செமிசெரா பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் கேரியர்களுக்கு சிறப்பு டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை வழங்குகிறது.செமிசெரா முன்னணி பூச்சு செயல்முறை டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை அதிக தூய்மை, அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிக இரசாயன சகிப்புத்தன்மையை அடைய உதவுகிறது, SIC/GAN படிகங்கள் மற்றும் EPI அடுக்குகளின் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது (கிராஃபைட் பூசப்பட்ட TaC சசெப்டர்), மற்றும் முக்கிய உலை கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டித்தல். டான்டலம் கார்பைடு TaC பூச்சுகளின் பயன்பாடு விளிம்பு சிக்கலைத் தீர்க்கவும், படிக வளர்ச்சியின் தரத்தை மேம்படுத்தவும் ஆகும், மேலும் செமிசெரா டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை (CVD) தீர்த்து சர்வதேச மேம்பட்ட நிலையை எட்டியுள்ளது.
டான்டலம் கார்பைடு பிளானட்டரி டிஸ்கின் செயல்பாட்டுக் கொள்கையானது, கிரக கியர் டிரான்ஸ்மிஷனைப் போன்றது, இதில் பிளானெட்டரி டிஸ்க் ஒரு இடைநிலை உந்து உறுப்பாக செயல்படுகிறது மற்றும் உள் மற்றும் வெளிப்புற கியர்களுடன் இணைத்து பவர் டிரான்ஸ்மிஷன் மற்றும் இயக்கக் கட்டுப்பாட்டை உணர்கிறது. கிரக வட்டில் பொதுவாக பல பல் பள்ளங்கள் உள்ளன, அவை மென்மையான பரிமாற்றம் மற்றும் அதிக முறுக்கு வெளியீட்டை அடைய உள் மற்றும் வெளிப்புற கியர்களுடன் இணைக்கப்படுகின்றன.
TaC உடன் மற்றும் இல்லாமல்
TaC ஐப் பயன்படுத்திய பிறகு (வலது)
டான்டலம் கார்பைடு கிரக வட்டின் பண்புகள் பின்வருமாறு:
1. உடைகள் எதிர்ப்பு: டான்டலம் கார்பைடு பொருள் மிக அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, அதிக சுமை மற்றும் அதிவேக இயக்க நிலைமைகளின் கீழ் நல்ல நீடித்து நிலைத்திருக்கும், மேலும் தேய்மானம் மற்றும் உராய்வு இழப்பைக் குறைக்கும்.
2. உயர் வெப்பநிலை நிலைப்புத்தன்மை: டான்டலம் கார்பைடு சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் அதிக வெப்பநிலை சூழலில் சேதமில்லாமல் நீண்ட நேரம் இயங்கக்கூடியது, இது அதிக வெப்பநிலை செயல்முறைகள் மற்றும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது.
3. குறைந்த உராய்வு குணகம்: டான்டலம் கார்பைட்டின் மேற்பரப்பில் குறைந்த உராய்வு குணகம் உள்ளது, இது பரிமாற்றத்தின் போது ஆற்றல் இழப்பையும் வெப்ப உற்பத்தியையும் குறைக்கிறது மற்றும் பரிமாற்ற செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.
4. உயர் துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மை: டான்டலம் கார்பைடு கிரக வட்டுகள் சிறந்த கைவினைத்திறன், அதிக துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையுடன் தயாரிக்கப்படுகின்றன, மேலும் துல்லியமான பரிமாற்றம் மற்றும் நிலைக் கட்டுப்பாட்டை அடைய முடியும்.
மேலும், செமிசெராவின்TaC பூசப்பட்ட தயாரிப்புகள்ஒப்பிடும்போது நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் அதிக உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறதுSiC பூச்சுகள்.ஆய்வக அளவீடுகள் எங்கள் என்பதை நிரூபித்துள்ளனTaC பூச்சுகள்நீண்ட காலத்திற்கு 2300 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பநிலையில் தொடர்ந்து செயல்பட முடியும். எங்கள் மாதிரிகளின் சில எடுத்துக்காட்டுகள் கீழே உள்ளன:
