டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டர் ஆதரவு தட்டுஒரு மெல்லிய அடுக்குடன் மூடப்பட்டிருக்கும் ஒரு susceptor அல்லது ஆதரவு அமைப்பு ஆகும்டான்டலம் கார்பைடு. இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD) அல்லது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) போன்ற நுட்பங்களின் மூலம் இந்த பூச்சு சஸ்பெப்டர் மேற்பரப்பில் உருவாக்கப்படலாம், இது சஸ்செப்டருக்கு உயர்ந்த பண்புகளை அளிக்கிறது.டான்டலம் கார்பைடு.
செமிசெரா பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் கேரியர்களுக்கு சிறப்பு டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை வழங்குகிறது.செமிசெரா முன்னணி பூச்சு செயல்முறை டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை அதிக தூய்மை, அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிக இரசாயன சகிப்புத்தன்மையை அடைய உதவுகிறது, SIC/GAN படிகங்கள் மற்றும் EPI அடுக்குகளின் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது (கிராஃபைட் பூசப்பட்ட TaC சசெப்டர்), மற்றும் முக்கிய உலை கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டித்தல். டான்டலம் கார்பைடு TaC பூச்சுகளின் பயன்பாடு விளிம்பு சிக்கலைத் தீர்க்கவும், படிக வளர்ச்சியின் தரத்தை மேம்படுத்தவும் ஆகும், மேலும் செமிசெரா டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை (CVD) தீர்த்து சர்வதேச மேம்பட்ட நிலையை எட்டியுள்ளது.
பல வருட வளர்ச்சிக்குப் பிறகு, செமிசெரா தொழில்நுட்பத்தை வென்றதுCVD TaCR&D துறையின் கூட்டு முயற்சிகளுடன். SiC செதில்களின் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் குறைபாடுகள் ஏற்படுவது எளிது, ஆனால் பயன்படுத்திய பிறகுTaC, வேறுபாடு குறிப்பிடத்தக்கது. கீழே TaC உடன் மற்றும் இல்லாத செதில்களின் ஒப்பீடு, அத்துடன் ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கான சிமிசெரா' பாகங்கள்.
டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட அடிப்படை ஆதரவு தட்டுகளின் முக்கிய அம்சங்கள்:
1. உயர் வெப்பநிலை நிலைப்புத்தன்மை: டான்டலம் கார்பைடு சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, இது அதிக வெப்பநிலை வேலைச் சூழல்களில் ஆதரவுத் தேவைகளுக்கு ஏற்றவாறு பூசப்பட்ட அடிப்படை ஆதரவுத் தகட்டை உருவாக்குகிறது.
2. அரிப்பு எதிர்ப்பு: டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு நல்ல அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இரசாயன அரிப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றத்தை எதிர்க்கும், மேலும் அடித்தளத்தின் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கும்.
3. அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு: டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகளின் அதிக கடினத்தன்மை அடிப்படை ஆதரவு தட்டுக்கு நல்ல உடை எதிர்ப்பை அளிக்கிறது, இது அதிக உடைகள் எதிர்ப்பு தேவைப்படும் சந்தர்ப்பங்களில் ஏற்றது.
4. இரசாயன நிலைப்புத்தன்மை: டான்டலம் கார்பைடு பல்வேறு இரசாயனப் பொருட்களுக்கு அதிக நிலைப்புத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, பூசப்பட்ட அடிப்படை ஆதரவுத் தட்டு சில அரிக்கும் சூழல்களில் சிறப்பாகச் செயல்பட வைக்கிறது.
TaC உடன் மற்றும் இல்லாமல்
TaC ஐப் பயன்படுத்திய பிறகு (வலது)
மேலும், செமிசெராவின்TaC பூசப்பட்ட தயாரிப்புகள்ஒப்பிடும்போது நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் அதிக உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறதுSiC பூச்சுகள்.ஆய்வக அளவீடுகள் எங்கள் என்பதை நிரூபித்துள்ளனTaC பூச்சுகள்நீண்ட காலத்திற்கு 2300 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பநிலையில் தொடர்ந்து செயல்பட முடியும். எங்கள் மாதிரிகளின் சில எடுத்துக்காட்டுகள் கீழே உள்ளன:
