தனிப்பயனாக்கக்கூடிய, உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு உலை குழாய்கள்

சிலிக்கான் கார்பைடு உலை குழாய்முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது: 4-6 இன்ச் சிலிக்கான் வேஃபர் LTO= சிலிக்கா, SIPOS= ஆக்ஸி-பாலிசிலிகான், SI3N4= சிலிக்கான் நைட்ரைடு, PSG= பாஸ்போசிலிக்கான் கண்ணாடி, POLY= பாலிசிலிகான் பட வளர்ச்சி.அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் ஒரு திடப் படத்தை உருவாக்க வெப்ப ஆற்றலால் செயல்படுத்தப்படும் மூலப்பொருள் வாயு (அல்லது திரவ மூல வாயுவாக்கம்) ஆகும்.குறைந்த அழுத்த இரசாயன நீராவி படிவு குறைந்த அழுத்தத்தில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது, குறைந்த அழுத்தம் காரணமாக, வாயு மூலக்கூறுகளின் சராசரி இலவச பாதை பெரியது, அதனால் வளர்ந்த படத்தின் சீரான தன்மை நன்றாக இருக்கும், மேலும் அடி மூலக்கூறு செங்குத்தாக வைக்கப்படலாம் மற்றும் அளவு ஏற்றுதல் பெரியது, குறிப்பாக பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள், தனித்த சாதனங்கள், பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ், ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள் மற்றும் ஆப்டிகல் ஃபைபர் மற்றும் தொழில்துறை உற்பத்தி சிறப்பு உபகரணங்களின் பிற தொழில்களுக்கு ஏற்றது.