செமிசெரா பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் கேரியர்களுக்கு சிறப்பு டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை வழங்குகிறது.செமிசெரா முன்னணி பூச்சு செயல்முறை டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை அதிக தூய்மை, அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிக இரசாயன சகிப்புத்தன்மையை அடைய உதவுகிறது, SIC/GAN படிகங்கள் மற்றும் EPI அடுக்குகளின் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது (கிராஃபைட் பூசப்பட்ட TaC சசெப்டர்), மற்றும் முக்கிய உலை கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டித்தல். டான்டலம் கார்பைடு TaC பூச்சுகளின் பயன்பாடு விளிம்பு சிக்கலைத் தீர்க்கவும், படிக வளர்ச்சியின் தரத்தை மேம்படுத்தவும் ஆகும், மேலும் செமிசெரா டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை (CVD) தீர்த்து சர்வதேச மேம்பட்ட நிலையை எட்டியுள்ளது.
கிராஃபைட் ஒரு சிறந்த உயர் வெப்பநிலை பொருள், ஆனால் இது அதிக வெப்பநிலையில் எளிதில் ஆக்ஸிஜனேற்றப்படுகிறது. மந்த வாயு கொண்ட வெற்றிட உலைகளில் கூட, அது மெதுவான ஆக்சிஜனேற்றத்திற்கு உட்படும். CVD டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளைப் பயன்படுத்துவது, கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறை திறம்பட பாதுகாக்கும், கிராஃபைட்டின் அதே உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. TaC என்பது ஒரு செயலற்ற பொருளாகும், அதாவது அதிக வெப்பநிலையில் ஆர்கான் அல்லது ஹைட்ரஜன் போன்ற வாயுக்களுடன் வினைபுரியாது.விசாரணைடான்டலம் கார்பைடு CVD பூச்சு EPI சஸ்செப்டர் இப்போது!
பல வருட வளர்ச்சிக்குப் பிறகு, செமிசெரா தொழில்நுட்பத்தை வென்றதுCVD TaCR&D துறையின் கூட்டு முயற்சிகளுடன். SiC செதில்களின் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் குறைபாடுகள் ஏற்படுவது எளிது, ஆனால் பயன்படுத்திய பிறகுTaC, வேறுபாடு குறிப்பிடத்தக்கது. கீழே TaC உடன் மற்றும் இல்லாத செதில்களின் ஒப்பீடு, அத்துடன் ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கான சிமிசெரா' பாகங்கள்.
TaC உடன் மற்றும் இல்லாமல்
TaC ஐப் பயன்படுத்திய பிறகு (வலது)
மேலும், செமிசெராவின்TaC பூசப்பட்ட தயாரிப்புகள்ஒப்பிடும்போது நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் அதிக உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறதுSiC பூச்சுகள்.ஆய்வக அளவீடுகள் எங்கள் என்பதை நிரூபித்துள்ளனTaC பூச்சுகள்நீண்ட காலத்திற்கு 2300 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பநிலையில் தொடர்ந்து செயல்பட முடியும். எங்கள் மாதிரிகளின் சில எடுத்துக்காட்டுகள் கீழே உள்ளன:
