CVD TaC பூச்சு

CVD TaC பூச்சு அறிமுகம்:

CVD TaC பூச்சு என்பது ஒரு தொழில்நுட்பமாகும், இது ஒரு அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை வைப்பதற்கு இரசாயன நீராவி படிவுகளைப் பயன்படுத்துகிறது. டான்டலம் கார்பைடு என்பது சிறந்த இயந்திர மற்றும் வேதியியல் பண்புகளைக் கொண்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட பீங்கான் பொருள். CVD செயல்முறையானது வாயு எதிர்வினை மூலம் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் ஒரு சீரான TaC படத்தை உருவாக்குகிறது.

முக்கிய அம்சங்கள்:

சிறந்த கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு: டான்டலம் கார்பைடு மிக அதிக கடினத்தன்மை கொண்டது, மேலும் CVD TaC பூச்சு அடி மூலக்கூறின் தேய்மான எதிர்ப்பை கணிசமாக மேம்படுத்தும். வெட்டுக் கருவிகள் மற்றும் அச்சுகள் போன்ற அதிக உடைகள் உள்ள சூழல்களில் உள்ள பயன்பாடுகளுக்கு இது பூச்சு சிறந்தது.

உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை: TaC பூச்சுகள் 2200°C வரையிலான வெப்பநிலையில் முக்கியமான உலை மற்றும் உலைக் கூறுகளைப் பாதுகாக்கின்றன, இது நல்ல நிலைத்தன்மையைக் காட்டுகிறது. இது தீவிர வெப்பநிலை நிலைகளின் கீழ் இரசாயன மற்றும் இயந்திர நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கிறது, இது உயர் வெப்பநிலை செயலாக்கம் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை சூழலில் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

சிறந்த இரசாயன நிலைத்தன்மை: டான்டலம் கார்பைடு பெரும்பாலான அமிலங்கள் மற்றும் காரங்களுக்கு வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் CVD TaC பூச்சு அரிக்கும் சூழல்களில் அடி மூலக்கூறுக்கு ஏற்படும் சேதத்தை திறம்பட தடுக்கும்.

உயர் உருகுநிலை: டான்டலம் கார்பைடு அதிக உருகும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளது (தோராயமாக 3880°C), CVD TaC பூச்சு உருகாமல் அல்லது சிதைக்காமல் தீவிர உயர் வெப்பநிலை நிலைகளில் பயன்படுத்த அனுமதிக்கிறது.

சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்: TaC பூச்சு அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, இது உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் வெப்பத்தை திறம்படச் சிதறடிக்கவும் மற்றும் உள்ளூர் வெப்பத்தைத் தடுக்கவும் உதவுகிறது.

சாத்தியமான பயன்பாடுகள்:

• கேலியம் நைட்ரைடு (GaN) மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் CVD உலை கூறுகள், செதில் கேரியர்கள், செயற்கைக்கோள் உணவுகள், ஷவர்ஹெட்ஸ், கூரைகள் மற்றும் சஸ்செப்டர்கள் உட்பட

• சிலிக்கான் கார்பைடு, காலியம் நைட்ரைடு மற்றும் அலுமினியம் நைட்ரைடு (AlN) க்ரூசிபிள்கள், விதை வைத்திருப்பவர்கள், வழிகாட்டி வளையங்கள் மற்றும் வடிகட்டிகள் உள்ளிட்ட படிக வளர்ச்சி கூறுகள்

• எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் கூறுகள், ஊசி முனைகள், முகமூடி வளையங்கள் மற்றும் பிரேசிங் ஜிக்ஸ் உள்ளிட்ட தொழில்துறை கூறுகள்

பயன்பாட்டு அம்சங்கள்:

• 2000°Cக்கு மேல் வெப்பநிலை நிலையானது, தீவிர வெப்பநிலையில் செயல்பட அனுமதிக்கிறது
•ஹைட்ரஜன் (Hz), அம்மோனியா (NH3), மோனோசிலேன் (SiH4) மற்றும் சிலிக்கான் (Si) ஆகியவற்றை எதிர்க்கும், கடுமையான இரசாயன சூழல்களில் பாதுகாப்பை வழங்குகிறது
• அதன் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு வேகமான இயக்க சுழற்சிகளை செயல்படுத்துகிறது
• கிராஃபைட் வலுவான ஒட்டுதலைக் கொண்டுள்ளது, நீண்ட சேவை வாழ்க்கையை உறுதி செய்கிறது மற்றும் பூச்சு நீக்கம் இல்லை.
• தேவையற்ற அசுத்தங்கள் அல்லது அசுத்தங்களை அகற்ற மிக உயர்ந்த தூய்மை
• இறுக்கமான பரிமாண சகிப்புத்தன்மைக்கு இணக்கமான பூச்சு கவரேஜ்

தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்:

CVD மூலம் அடர்த்தியான டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகளை தயாரித்தல்：