குறைக்கடத்தி சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் டிஸ்க்குகளை ஆய்வு செய்தல்: செயல்திறன் நன்மைகள் மற்றும் பயன்பாட்டு வாய்ப்புகள்

இன்றைய மின்னணு தொழில்நுட்பத் துறையில், குறைக்கடத்தி பொருட்கள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன.அவற்றில், சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஒரு பரந்த பேண்ட் இடைவெளி குறைக்கடத்தி பொருளாக, அதன் சிறந்த செயல்திறன் நன்மைகளான உயர் முறிவு மின்சார புலம், அதிக செறிவூட்டல் வேகம், அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் போன்றவை படிப்படியாக ஆராய்ச்சியாளர்கள் மற்றும் பொறியாளர்களின் மையமாக மாறி வருகிறது.சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் டிஸ்க், அதன் முக்கிய பகுதியாக, சிறந்த பயன்பாட்டு திறனைக் காட்டியுள்ளது.

ICP刻蚀托盘 ICP பொறித்தல் தட்டு
一、 எபிடாக்சியல் வட்டு செயல்திறன்: முழு நன்மைகள்
1. அல்ட்ரா-ஹை முறிவு மின்சார புலம்: பாரம்பரிய சிலிக்கான் பொருட்களுடன் ஒப்பிடுகையில், சிலிக்கான் கார்பைட்டின் முறிவு மின்சார புலம் 10 மடங்கு அதிகமாகும்.அதாவது, அதே மின்னழுத்த நிலைமைகளின் கீழ், சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் டிஸ்க்குகளைப் பயன்படுத்தும் மின்னணு சாதனங்கள் அதிக மின்னோட்டத்தைத் தாங்கும், இதன் மூலம் உயர் மின்னழுத்தம், உயர் அதிர்வெண், உயர் சக்தி மின்னணு சாதனங்களை உருவாக்குகின்றன.
2. அதிவேக செறிவூட்டல் வேகம்: சிலிக்கான் கார்பைட்டின் செறிவூட்டல் வேகம் சிலிக்கானை விட 2 மடங்கு அதிகமாகும்.அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அதிக வேகத்தில் செயல்படும், சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் டிஸ்க் சிறப்பாக செயல்படுகிறது, இது மின்னணு சாதனங்களின் நிலைத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.
3. அதிக திறன் கொண்ட வெப்ப கடத்துத்திறன்: சிலிக்கான் கார்பைட்டின் வெப்ப கடத்துத்திறன் சிலிக்கானை விட 3 மடங்கு அதிகமாகும்.இந்த அம்சம் எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள் தொடர்ச்சியான உயர்-சக்தி செயல்பாட்டின் போது வெப்பத்தை சிறப்பாகச் சிதறடிக்க அனுமதிக்கிறது, இதன் மூலம் அதிக வெப்பத்தைத் தடுக்கிறது மற்றும் சாதனத்தின் பாதுகாப்பை மேம்படுத்துகிறது.
4. சிறந்த இரசாயன நிலைத்தன்மை: அதிக வெப்பநிலை, உயர் அழுத்தம் மற்றும் வலுவான கதிர்வீச்சு போன்ற தீவிர சூழல்களில், சிலிக்கான் கார்பைடின் செயல்திறன் முன்பு போலவே இன்னும் நிலையானதாக உள்ளது.இந்த அம்சம் சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் டிஸ்க்கை சிக்கலான சூழல்களில் சிறந்த செயல்திறனைப் பராமரிக்க உதவுகிறது.
உற்பத்தி செயல்முறை: கவனமாக செதுக்கப்பட்டது
SIC எபிடாக்சியல் டிஸ்க் தயாரிப்பதற்கான முக்கிய செயல்முறைகளில் உடல் நீராவி படிவு (PVD), இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி ஆகியவை அடங்கும்.இந்த செயல்முறைகள் ஒவ்வொன்றும் அதன் சொந்த குணாதிசயங்களைக் கொண்டுள்ளன மற்றும் சிறந்த முடிவுகளை அடைய பல்வேறு அளவுருக்களின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது.
1. PVD செயல்முறை: ஆவியாதல் அல்லது sputtering மற்றும் பிற முறைகள் மூலம், SiC இலக்கு ஒரு படத்தை உருவாக்க அடி மூலக்கூறு மீது டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது.இந்த முறையால் தயாரிக்கப்பட்ட படம் அதிக தூய்மை மற்றும் நல்ல படிகத்தன்மை கொண்டது, ஆனால் உற்பத்தி வேகம் ஒப்பீட்டளவில் மெதுவாக உள்ளது.
2. CVD செயல்முறை: அதிக வெப்பநிலையில் சிலிக்கான் கார்பைடு மூல வாயுவை சிதைப்பதன் மூலம், அது ஒரு மெல்லிய படலத்தை உருவாக்க அடி மூலக்கூறில் வைக்கப்படுகிறது.இந்த முறையால் தயாரிக்கப்பட்ட படத்தின் தடிமன் மற்றும் சீரான தன்மை கட்டுப்படுத்தக்கூடியது, ஆனால் தூய்மை மற்றும் படிகத்தன்மை மோசமாக உள்ளது.
3. எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி: இரசாயன நீராவி படிவு முறை மூலம் மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் அல்லது மற்ற மோனோகிரிஸ்டலின் பொருட்களில் SiC எபிடாக்சியல் அடுக்கின் வளர்ச்சி.இந்த முறையில் தயாரிக்கப்பட்ட எபிடாக்சியல் லேயர் அடி மூலக்கூறு பொருட்களுடன் நல்ல பொருத்தம் மற்றும் சிறந்த செயல்திறன் கொண்டது, ஆனால் விலை ஒப்பீட்டளவில் அதிகமாக உள்ளது.
三、 விண்ணப்ப வாய்ப்பு: எதிர்காலத்தை ஒளிரச் செய்யுங்கள்
பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்நுட்பத்தின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சி மற்றும் அதிக செயல்திறன் மற்றும் அதிக நம்பகத்தன்மை கொண்ட மின்னணு சாதனங்களுக்கான தேவை அதிகரித்து வருவதால், சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் டிஸ்க் குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தியில் பரந்த பயன்பாட்டு வாய்ப்பைக் கொண்டுள்ளது.பவர் எலக்ட்ரானிக் சுவிட்சுகள், இன்வெர்ட்டர்கள், ரெக்டிஃபையர்கள் போன்ற உயர் அதிர்வெண் கொண்ட உயர்-சக்தி குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் தயாரிப்பில் இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. கூடுதலாக, இது சூரிய மின்கலங்கள், LED மற்றும் பிற துறைகளிலும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
அதன் தனித்துவமான செயல்திறன் நன்மைகள் மற்றும் உற்பத்தி செயல்முறையின் தொடர்ச்சியான முன்னேற்றத்துடன், சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் டிஸ்க் படிப்படியாக குறைக்கடத்தி துறையில் அதன் சிறந்த திறனைக் காட்டுகிறது.விஞ்ஞானம் மற்றும் தொழில்நுட்பத்தின் எதிர்காலத்தில், அது மிக முக்கியமான பங்கை வகிக்கும் என்று நாம் நம்புவதற்கு காரணம் இருக்கிறது.


இடுகை நேரம்: நவம்பர்-28-2023