ஆழமான UV-LEDக்கான SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்

குறுகிய விளக்கம்:

செமிசெரா எனர்ஜி டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி மட்பாண்டங்களின் முன்னணி சப்ளையர்.எங்களின் முக்கிய தயாரிப்புகளில் பின்வருவன அடங்கும்: சிலிக்கான் கார்பைடு பொறிக்கப்பட்ட டிஸ்க்குகள், சிலிக்கான் கார்பைடு படகு டிரெய்லர்கள், சிலிக்கான் கார்பைடு செதில் கப்பல்கள் (PV & செமிகண்டக்டர்), சிலிக்கான் கார்பைடு உலை குழாய்கள், சிலிக்கான் கார்பைடு கான்டிலீவர் துடுப்புகள், சிலிக்கான் கார்பைடு சக், சிலிக்கான், சி கார்பைடு மற்றும் டி. TaC பூச்சுகள்.

தயாரிப்புகள் முக்கியமாக செமிகண்டக்டர் மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த தொழில்களில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அதாவது படிக வளர்ச்சி, எபிடாக்ஸி, எச்சிங், பேக்கேஜிங், பூச்சு மற்றும் பரவல் உலை உபகரணங்கள்.

 

தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

விளக்கம்

எங்கள் நிறுவனம் கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் மற்றும் பிற பொருட்களின் மேற்பரப்பில் சிவிடி முறையில் SiC பூச்சு செயல்முறை சேவைகளை வழங்குகிறது, இதனால் கார்பன் மற்றும் சிலிக்கான் கொண்ட சிறப்பு வாயுக்கள் அதிக வெப்பநிலையில் வினைபுரிந்து அதிக தூய்மையான SiC மூலக்கூறுகள், பூசப்பட்ட பொருட்களின் மேற்பரப்பில் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட மூலக்கூறுகள், SIC பாதுகாப்பு அடுக்கை உருவாக்குகிறது.

6

UV-LED-1

UV-LED-2

முக்கிய அம்சங்கள்

1. உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: வெப்பநிலை 1600 C ஆக இருக்கும் போது ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு இன்னும் நன்றாக இருக்கும்.
2. உயர் தூய்மை : அதிக வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலையில் இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் செய்யப்படுகிறது.
3. அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, கச்சிதமான மேற்பரப்பு, நுண்ணிய துகள்கள்.
4. அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.

CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள்

SiC-CVD பண்புகள்
படிக அமைப்பு FCC β கட்டம்
அடர்த்தி g/cm ³ 3.21
கடினத்தன்மை விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை 2500
தானிய அளவு μm 2~10
இரசாயன தூய்மை % 99.99995
வெப்ப திறன் J·kg-1 ·K-1 640
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை 2700
Felexural வலிமை MPa (RT 4-புள்ளி) 415
யங்ஸ் மாடுலஸ் Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) 430
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) 10-6K-1 4.5
வெப்ப கடத்தி (W/mK) 300
செமிசெரா வேலை இடம்
செமிசெரா வேலை இடம் 2
உபகரணங்கள் இயந்திரம்
CNN செயலாக்கம், இரசாயன சுத்தம், CVD பூச்சு
எங்கள் சேவை

  • முந்தைய:
  • அடுத்தது: