செமிசெரா பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் கேரியர்களுக்கு சிறப்பு டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை வழங்குகிறது.செமிசெரா முன்னணி பூச்சு செயல்முறை டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை அதிக தூய்மை, அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிக இரசாயன சகிப்புத்தன்மையை அடைய உதவுகிறது, SIC/GAN படிகங்கள் மற்றும் EPI அடுக்குகளின் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது (கிராஃபைட் பூசப்பட்ட TaC சசெப்டர்), மற்றும் முக்கிய உலை கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டித்தல். டான்டலம் கார்பைடு TaC பூச்சுகளின் பயன்பாடு விளிம்பு சிக்கலைத் தீர்க்கவும், படிக வளர்ச்சியின் தரத்தை மேம்படுத்தவும் ஆகும், மேலும் செமிசெரா டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை (CVD) தீர்த்து சர்வதேச மேம்பட்ட நிலையை எட்டியுள்ளது.
டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட செதில் கேரியர்கள் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறைகளில் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் கையாளுதல் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. உற்பத்திச் செயல்பாட்டின் போது செதில்களின் பாதுகாப்பு, துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த அவை நிலையான ஆதரவையும் பாதுகாப்பையும் வழங்குகின்றன. டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகள் கேரியரின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கலாம், செலவுகளைக் குறைக்கலாம் மற்றும் குறைக்கடத்தி தயாரிப்புகளின் தரம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்தலாம்.
டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட செதில் கேரியரின் விளக்கம் பின்வருமாறு:
1. பொருள் தேர்வு: டான்டலம் கார்பைடு சிறந்த செயல்திறன், அதிக கடினத்தன்மை, அதிக உருகுநிலை, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் சிறந்த இயந்திர பண்புகள் கொண்ட ஒரு பொருள், எனவே இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
2. மேற்பரப்பு பூச்சு: டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு ஒரு சீரான மற்றும் அடர்த்தியான டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு உருவாக்க ஒரு சிறப்பு பூச்சு செயல்முறை மூலம் செதில் கேரியரின் மேற்பரப்பில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த பூச்சு நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டிருக்கும் போது கூடுதல் பாதுகாப்பையும் அணிய எதிர்ப்பையும் அளிக்கும்.
3. பிளாட்னெஸ் மற்றும் துல்லியம்: டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட செதில் கேரியர், உற்பத்திச் செயல்பாட்டின் போது செதில்களின் நிலைத்தன்மை மற்றும் துல்லியத்தை உறுதிசெய்து, அதிக அளவு சமதளம் மற்றும் துல்லியத்தைக் கொண்டுள்ளது. கேரியர் மேற்பரப்பின் தட்டையான தன்மை மற்றும் பூச்சு செதில்களின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை உறுதிப்படுத்த மிகவும் முக்கியமானது.
4. வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை: டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட செதில் கேரியர்கள் அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் சிதைவு அல்லது தளர்வு இல்லாமல் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும், அதிக வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் செதில்களின் நிலைத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
5. அரிப்பு எதிர்ப்பு: டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகள் சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன, இரசாயனங்கள் மற்றும் கரைப்பான்களின் அரிப்பை எதிர்க்கும் மற்றும் திரவ மற்றும் வாயு அரிப்பிலிருந்து கேரியரைப் பாதுகாக்கும்.
TaC உடன் மற்றும் இல்லாமல்
TaC ஐப் பயன்படுத்திய பிறகு (வலது)
மேலும், செமிசெராவின்TaC பூசப்பட்ட தயாரிப்புகள்ஒப்பிடும்போது நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் அதிக உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறதுSiC பூச்சுகள்.ஆய்வக அளவீடுகள் எங்கள் என்பதை நிரூபித்துள்ளனTaC பூச்சுகள்நீண்ட காலத்திற்கு 2300 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பநிலையில் தொடர்ந்து செயல்பட முடியும். எங்கள் மாதிரிகளின் சில எடுத்துக்காட்டுகள் கீழே உள்ளன:
