செமிசெராவிலிருந்து வரும் சாலிட் எஸ்ஐசி ஃபோகஸ் ரிங் என்பது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு அதிநவீன கூறு ஆகும். உயர் தூய்மையில் இருந்து தயாரிக்கப்படுகிறதுசிலிக்கான் கார்பைடு (SiC), இந்த ஃபோகஸ் ரிங் என்பது, செமிகண்டக்டர் துறையில், குறிப்பாக, பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதுCVD SiC செயல்முறைகள், பிளாஸ்மா பொறித்தல், மற்றும்ICPRIE (இண்டக்டிவ்லி கபுல்டு பிளாஸ்மா ரியாக்டிவ் அயன் எட்ச்சிங்). அதன் விதிவிலக்கான உடைகள் எதிர்ப்பு, உயர் வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் தூய்மை ஆகியவற்றிற்கு பெயர் பெற்றது, இது அதிக அழுத்த சூழல்களில் நீண்டகால செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.
குறைக்கடத்தியில்செதில்செயலாக்கம், உலர் பொறித்தல் மற்றும் செதில் பொறித்தல் பயன்பாடுகளின் போது துல்லியமான செதுக்கலை பராமரிப்பதில் திட SiC ஃபோகஸ் ரிங்க்ஸ் முக்கியமானவை. SiC ஃபோகஸ் ரிங் பிளாஸ்மா பொறித்தல் இயந்திர செயல்பாடுகள் போன்ற செயல்முறைகளின் போது பிளாஸ்மாவை மையப்படுத்த உதவுகிறது, சிலிக்கான் செதில்களை பொறிப்பதற்கு இது இன்றியமையாததாக ஆக்குகிறது. திடமான SiC பொருள் அரிப்புக்கு இணையற்ற எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, உங்கள் உபகரணங்களின் நீண்ட ஆயுளை உறுதி செய்கிறது மற்றும் வேலையில்லா நேரத்தை குறைக்கிறது, இது குறைக்கடத்தி தயாரிப்பில் அதிக செயல்திறனை பராமரிக்க அவசியம்.
செமிசெராவிலிருந்து வரும் சாலிட் எஸ்ஐசி ஃபோகஸ் ரிங், செமிகண்டக்டர் துறையில் பொதுவாக எதிர்கொள்ளும் தீவிர வெப்பநிலை மற்றும் ஆக்கிரமிப்பு இரசாயனங்களை தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது போன்ற உயர் துல்லியமான பணிகளில் பயன்படுத்த குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளதுCVD SiC பூச்சுகள், தூய்மை மற்றும் ஆயுள் மிக முக்கியமானது. வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு சிறந்த எதிர்ப்புடன், இந்த தயாரிப்பு கடுமையான நிலைமைகளின் கீழ் நிலையான மற்றும் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது, இதில் அதிக வெப்பநிலையின் வெளிப்பாடு உட்படசெதில்பொறித்தல் செயல்முறைகள்.
செமிகண்டக்டர் பயன்பாடுகளில், துல்லியமும் நம்பகத்தன்மையும் முக்கியமாக இருக்கும், சாலிட் SiC ஃபோகஸ் ரிங் பொறித்தல் செயல்முறைகளின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை மேம்படுத்துவதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. அதன் வலுவான, உயர்-செயல்திறன் வடிவமைப்பு, தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் செயல்படும் உயர்-தூய்மை கூறுகள் தேவைப்படும் தொழில்களுக்கு சரியான தேர்வாக அமைகிறது. பயன்படுத்தப்பட்டாலும் சரிCVD SiC வளையம்பயன்பாடுகள் அல்லது பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்முறையின் ஒரு பகுதியாக, செமிசெராவின் சாலிட் SiC ஃபோகஸ் ரிங் உங்கள் சாதனங்களின் செயல்திறனை மேம்படுத்த உதவுகிறது, உங்கள் உற்பத்தி செயல்முறைகள் தேவைப்படும் நீண்ட ஆயுளையும் நம்பகத்தன்மையையும் வழங்குகிறது.
முக்கிய அம்சங்கள்:
• உயர்ந்த உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக வெப்ப நிலைத்தன்மை
• நீண்ட ஆயுட்காலத்திற்கான உயர்-தூய்மை திட SiC பொருள்
• பிளாஸ்மா பொறித்தல், ICP RIE மற்றும் உலர் எச்சிங் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது
• செதில் செதுக்குவதற்கு ஏற்றது, குறிப்பாக CVD SiC செயல்முறைகளில்
தீவிர சூழல்கள் மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் நம்பகமான செயல்திறன்
• சிலிக்கான் செதில்களை பொறிப்பதில் துல்லியம் மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது
பயன்பாடுகள்:
• குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் CVD SiC செயல்முறைகள்
• பிளாஸ்மா பொறித்தல் மற்றும் ICP RIE அமைப்புகள்
• உலர் பொறித்தல் மற்றும் செதில் பொறித்தல் செயல்முறைகள்
• பிளாஸ்மா பொறித்தல் இயந்திரங்களில் பொறித்தல் மற்றும் படிதல்
• செதில் வளையங்கள் மற்றும் CVD SiC வளையங்களுக்கான துல்லியமான கூறுகள்
CVD SiC மேற்பரப்பின் நுண்ணிய உருவவியல்
CVD SiC குறுக்குவெட்டின் நுண்ணிய உருவவியல்
