TaC கோடட் பிளேட் என்பது SiC எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு சிறப்பு வட்டு ஆகும், இது உயர்தர கிராஃபைட் பொருட்களிலிருந்து துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் மேற்பரப்பு டான்டலம் கார்பைடு (TaC) உடன் நுணுக்கமாக பூசப்பட்டுள்ளது, இது அதன் விதிவிலக்கான தூய்மை மற்றும் வலிமைக்கு பெயர் பெற்றது. TaC பூச்சு உயர் வெப்பநிலைகளுக்கு பிளேட்டின் ஆயுள் மற்றும் எதிர்ப்பை அதிகரிக்கிறது, இது SiC எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளின் கோரும் நிலைமைகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
இந்த புதுமையான TaC கோடட் பிளேட் என்பது SiC எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு சிறப்பு வட்டு ஆகும், இது உயர்தர கிராஃபைட் பொருட்களிலிருந்து துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. TaC பூசப்பட்ட தட்டு மேற்பரப்பு டான்டலம் கார்பைடுடன் (TaC) உன்னிப்பாக பூசப்பட்டுள்ளது, இது அதன் விதிவிலக்கான தூய்மை மற்றும் வலிமைக்கு பெயர் பெற்றது. SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் பல்வேறு கட்டங்களில் செதில்களை எடுத்துச் செல்வதற்கான நம்பகமான தளமாக செயல்படுகிறது. அதன் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் தளம் நிலையான மற்றும் மந்தமான மேற்பரப்பை வழங்குகிறது, அதே நேரத்தில் TaC பூச்சு இரசாயன எதிர்வினைகள் மற்றும் தேய்மானங்களுக்கு எதிராக கூடுதல் பாதுகாப்பை சேர்க்கிறது.
செமிக்சகாப்தம்TaC கோடட் பிளேட் வாடிக்கையாளர்களின் குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கப்படுகிறது, இது அவர்களின் SiC எபிடாக்சியல் அமைப்புகளுடன் உகந்த செயல்திறன் மற்றும் இணக்கத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. அளவு, வடிவம் அல்லது பிற விவரக்குறிப்புகள் எதுவாக இருந்தாலும், இந்த தட்டுகள் ஒவ்வொரு பயன்பாட்டின் தனிப்பட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
TaC உடன் மற்றும் இல்லாமல்
TaC ஐப் பயன்படுத்திய பிறகு (வலது)
மேலும், செமிசெராவின்TaC பூசப்பட்ட தயாரிப்புகள்ஒப்பிடும்போது நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் அதிக உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறதுSiC பூச்சுகள்.ஆய்வக அளவீடுகள் எங்கள் என்பதை நிரூபித்துள்ளனTaC பூச்சுகள்நீண்ட காலத்திற்கு 2300 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பநிலையில் தொடர்ந்து செயல்பட முடியும். எங்கள் மாதிரிகளின் சில எடுத்துக்காட்டுகள் கீழே உள்ளன:
