செய்தி - சிலிக்கான் கார்பைட்டின் கட்டமைப்பு மற்றும் வளர்ச்சி தொழில்நுட்பம் (Ⅱ)

நான்காவது, உடல் நீராவி பரிமாற்ற முறை

இயற்பியல் நீராவி போக்குவரத்து (PVT) முறையானது 1955 இல் Lely கண்டுபிடித்த நீராவி கட்ட பதங்கமாதல் தொழில்நுட்பத்தில் இருந்து உருவானது. SiC தூள் ஒரு கிராஃபைட் குழாயில் வைக்கப்பட்டு, SiC தூளை சிதைத்து பதங்கமாக்க அதிக வெப்பநிலைக்கு சூடேற்றப்படுகிறது, பின்னர் கிராஃபைட் குழாய் குளிர்விக்கப்படுகிறது.SiC தூள் சிதைந்த பிறகு, நீராவி கட்ட கூறுகள் டெபாசிட் செய்யப்பட்டு கிராஃபைட் குழாயைச் சுற்றியுள்ள SiC படிகங்களாக படிகமாக்கப்படுகின்றன.இந்த முறை பெரிய அளவிலான SiC ஒற்றை படிகங்களைப் பெறுவது கடினம் என்றாலும், கிராஃபைட் குழாயில் படிவு செயல்முறையைக் கட்டுப்படுத்துவது கடினம் என்றாலும், இது அடுத்தடுத்த ஆராய்ச்சியாளர்களுக்கு யோசனைகளை வழங்குகிறது.
Ym Terairov மற்றும் பலர்.ரஷ்யாவில் இந்த அடிப்படையில் விதை படிகங்கள் என்ற கருத்தை அறிமுகப்படுத்தியது, மேலும் SiC படிகங்களின் கட்டுப்பாடற்ற படிக வடிவம் மற்றும் அணுக்கரு நிலை ஆகியவற்றின் சிக்கலைத் தீர்த்தது.தொடர்ந்து வந்த ஆராய்ச்சியாளர்கள் இன்று தொழில்துறை பயன்பாட்டில் இயற்பியல் வாயு கட்ட போக்குவரத்து (PVT) முறையை மேம்படுத்தி, இறுதியில் உருவாக்கினர்.

ஆரம்பகால SiC படிக வளர்ச்சி முறையாக, இயற்பியல் நீராவி பரிமாற்ற முறை SiC படிக வளர்ச்சிக்கான மிக முக்கிய வளர்ச்சி முறையாகும்.மற்ற முறைகளுடன் ஒப்பிடும்போது, இந்த முறை வளர்ச்சி உபகரணங்களுக்கு குறைந்த தேவைகள், எளிய வளர்ச்சி செயல்முறை, வலுவான கட்டுப்பாடு, முழுமையான மேம்பாடு மற்றும் ஆராய்ச்சி மற்றும் தொழில்துறை பயன்பாட்டை உணர்ந்துள்ளது.தற்போதைய பிரதான PVT முறையால் வளர்க்கப்படும் படிகத்தின் அமைப்பு படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளது.

கிராஃபைட் க்ரூசிபிலின் வெளிப்புற வெப்ப காப்பு நிலைகளை கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் அச்சு மற்றும் ரேடியல் வெப்பநிலை புலங்களை கட்டுப்படுத்தலாம்.SiC தூள் அதிக வெப்பநிலையுடன் கிராஃபைட் க்ரூசிபிளின் அடிப்பகுதியில் வைக்கப்படுகிறது, மேலும் SiC விதை படிகமானது கிராஃபைட் க்ரூசிபிளின் மேல் குறைந்த வெப்பநிலையுடன் சரி செய்யப்படுகிறது.வளர்ந்து வரும் ஒற்றைப் படிகத்திற்கும் தூளுக்கும் இடையேயான தொடர்பைத் தவிர்ப்பதற்காகப் பொடிக்கும் விதைக்கும் இடையே உள்ள தூரம் பொதுவாக பத்து மில்லிமீட்டர்களாகக் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது.வெப்பநிலை சாய்வு பொதுவாக 15-35℃/cm வரம்பில் இருக்கும்.வெப்பச்சலனத்தை அதிகரிக்க 50-5000 Pa இன் மந்த வாயு உலையில் வைக்கப்படுகிறது.இந்த வழியில், SiC தூள் தூண்டல் வெப்பமாக்கல் மூலம் 2000-2500℃ க்கு சூடேற்றப்பட்ட பிறகு, SiC தூள் பதங்கமடைந்து Si, Si2C, SiC2 மற்றும் பிற நீராவி கூறுகளாக சிதைந்து, வாயு வெப்பச்சலனத்துடன் விதை முனைக்கு கொண்டு செல்லப்படும். SiC படிகமானது ஒற்றை படிக வளர்ச்சியை அடைய விதை படிகத்தின் மீது படிகமாக்கப்படுகிறது.அதன் வழக்கமான வளர்ச்சி விகிதம் 0.1-2mm/h ஆகும்.

PVT செயல்முறை வளர்ச்சி வெப்பநிலை, வெப்பநிலை சாய்வு, வளர்ச்சி மேற்பரப்பு, பொருள் மேற்பரப்பு இடைவெளி மற்றும் வளர்ச்சி அழுத்தம் ஆகியவற்றின் கட்டுப்பாட்டில் கவனம் செலுத்துகிறது, அதன் நன்மை என்னவென்றால், அதன் செயல்முறை ஒப்பீட்டளவில் முதிர்ச்சியடைந்தது, மூலப்பொருட்கள் தயாரிக்க எளிதானது, செலவு குறைவாக உள்ளது, ஆனால் வளர்ச்சி செயல்முறை PVT முறையைக் கவனிப்பது கடினம், 0.2-0.4mm/h படிக வளர்ச்சி விகிதம், பெரிய தடிமன் (>50mm) கொண்ட படிகங்களை வளர்ப்பது கடினம்.பல தசாப்தங்களின் தொடர்ச்சியான முயற்சிகளுக்குப் பிறகு, PVT முறையில் வளர்க்கப்படும் SiC அடி மூலக்கூறு செதில்களுக்கான தற்போதைய சந்தை மிகப் பெரியதாக உள்ளது, மேலும் SiC அடி மூலக்கூறு செதில்களின் ஆண்டு வெளியீடு நூறாயிரக்கணக்கான செதில்களை அடையலாம், மேலும் அதன் அளவு படிப்படியாக 4 அங்குலத்திலிருந்து 6 அங்குலமாக மாறுகிறது. , மற்றும் 8 அங்குல SiC அடி மூலக்கூறு மாதிரிகளை உருவாக்கியுள்ளது.

ஐந்தாவது,அதிக வெப்பநிலை இரசாயன நீராவி படிவு முறை

உயர் வெப்பநிலை இரசாயன நீராவி படிவு (HTCVD) என்பது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) அடிப்படையில் மேம்படுத்தப்பட்ட முறையாகும்.இந்த முறை முதன்முதலில் 1995 இல் கோர்டினா மற்றும் பலர், லிங்கோப்பிங் பல்கலைக்கழகம், ஸ்வீடனால் முன்மொழியப்பட்டது.
வளர்ச்சி கட்டமைப்பு வரைபடம் படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளது:

ஐந்தாவது,அதிக வெப்பநிலை இரசாயன நீராவி படிவு முறை

SiC படிகமானது திரவ கட்ட முறையால் வளர்க்கப்படும் போது, துணைக் கரைசலின் உள்ளே வெப்பநிலை மற்றும் வெப்பச்சலன விநியோகம் படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளது:

துணைக் கரைசலில் க்ரூசிபிள் சுவரின் அருகே வெப்பநிலை அதிகமாக இருப்பதைக் காணலாம், அதே சமயம் விதை படிகத்தின் வெப்பநிலை குறைவாக உள்ளது.வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது, கிராஃபைட் க்ரூசிபிள் படிக வளர்ச்சிக்கான சி மூலத்தை வழங்குகிறது.க்ரூசிபிள் சுவரில் வெப்பநிலை அதிகமாக இருப்பதாலும், C இன் கரைதிறன் அதிகமாக இருப்பதாலும், கரைதல் வீதம் வேகமாக இருப்பதாலும், C இன் ஒரு நிறைவுற்ற கரைசலை உருவாக்குவதற்கு அதிக அளவு C க்ரூசிபிள் சுவரில் கரைக்கப்படும். C கரைக்கப்பட்ட துணை கரைசலில் வெப்பச்சலனம் மூலம் விதை படிகங்களின் கீழ் பகுதிக்கு கொண்டு செல்லப்படும்.விதை படிக முனையின் குறைந்த வெப்பநிலை காரணமாக, தொடர்புடைய C இன் கரைதிறன் அதற்கேற்ப குறைகிறது, மேலும் அசல் C-நிறைவுற்ற கரைசல் இந்த நிலையில் குறைந்த வெப்பநிலை முனைக்கு மாற்றப்பட்ட பிறகு C இன் அதிநிறைவுற்ற கரைசலாக மாறும்.துணைக் கரைசலில் Si உடன் இணைந்த கரைசலில் Suprataturated C, விதை படிகத்தின் மீது SiC படிக எபிடாக்சியலை வளர்க்கலாம்.C இன் சூப்பர்ஃபோரேட்டட் பகுதி வெளியேறும் போது, தீர்வு வெப்பச்சலனத்துடன் க்ரூசிபிள் சுவரின் உயர்-வெப்பநிலை முனைக்குத் திரும்புகிறது, மேலும் C ஐ மீண்டும் கரைத்து ஒரு நிறைவுற்ற கரைசலை உருவாக்குகிறது.

முழு செயல்முறையும் மீண்டும் நிகழ்கிறது, மேலும் SiC படிகமானது வளரும்.திரவ கட்ட வளர்ச்சியின் செயல்பாட்டில், கரைசலில் C இன் கரைப்பு மற்றும் மழைப்பொழிவு வளர்ச்சி முன்னேற்றத்தின் மிக முக்கியமான குறியீடாகும்.நிலையான படிக வளர்ச்சியை உறுதி செய்வதற்காக, குரூசிபிள் சுவரில் C கரைவதற்கும் விதை முடிவில் மழைப்பொழிவுக்கும் இடையில் சமநிலையை பராமரிக்க வேண்டியது அவசியம்.C இன் கரைப்பு C இன் மழைப்பொழிவை விட அதிகமாக இருந்தால், படிகத்தில் உள்ள C படிப்படியாக செறிவூட்டப்பட்டு, SiC இன் தன்னிச்சையான அணுக்கரு ஏற்படும்.C இன் கலைப்பு C இன் மழைப்பொழிவை விட குறைவாக இருந்தால், கரைப்பானின் பற்றாக்குறையால் படிக வளர்ச்சியை மேற்கொள்வது கடினமாக இருக்கும்.
அதே நேரத்தில், வெப்பச்சலனத்தின் மூலம் C இன் போக்குவரத்து வளர்ச்சியின் போது C இன் விநியோகத்தையும் பாதிக்கிறது.போதுமான நல்ல படிக தரம் மற்றும் போதுமான தடிமன் கொண்ட SiC படிகங்களை வளர்ப்பதற்கு, மேலே உள்ள மூன்று கூறுகளின் சமநிலையை உறுதி செய்வது அவசியம், இது SiC திரவ கட்ட வளர்ச்சியின் சிரமத்தை பெரிதும் அதிகரிக்கிறது.இருப்பினும், தொடர்புடைய கோட்பாடுகள் மற்றும் தொழில்நுட்பங்களின் படிப்படியான முன்னேற்றம் மற்றும் முன்னேற்றத்துடன், SiC படிகங்களின் திரவ நிலை வளர்ச்சியின் நன்மைகள் படிப்படியாகக் காண்பிக்கப்படும்.
தற்போது, ஜப்பானில் 2 அங்குல SiC படிகங்களின் திரவ நிலை வளர்ச்சியை அடைய முடியும், மேலும் 4 அங்குல படிகங்களின் திரவ நிலை வளர்ச்சியும் உருவாக்கப்படுகிறது.தற்போது, சம்பந்தப்பட்ட உள்நாட்டு ஆய்வுகள் நல்ல பலனைக் காணாததால், அதற்கான ஆய்வுப் பணிகளைப் பின்தொடர்வது அவசியம்.

ஏழாவது, SiC படிகங்களின் இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகள்

(1) இயந்திர பண்புகள்: SiC படிகங்கள் மிக அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் நல்ல உடைகள் எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன.அதன் Mohs கடினத்தன்மை 9.2 மற்றும் 9.3 க்கு இடையில் உள்ளது, மேலும் அதன் Krit கடினத்தன்மை 2900 மற்றும் 3100Kg/mm2 க்கு இடையில் உள்ளது, இது கண்டுபிடிக்கப்பட்ட பொருட்களில் வைர படிகங்களுக்கு அடுத்தபடியாக உள்ளது.SiC இன் சிறந்த இயந்திர பண்புகள் காரணமாக, தூள் SiC பெரும்பாலும் வெட்டுதல் அல்லது அரைக்கும் தொழிலில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, ஆண்டுக்கு மில்லியன் கணக்கான டன்கள் தேவை.சில வொர்க்பீஸ்களில் உள்ள உடைகள்-எதிர்ப்பு பூச்சு SiC பூச்சையும் பயன்படுத்தும், எடுத்துக்காட்டாக, சில போர்க்கப்பல்களில் உள்ள உடைகள்-எதிர்ப்பு பூச்சு SiC பூச்சினால் ஆனது.

(2) வெப்ப பண்புகள்: SiC இன் வெப்ப கடத்துத்திறன் 3-5 W/cm·K ஐ அடையலாம், இது பாரம்பரிய குறைக்கடத்தி Si ஐ விட 3 மடங்கு மற்றும் GaAs ஐ விட 8 மடங்கு ஆகும்.SiC ஆல் தயாரிக்கப்பட்ட சாதனத்தின் வெப்ப உற்பத்தியை விரைவாக நடத்த முடியும், எனவே SiC சாதனத்தின் வெப்பச் சிதறல் நிலைமைகளின் தேவைகள் ஒப்பீட்டளவில் தளர்வானவை, மேலும் இது உயர்-சக்தி சாதனங்களைத் தயாரிப்பதற்கு மிகவும் பொருத்தமானது.SiC நிலையான வெப்ப இயக்கவியல் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது.சாதாரண அழுத்த நிலைகளின் கீழ், SiC ஆனது அதிக அளவில் Si மற்றும் C கொண்ட நீராவியாக நேரடியாக சிதைக்கப்படும்.

(3) இரசாயன பண்புகள்: SiC நிலையான இரசாயன பண்புகள், நல்ல அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் அறை வெப்பநிலையில் அறியப்பட்ட எந்த அமிலத்துடன் வினைபுரியாது.நீண்ட நேரம் காற்றில் வைக்கப்படும் SiC மெதுவாக அடர்த்தியான SiO2 இன் மெல்லிய அடுக்கை உருவாக்கும், மேலும் ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்வினைகளைத் தடுக்கிறது.வெப்பநிலை 1700℃க்கு மேல் உயரும் போது, SiO2 மெல்லிய அடுக்கு உருகி விரைவாக ஆக்சிஜனேற்றம் அடைகிறது.SiC ஆனது உருகிய ஆக்ஸிஜனேற்றிகள் அல்லது தளங்களுடன் மெதுவான ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்வினைக்கு உட்படலாம், மேலும் SiC செதில்கள் பொதுவாக SiC படிகங்களில் உள்ள இடப்பெயர்ச்சியை வகைப்படுத்த உருகிய KOH மற்றும் Na2O2 இல் துருப்பிடிக்கப்படுகின்றன..

