TaC பூசப்பட்டதுஆழமான புற ஊதா LED கிராஃபைட் பேஸ் என்பது ஒரு டெபாசிட் செய்வதன் மூலம் சாதனத்தின் செயல்திறன் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்தும் செயல்முறையை குறிக்கிறது.TaC பூச்சுஆழமான புற ஊதா LED சாதனம் தயாரிப்பின் போது கிராஃபைட் தளத்தில். இந்த பூச்சு சாதனத்தின் வெப்பச் சிதறல் செயல்திறன், உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு ஆகியவற்றை மேம்படுத்துகிறது, இதன் மூலம் LED சாதனத்தின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது. ஆழமான புற ஊதா LED சாதனங்கள் பொதுவாக சில சிறப்புத் துறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அதாவது கிருமி நீக்கம், ஒளி குணப்படுத்துதல் போன்றவை, சாதனத்தின் நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனுக்கான அதிக தேவைகளைக் கொண்டுள்ளன. விண்ணப்பம்TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட்அடிப்படையானது சாதனத்தின் ஆயுள் மற்றும் செயல்திறனை திறம்பட மேம்படுத்துகிறது, ஆழமான புற ஊதா LED தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சிக்கு முக்கிய ஆதரவை வழங்குகிறது.
செமிசெரா பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் கேரியர்களுக்கு சிறப்பு டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை வழங்குகிறது.செமிசெரா முன்னணி பூச்சு செயல்முறை டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை அதிக தூய்மை, அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிக இரசாயன சகிப்புத்தன்மையை அடைய உதவுகிறது, SIC/GAN படிகங்கள் மற்றும் EPI அடுக்குகளின் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது (கிராஃபைட் பூசப்பட்ட TaC சஸ்செப்டர்), மற்றும் முக்கிய உலை கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டித்தல். டான்டலம் கார்பைடு TaC பூச்சுகளின் பயன்பாடு விளிம்பு சிக்கலைத் தீர்க்கவும், படிக வளர்ச்சியின் தரத்தை மேம்படுத்தவும் ஆகும், மேலும் செமிசெரா டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை (CVD) தீர்த்து சர்வதேச மேம்பட்ட நிலையை எட்டியுள்ளது.
பல வருட வளர்ச்சிக்குப் பிறகு, செமிசெரா தொழில்நுட்பத்தை வென்றதுCVD TaCR&D துறையின் கூட்டு முயற்சிகளுடன். SiC செதில்களின் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் குறைபாடுகள் ஏற்படுவது எளிது, ஆனால் பயன்படுத்திய பிறகுTaC, வேறுபாடு குறிப்பிடத்தக்கது. கீழே TaC உடன் மற்றும் இல்லாத செதில்களின் ஒப்பீடு, அத்துடன் ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கான சிமிசெரா' பாகங்கள்.
TaC உடன் மற்றும் இல்லாமல்
TaC ஐப் பயன்படுத்திய பிறகு (வலது)
மேலும், செமிசெராவின்TaC பூசப்பட்ட தயாரிப்புகள்ஒப்பிடும்போது நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் அதிக உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறதுSiC பூச்சுகள்.ஆய்வக அளவீடுகள் எங்கள் என்பதை நிரூபித்துள்ளனTaC பூச்சுகள்நீண்ட காலத்திற்கு 2300 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பநிலையில் தொடர்ந்து செயல்பட முடியும். எங்கள் மாதிரிகளின் சில எடுத்துக்காட்டுகள் கீழே உள்ளன:
