TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வழிகாட்டி வளையங்கள்ஒரு மெல்லிய அடுக்கின் படிவுகளைப் பார்க்கவும்டான்டலம் கார்பைடுகிராஃபைட் வழிகாட்டி வளையத்தின் மேற்பரப்பில் அதன் உடைகள் எதிர்ப்பு, அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது. இந்த பூச்சு பொதுவாக கிராஃபைட் வழிகாட்டி வளையத்தின் மேற்பரப்பில் இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD) அல்லது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) போன்ற நுட்பங்களால் உருவாக்கப்படுகிறது.
செமிசெரா பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் கேரியர்களுக்கு சிறப்பு டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை வழங்குகிறது.செமிசெரா முன்னணி பூச்சு செயல்முறை டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை அதிக தூய்மை, அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிக இரசாயன சகிப்புத்தன்மையை அடைய உதவுகிறது, SIC/GAN படிகங்கள் மற்றும் EPI அடுக்குகளின் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது (கிராஃபைட் பூசப்பட்ட TaC சஸ்செப்டர்), மற்றும் முக்கிய உலை கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டித்தல். டான்டலம் கார்பைடு TaC பூச்சுகளின் பயன்பாடு விளிம்பு சிக்கலைத் தீர்க்கவும், படிக வளர்ச்சியின் தரத்தை மேம்படுத்தவும் ஆகும், மேலும் செமிசெரா டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை (CVD) தீர்த்து சர்வதேச மேம்பட்ட நிலையை எட்டியுள்ளது.
பல வருட வளர்ச்சிக்குப் பிறகு, செமிசெரா தொழில்நுட்பத்தை வென்றதுCVD TaCR&D துறையின் கூட்டு முயற்சிகளுடன். SiC செதில்களின் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் குறைபாடுகள் ஏற்படுவது எளிது, ஆனால் பயன்படுத்திய பிறகுTaC, வேறுபாடு குறிப்பிடத்தக்கது. கீழே TaC உடன் மற்றும் இல்லாத செதில்களின் ஒப்பீடு, அத்துடன் ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கான சிமிசெரா' பாகங்கள்.
TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வழிகாட்டி வளையங்களின் முக்கிய அம்சங்கள் பின்வருமாறு:
1. உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: TaC பூச்சு சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் அதிக வெப்பநிலை சூழலில் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும்.
2. உடைகள் எதிர்ப்பு: டான்டலம் கார்பைடு மெல்லிய அடுக்கின் அதிக கடினத்தன்மை வழிகாட்டி வளையத்திற்கு நல்ல உடைகள் எதிர்ப்பைக் கொடுக்கிறது மற்றும் அதன் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கிறது.
3. இரசாயன நிலைத்தன்மை: TaC பூச்சு இரசாயன அரிப்புக்கு எதிராக உயர் நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, இது சில அரிக்கும் ஊடகங்களில் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
4. உராய்வைக் குறைக்கவும்: TaC பூச்சு கிராஃபைட் வழிகாட்டி வளையம் மற்றும் பிற கூறுகளுக்கு இடையேயான உராய்வைக் குறைக்கும் மற்றும் இயந்திர முத்திரைகளின் செயல்திறனை மேம்படுத்தும்.
TaC உடன் மற்றும் இல்லாமல்
TaC ஐப் பயன்படுத்திய பிறகு (வலது)
மேலும், செமிசெராவின்TaC பூசப்பட்ட தயாரிப்புகள்ஒப்பிடும்போது நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் அதிக உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறதுSiC பூச்சுகள்.ஆய்வக அளவீடுகள் எங்கள் என்பதை நிரூபித்துள்ளனTaC பூச்சுகள்நீண்ட காலத்திற்கு 2300 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பநிலையில் தொடர்ந்து செயல்பட முடியும். எங்கள் மாதிரிகளின் சில எடுத்துக்காட்டுகள் கீழே உள்ளன:
