RTP CVD SiC வளையம்

சுருக்கமான விளக்கம்:

RTP CVD SiC வளையங்கள் முக்கியமாக சிலிக்கான் கார்பைடால் (SiC) உருவாக்கப்படுகின்றன, அதன் இரசாயன கலவை மற்றும் படிக அமைப்பு சிறந்த செயல்திறனை அளிக்கிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு என்பது அதிக உருகுநிலை, அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்ட ஒரு பீங்கான் பொருள். இது அதிக வெப்பநிலையில் நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது, மேலும் சிறந்த இயந்திர வலிமை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது.

 


தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

சிலிக்கான் கார்பைடு எட்ச்சிங் ரிங் ஏன்?

RTPCVD SiC வளையங்கள்அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் தொழில்துறை மற்றும் அறிவியல் துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி, ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ், துல்லியமான இயந்திரங்கள் மற்றும் இரசாயனத் தொழில் ஆகியவற்றில் இது முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகள் அடங்கும்:

1. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி:RTP CVD SiC வளையங்கள்குறைக்கடத்தி உபகரணங்களை வெப்பமாக்குவதற்கும் குளிரூட்டுவதற்கும், நிலையான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை வழங்குவதற்கும், செயல்முறையின் துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்கும் பயன்படுத்தலாம்.

2. ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ்: அதன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு காரணமாக, RTPCVD SiC வளையங்கள்ஒளிக்கதிர்கள், ஒளியிழை தொடர்பு சாதனங்கள் மற்றும் ஒளியியல் கூறுகளுக்கு ஆதரவு மற்றும் வெப்பச் சிதறல் பொருட்களாகப் பயன்படுத்தப்படலாம்.

3. துல்லியமான இயந்திரங்கள்: RTP CVD SiC மோதிரங்கள் உயர் வெப்பநிலை உலைகள், வெற்றிட சாதனங்கள் மற்றும் இரசாயன உலைகள் போன்ற உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் துல்லியமான கருவிகள் மற்றும் உபகரணங்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.

4. இரசாயனத் தொழில்: அதன் அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மையின் காரணமாக, RTP CVD SiC வளையங்கள் இரசாயன எதிர்வினைகள் மற்றும் வினையூக்க செயல்முறைகளில் கொள்கலன்கள், குழாய்கள் மற்றும் உலைகளில் பயன்படுத்தப்படலாம்.

 

எபி சிஸ்டம்

எபி சிஸ்டம்

RTP அமைப்பு

RTP அமைப்பு

CVD அமைப்பு

CVD அமைப்பு

தயாரிப்பு செயல்திறன்:

1. 28nm கீழே செயல்முறை சந்திக்கவும்

2. சூப்பர் அரிப்பு எதிர்ப்பு

3. சூப்பர் சுத்தமான செயல்திறன்

4. சூப்பர் கடினத்தன்மை

5. அதிக அடர்த்தி

6. உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு

7. எதிர்ப்பை அணியுங்கள்

குவார்ட்ஸ் உற்பத்தி உபகரணங்கள் 4

தயாரிப்பு பயன்பாடு:

சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்கள் அதிக கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றின் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன. சிறந்த விரிவான செயல்திறன் கொண்ட தயாரிப்புகள் உலர் எச்சிங் மற்றும் TF/Diffusion செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

தயாரிப்பு செயல்திறன்:

1. 28nm கீழே செயல்முறை சந்திக்கவும்

2. சூப்பர் அரிப்பு எதிர்ப்பு

3. சூப்பர் சுத்தமான செயல்திறன்

4. சூப்பர் கடினத்தன்மை

5. அதிக அடர்த்தி

6. உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு

7. எதிர்ப்பை அணியுங்கள்

微信截图_20241018182920
微信截图_20241018182909

கூட்டு செயல்முறை வளர்ச்சி:

• கிராஃபைட் +SiC பூச்சு

• சாலிட் CVD SiC

• சிண்டர் செய்யப்பட்ட SiC+CVD

• SicSintered SiC

பல தயாரிப்பு வகை மேம்பாடு:

• மோதிரம்

• அட்டவணை

• சஸ்செப்டர்

• ஷவர் ஹெட்

செமிசெரா வேலை இடம்
செமிசெரா வேலை இடம் 2
செமிசெரா கிடங்கு
உபகரணங்கள் இயந்திரம்
CNN செயலாக்கம், இரசாயன சுத்தம், CVD பூச்சு
எங்கள் சேவை

  • முந்தைய:
  • அடுத்து: