டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தாள்ஒரு மெல்லிய அடுக்கு கொண்ட ஒரு கிராஃபைட் பொருள்டான்டலம் கார்பைடுஅடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில். டான்டலம் கார்பைட்டின் மெல்லிய அடுக்கு பொதுவாக கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD) அல்லது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) போன்ற நுட்பங்களால் உருவாகிறது. இந்த பூச்சு அதிக கடினத்தன்மை, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை போன்ற சிறந்த பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது.
செமிசெரா பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் கேரியர்களுக்கு சிறப்பு டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை வழங்குகிறது.செமிசெரா முன்னணி பூச்சு செயல்முறை டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை அதிக தூய்மை, அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிக இரசாயன சகிப்புத்தன்மையை அடைய உதவுகிறது, SIC/GAN படிகங்கள் மற்றும் EPI அடுக்குகளின் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது (கிராஃபைட் பூசப்பட்ட TaC சசெப்டர்), மற்றும் முக்கிய உலை கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டித்தல். டான்டலம் கார்பைடு TaC பூச்சுகளின் பயன்பாடு விளிம்பு சிக்கலைத் தீர்க்கவும், படிக வளர்ச்சியின் தரத்தை மேம்படுத்தவும் ஆகும், மேலும் செமிசெரா டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை (CVD) தீர்த்து சர்வதேச மேம்பட்ட நிலையை எட்டியுள்ளது.
பல வருட வளர்ச்சிக்குப் பிறகு, செமிசெரா தொழில்நுட்பத்தை வென்றதுCVD TaCR&D துறையின் கூட்டு முயற்சிகளுடன். SiC செதில்களின் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் குறைபாடுகள் ஏற்படுவது எளிது, ஆனால் பயன்படுத்திய பிறகுTaC, வேறுபாடு குறிப்பிடத்தக்கது. கீழே TaC உடன் மற்றும் இல்லாத செதில்களின் ஒப்பீடு, அத்துடன் ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கான சிமிசெரா' பாகங்கள்.
டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தாளின் முக்கிய நன்மைகள்:
1. அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: டான்டலம் கார்பைடு அதிக உருகுநிலை மற்றும் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தாளை அதிக வெப்பநிலை சூழலில் பயன்படுத்த ஏற்றதாக ஆக்குகிறது.
2. அரிப்பு எதிர்ப்பு: டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு பல இரசாயன அரிக்கும் பொருட்களின் அரிப்பை எதிர்க்கும் மற்றும் பொருளின் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கும்.
3. அதிக கடினத்தன்மை: டான்டலம் கார்பைடு மெல்லிய அடுக்கின் அதிக கடினத்தன்மை நல்ல உடைகள் எதிர்ப்பை வழங்குகிறது மற்றும் அதிக உடைகள் எதிர்ப்பு தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது.
4. இரசாயன நிலைப்புத்தன்மை: டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு இரசாயன அரிப்புக்கு சிறந்த நிலைப்புத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் சில அரிக்கும் ஊடகங்களில் பயன்படுத்த ஏற்றது.
TaC உடன் மற்றும் இல்லாமல்
TaC ஐப் பயன்படுத்திய பிறகு (வலது)
மேலும், செமிசெராவின்TaC பூசப்பட்ட தயாரிப்புகள்ஒப்பிடும்போது நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் அதிக உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறதுSiC பூச்சுகள்.ஆய்வக அளவீடுகள் எங்கள் என்பதை நிரூபித்துள்ளனTaC பூச்சுகள்நீண்ட காலத்திற்கு 2300 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பநிலையில் தொடர்ந்து செயல்பட முடியும். எங்கள் மாதிரிகளின் சில எடுத்துக்காட்டுகள் கீழே உள்ளன:
