சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பொருளால் செய்யப்பட்ட உயர் செயல்திறன் பாதுகாப்பு பூச்சு ஆகும். பூச்சு பொதுவாக அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் CVD அல்லது PVD செயல்முறை மூலம் டெபாசிட் செய்யப்படுகிறதுசிலிக்கான் கார்பைடு துகள்கள், சிறந்த இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. எனவே, சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி உபகரணங்களின் முக்கிய பாகங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
குறைக்கடத்தி தயாரிப்பில்,SiC பூச்சு1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை மிக அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும், எனவே சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பூச்சு அதிக வெப்பநிலை அல்லது அரிக்கும் சூழல்களில் சேதத்தைத் தடுக்க உபகரணங்கள் அல்லது கருவிகளுக்கான பாதுகாப்பு அடுக்காகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
அதே நேரத்தில்,சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பூச்சுஅமிலங்கள், காரங்கள், ஆக்சைடுகள் மற்றும் பிற இரசாயன உலைகளின் அரிப்பை எதிர்க்க முடியும், மேலும் பல்வேறு இரசாயனப் பொருட்களுக்கு அதிக அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. எனவே, இந்த தயாரிப்பு குறைக்கடத்தி துறையில் பல்வேறு அரிக்கும் சூழல்களுக்கு ஏற்றது.
மேலும், மற்ற பீங்கான் பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது, SiC அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்டது மற்றும் வெப்பத்தை திறம்பட நடத்த முடியும். துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில், உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் என்பதை இந்த அம்சம் தீர்மானிக்கிறது.சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சுவெப்பத்தை சமமாக சிதறடிக்கவும், உள்ளூர் வெப்பமடைவதைத் தடுக்கவும், சாதனம் உகந்த வெப்பநிலையில் செயல்படுவதை உறுதி செய்யவும் உதவுகிறது.
| CVD sic பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
| சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
| படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
| அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
| கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
| தானிய அளவு | 2~10μm |
| இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
| வெப்ப திறன் | 640 ஜே·கிலோ-1·கே-1 |
| பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
| நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
| யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
| வெப்ப கடத்துத்திறன் | 300W·m-1·கே-1 |
| வெப்ப விரிவாக்கம்(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