(4) மின் பண்புகள்: பரந்த பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்திகளின் பிரதிநிதிப் பொருளாக SiC, 6H-SiC மற்றும் 4H-SiC பேண்ட்கேப் அகலங்கள் முறையே 3.0 eV மற்றும் 3.2 eV ஆகும், இது Si ஐ விட 3 மடங்கு மற்றும் GaAs ஐ விட 2 மடங்கு ஆகும்.SiC ஆல் செய்யப்பட்ட அரை-கடத்தி சாதனங்கள் சிறிய கசிவு மின்னோட்டம் மற்றும் பெரிய முறிவு மின்சார புலம் கொண்டவை, எனவே SiC உயர் சக்தி சாதனங்களுக்கு சிறந்த பொருளாக கருதப்படுகிறது.SiC இன் நிறைவுற்ற எலக்ட்ரான் இயக்கம் Si ஐ விட 2 மடங்கு அதிகமாக உள்ளது, மேலும் இது உயர் அதிர்வெண் சாதனங்களை தயாரிப்பதில் வெளிப்படையான நன்மைகளையும் கொண்டுள்ளது.P-வகை SiC படிகங்கள் அல்லது N-வகை SiC படிகங்கள் படிகங்களில் உள்ள தூய்மையற்ற அணுக்களை ஊக்கப்படுத்துவதன் மூலம் பெறலாம்.தற்போது, P-வகை SiC படிகங்கள் முக்கியமாக Al, B, Be, O, Ga, Sc மற்றும் பிற அணுக்களால் டோப் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் N-வகை sic படிகங்கள் முக்கியமாக N அணுக்களால் டோப் செய்யப்படுகின்றன.ஊக்கமருந்து செறிவு மற்றும் வகை வேறுபாடு SiC இன் உடல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகளில் பெரும் தாக்கத்தை ஏற்படுத்தும்.அதே நேரத்தில், இலவச கேரியர் V போன்ற ஆழமான அளவிலான ஊக்கமருந்து மூலம் ஆணியடிக்கப்படலாம், எதிர்ப்பை அதிகரிக்கலாம் மற்றும் அரை-இன்சுலேடிங் SiC படிகத்தைப் பெறலாம்.

(5) ஒளியியல் பண்புகள்: ஒப்பீட்டளவில் பரந்த பேண்ட் இடைவெளி காரணமாக, அகற்றப்படாத SiC படிகமானது நிறமற்றது மற்றும் வெளிப்படையானது.டோப் செய்யப்பட்ட SiC படிகங்கள் அவற்றின் வெவ்வேறு பண்புகள் காரணமாக வெவ்வேறு வண்ணங்களைக் காட்டுகின்றன, எடுத்துக்காட்டாக, 6H-SiC N ஊக்கமருந்து பிறகு பச்சை நிறத்தில் இருக்கும்;4H-SiC பழுப்பு நிறமானது.15R-SiC மஞ்சள்.Al உடன் டோப் செய்யப்பட்டால், 4H-SiC நீலமாகத் தெரிகிறது.நிற வேறுபாட்டைக் கவனிப்பதன் மூலம் SiC படிக வகையை வேறுபடுத்துவது ஒரு உள்ளுணர்வு முறையாகும்.கடந்த 20 ஆண்டுகளில் SiC தொடர்பான துறைகளில் தொடர்ச்சியான ஆராய்ச்சி மூலம், தொடர்புடைய தொழில்நுட்பங்களில் பெரும் முன்னேற்றங்கள் செய்யப்பட்டுள்ளன.

எட்டாவது,SiC வளர்ச்சி நிலை அறிமுகம்

தற்போது, SiC தொழில்துறையானது, அடி மூலக்கூறு செதில்கள், எபிடாக்சியல் செதில்கள் முதல் சாதன உற்பத்தி, பேக்கேஜிங் வரை, முழு தொழில்துறை சங்கிலியும் முதிர்ச்சியடைந்துள்ளது, மேலும் இது SiC தொடர்பான தயாரிப்புகளை சந்தைக்கு வழங்க முடியும்.

SiC படிக வளர்ச்சித் துறையில் SiC அடி மூலக்கூறு செதில்களின் அளவு மற்றும் தரம் ஆகிய இரண்டிலும் முன்னணி நிலையில் க்ரீ முன்னணியில் உள்ளது.க்ரீ தற்போது ஆண்டுக்கு 300,000 SiC அடி மூலக்கூறு சில்லுகளை உற்பத்தி செய்கிறது, இது உலகளாவிய ஏற்றுமதிகளில் 80% க்கும் அதிகமாக உள்ளது.

செப்டம்பர் 2019 இல், அமெரிக்காவின் நியூயார்க் மாநிலத்தில் ஒரு புதிய வசதியை உருவாக்குவதாக க்ரீ அறிவித்தது, இது 200 மிமீ விட்டம் கொண்ட சக்தி மற்றும் RF SiC அடி மூலக்கூறு செதில்களை வளர்க்க மிகவும் மேம்பட்ட தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தும். மேலும் முதிர்ச்சி அடையுங்கள்.

தற்போது, சந்தையில் SiC அடி மூலக்கூறு சில்லுகளின் முக்கிய தயாரிப்புகள் முக்கியமாக 4H-SiC மற்றும் 6H-SiC கடத்தும் மற்றும் 2-6 அங்குலங்கள் கொண்ட அரை-இன்சுலேட்டட் வகைகளாகும்.
அக்டோபர் 2015 இல், N-வகை மற்றும் LED க்காக 200 mm SiC அடி மூலக்கூறு செதில்களை முதன்முதலில் அறிமுகப்படுத்தியது க்ரீ, இது 8 அங்குல SiC அடி மூலக்கூறு செதில்களின் தொடக்கத்தை சந்தைக்குக் குறிக்கிறது.
2016 ஆம் ஆண்டில், ரோம் வென்டூரி குழுவிற்கு நிதியுதவி செய்யத் தொடங்கினார் மற்றும் பாரம்பரிய 200 kW இன்வெர்ட்டரில் IGBT + Si FRD தீர்வுக்கு பதிலாக காரில் IGBT + SiC SBD கலவையை முதலில் பயன்படுத்தினார்.முன்னேற்றத்திற்குப் பிறகு, இன்வெர்ட்டரின் எடை 2 கிலோ குறைக்கப்பட்டு, அதே சக்தியைப் பராமரிக்கும் போது அளவு 19% குறைக்கப்படுகிறது.

2017 ஆம் ஆண்டில், SiC MOS + SiC SBD ஐ மேலும் ஏற்றுக்கொண்ட பிறகு, எடை 6 கிலோ குறைக்கப்படுவது மட்டுமல்லாமல், அளவு 43% குறைக்கப்பட்டது, மேலும் இன்வெர்ட்டர் சக்தியும் 200 kW இலிருந்து 220 kW ஆக அதிகரிக்கப்பட்டது.
டெஸ்லா 2018 ஆம் ஆண்டில் அதன் மாடல் 3 தயாரிப்புகளின் பிரதான டிரைவ் இன்வெர்ட்டர்களில் SIC- அடிப்படையிலான சாதனங்களை ஏற்றுக்கொண்ட பிறகு, விளக்கக்காட்சி விளைவு விரைவாக பெருக்கப்பட்டது, இது xEV வாகன சந்தையை விரைவில் SiC சந்தைக்கு உற்சாகமூட்டும் ஒரு ஆதாரமாக மாற்றியது.SiC இன் வெற்றிகரமான பயன்பாட்டுடன், அதனுடன் தொடர்புடைய சந்தை வெளியீட்டு மதிப்பும் வேகமாக உயர்ந்துள்ளது.

ஒன்பதாவது,முடிவுரை:

SiC தொடர்பான தொழில் தொழில்நுட்பங்களின் தொடர்ச்சியான முன்னேற்றத்துடன், அதன் மகசூல் மற்றும் நம்பகத்தன்மை மேலும் மேம்படுத்தப்படும், SiC சாதனங்களின் விலையும் குறைக்கப்படும், மேலும் SiC இன் சந்தை போட்டித்தன்மை மிகவும் தெளிவாக இருக்கும்.எதிர்காலத்தில், SiC சாதனங்கள் ஆட்டோமொபைல்கள், தகவல் தொடர்புகள், மின் கட்டங்கள் மற்றும் போக்குவரத்து போன்ற பல்வேறு துறைகளில் மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும், மேலும் தயாரிப்பு சந்தை பரந்ததாக இருக்கும், மேலும் சந்தை அளவு மேலும் விரிவடைந்து, தேசியத்திற்கு முக்கிய ஆதரவாக மாறும். பொருளாதாரம்.

இடுகை நேரம்: ஜன-25-2024