RTPCVD SiC வளையங்கள்அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் தொழில்துறை மற்றும் அறிவியல் துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி, ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ், துல்லியமான இயந்திரங்கள் மற்றும் இரசாயனத் தொழில் ஆகியவற்றில் இது முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகள் அடங்கும்:
1. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி:RTP CVD SiC வளையங்கள்குறைக்கடத்தி உபகரணங்களை வெப்பமாக்குவதற்கும் குளிரூட்டுவதற்கும், நிலையான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை வழங்குவதற்கும், செயல்முறையின் துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்கும் பயன்படுத்தலாம்.
2. ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ்: அதன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு காரணமாக, RTPCVD SiC வளையங்கள்ஒளிக்கதிர்கள், ஒளியிழை தொடர்பு சாதனங்கள் மற்றும் ஒளியியல் கூறுகளுக்கு ஆதரவு மற்றும் வெப்பச் சிதறல் பொருட்களாகப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
3. துல்லியமான இயந்திரங்கள்: RTP CVD SiC மோதிரங்கள் உயர் வெப்பநிலை உலைகள், வெற்றிட சாதனங்கள் மற்றும் இரசாயன உலைகள் போன்ற உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் துல்லியமான கருவிகள் மற்றும் உபகரணங்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
4. இரசாயனத் தொழில்: அதன் அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மையின் காரணமாக, RTP CVD SiC வளையங்கள் இரசாயன எதிர்வினைகள் மற்றும் வினையூக்க செயல்முறைகளில் கொள்கலன்கள், குழாய்கள் மற்றும் உலைகளில் பயன்படுத்தப்படலாம்.
எபி சிஸ்டம்
RTP அமைப்பு
CVD அமைப்பு
தயாரிப்பு செயல்திறன்:
1. 28nm கீழே செயல்முறை சந்திக்கவும்
2. சூப்பர் அரிப்பு எதிர்ப்பு
3. சூப்பர் சுத்தமான செயல்திறன்
4. சூப்பர் கடினத்தன்மை
5. அதிக அடர்த்தி
6. உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு
7. எதிர்ப்பை அணியுங்கள்
தயாரிப்பு பயன்பாடு:
சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்கள் அதிக கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றின் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன. சிறந்த விரிவான செயல்திறன் கொண்ட தயாரிப்புகள் உலர் எச்சிங் மற்றும் TF/Diffusion செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
தயாரிப்பு செயல்திறன்:
1. 28nm கீழே செயல்முறை சந்திக்கவும்
2. சூப்பர் அரிப்பு எதிர்ப்பு
3. சூப்பர் சுத்தமான செயல்திறன்
4. சூப்பர் கடினத்தன்மை
5. அதிக அடர்த்தி
6. உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு
7. எதிர்ப்பை அணியுங்கள்
கூட்டு செயல்முறை வளர்ச்சி:
• கிராஃபைட் +SiC பூச்சு
• சாலிட் CVD SiC
• சிண்டர் செய்யப்பட்ட SiC+CVD
• SicSintered SiC
பல தயாரிப்பு வகை மேம்பாடு:
• மோதிரம்
• அட்டவணை
• சஸ்செப்டர்
• ஷவர் ஹெட்