செமிசெரா பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் கேரியர்களுக்கு சிறப்பு டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை வழங்குகிறது.செமிசெரா முன்னணி பூச்சு செயல்முறை டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை அதிக தூய்மை, அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிக இரசாயன சகிப்புத்தன்மையை அடைய உதவுகிறது, SIC/GAN படிகங்கள் மற்றும் EPI அடுக்குகளின் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது (கிராஃபைட் பூசப்பட்ட TaC சசெப்டர்), மற்றும் முக்கிய உலை கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டித்தல். டான்டலம் கார்பைடு TaC பூச்சுகளின் பயன்பாடு விளிம்பு சிக்கலைத் தீர்க்கவும், படிக வளர்ச்சியின் தரத்தை மேம்படுத்தவும் ஆகும், மேலும் செமிசெரா டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை (CVD) தீர்த்து சர்வதேச மேம்பட்ட நிலையை எட்டியுள்ளது.
8-இன்ச் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) செதில்களின் வருகையுடன், பல்வேறு குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கான தேவைகள் பெருகிய முறையில் கடுமையாகிவிட்டன, குறிப்பாக எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளுக்கு வெப்பநிலை 2000 டிகிரி செல்சியஸைத் தாண்டும். சிலிக்கான் கார்பைடுடன் பூசப்பட்ட கிராஃபைட் போன்ற பாரம்பரிய சஸ்செப்டர் பொருட்கள், இந்த உயர் வெப்பநிலையில், எபிடாக்ஸி செயல்முறையை சீர்குலைக்கும். இருப்பினும், CVD டான்டலம் கார்பைடு (TaC) இந்த சிக்கலை திறம்பட நிவர்த்தி செய்கிறது, 2300 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பநிலையைத் தாங்கி, நீண்ட சேவை வாழ்க்கையை வழங்குகிறது. செமிசரா's டான்டலம் கார்பைடு TaC CVD பூச்சு வேஃபர் சஸ்செப்டர்எங்கள் மேம்பட்ட தீர்வுகள் பற்றி மேலும் ஆராய.
பல வருட வளர்ச்சிக்குப் பிறகு, செமிசெரா தொழில்நுட்பத்தை வென்றதுCVD TaCR&D துறையின் கூட்டு முயற்சிகளுடன். SiC செதில்களின் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் குறைபாடுகள் ஏற்படுவது எளிது, ஆனால் பயன்படுத்திய பிறகுTaC, வேறுபாடு குறிப்பிடத்தக்கது. கீழே TaC உடன் மற்றும் இல்லாத செதில்களின் ஒப்பீடு, அத்துடன் ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கான சிமிசெரா' பாகங்கள்.
TaC உடன் மற்றும் இல்லாமல்
TaC ஐப் பயன்படுத்திய பிறகு (வலது)
மேலும், செமிசெராவின்TaC பூசப்பட்ட தயாரிப்புகள்ஒப்பிடும்போது நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் அதிக உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறதுSiC பூச்சுகள்.ஆய்வக அளவீடுகள் எங்கள் என்பதை நிரூபித்துள்ளனTaC பூச்சுகள்நீண்ட காலத்திற்கு 2300 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பநிலையில் தொடர்ந்து செயல்பட முடியும். எங்கள் மாதிரிகளின் சில எடுத்துக்காட்டுகள் கீழே உள்ளன:
