TaC பூச்சுஉலோக கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (எம்ஓசிவிடி) தொழில்நுட்பம் மூலம் பொதுவாக கிராஃபைட் தளத்தில் தயாரிக்கப்படும் முக்கியமான பொருள் பூச்சு ஆகும். இந்த பூச்சு அதிக கடினத்தன்மை, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு, அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மை போன்ற சிறந்த பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் பல்வேறு உயர் தேவை பொறியியல் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது.
MOCVD தொழில்நுட்பம் என்பது பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் மெல்லிய பட வளர்ச்சி தொழில்நுட்பமாகும், இது உலோக கரிம முன்னோடிகளை அதிக வெப்பநிலையில் எதிர்வினை வாயுக்களுடன் வினைபுரிவதன் மூலம் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் விரும்பிய கலவைப் படலத்தை டெபாசிட் செய்கிறது. தயாரிக்கும் போதுTaC பூச்சு, பொருத்தமான உலோக கரிம முன்னோடிகள் மற்றும் கார்பன் மூலங்களைத் தேர்ந்தெடுப்பது, எதிர்வினை நிலைமைகள் மற்றும் படிவு அளவுருக்கள் ஆகியவற்றைக் கட்டுப்படுத்துதல், ஒரு சீரான மற்றும் அடர்த்தியான TaC படம் ஒரு கிராஃபைட் தளத்தில் டெபாசிட் செய்யப்படலாம்.
செமிசெரா பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் கேரியர்களுக்கு சிறப்பு டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை வழங்குகிறது.செமிசெரா முன்னணி பூச்சு செயல்முறை டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை அதிக தூய்மை, அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிக இரசாயன சகிப்புத்தன்மையை அடைய உதவுகிறது, SIC/GAN படிகங்கள் மற்றும் EPI அடுக்குகளின் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது (கிராஃபைட் பூசப்பட்ட TaC சசெப்டர்), மற்றும் முக்கிய உலை கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டித்தல். டான்டலம் கார்பைடு TaC பூச்சுகளின் பயன்பாடு விளிம்பு சிக்கலைத் தீர்க்கவும், படிக வளர்ச்சியின் தரத்தை மேம்படுத்தவும் ஆகும், மேலும் செமிசெரா டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை (CVD) தீர்த்து சர்வதேச மேம்பட்ட நிலையை எட்டியுள்ளது.
பல வருட வளர்ச்சிக்குப் பிறகு, செமிசெரா தொழில்நுட்பத்தை வென்றதுCVD TaCR&D துறையின் கூட்டு முயற்சிகளுடன். SiC செதில்களின் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் குறைபாடுகள் ஏற்படுவது எளிது, ஆனால் பயன்படுத்திய பிறகுTaC, வேறுபாடு குறிப்பிடத்தக்கது. கீழே TaC உடன் மற்றும் இல்லாத செதில்களின் ஒப்பீடு, அத்துடன் ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கான சிமிசெரா' பாகங்கள்.
TaC உடன் மற்றும் இல்லாமல்
TaC ஐப் பயன்படுத்திய பிறகு (வலது)
மேலும், செமிசெராவின்TaC பூசப்பட்ட தயாரிப்புகள்ஒப்பிடும்போது நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் அதிக உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறதுSiC பூச்சுகள்.ஆய்வக அளவீடுகள் எங்கள் என்பதை நிரூபித்துள்ளனTaC பூச்சுகள்நீண்ட காலத்திற்கு 2300 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பநிலையில் தொடர்ந்து செயல்பட முடியும். எங்கள் மாதிரிகளின் சில எடுத்துக்காட்டுகள் கீழே உள்ளன:
