டான்டலம் கார்பைடு (TaC)உயர் உருகுநிலை, அதிக கடினத்தன்மை, நல்ல இரசாயன நிலைப்புத்தன்மை, வலுவான மின் மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் போன்றவற்றின் நன்மைகள் கொண்ட ஒரு சூப்பர்-உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு பீங்கான் பொருள். எனவே,TaC பூச்சுநீக்குதல்-எதிர்ப்பு பூச்சு, ஆக்சிஜனேற்றம்-எதிர்ப்பு பூச்சு மற்றும் அணிய-எதிர்ப்பு பூச்சு என பயன்படுத்தப்படலாம், மேலும் இது விண்வெளி வெப்ப பாதுகாப்பு, மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி ஒற்றை படிக வளர்ச்சி, ஆற்றல் மின்னணுவியல் மற்றும் பிற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
செயல்முறை:
டான்டலம் கார்பைடு (TaC)அதிக உருகுநிலை, அதிக கடினத்தன்மை, நல்ல இரசாயன நிலைத்தன்மை, வலுவான மின் மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றின் நன்மைகள் கொண்ட ஒரு வகையான அதி-உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு பீங்கான் பொருள். எனவே,TaC பூச்சுநீக்குதல்-எதிர்ப்பு பூச்சு, ஆக்சிஜனேற்றம்-எதிர்ப்பு பூச்சு மற்றும் அணிய-எதிர்ப்பு பூச்சு என பயன்படுத்தப்படலாம், மேலும் இது விண்வெளி வெப்ப பாதுகாப்பு, மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி ஒற்றை படிக வளர்ச்சி, ஆற்றல் மின்னணுவியல் மற்றும் பிற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
பூச்சுகளின் உள்ளார்ந்த தன்மை:
ஸ்லர்ரி-சின்டரிங் முறையைத் தயாரிக்கப் பயன்படுத்துகிறோம்TaC பூச்சுகள்பல்வேறு அளவுகளில் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளில் வெவ்வேறு தடிமன்கள். முதலாவதாக, Ta ஆதாரம் மற்றும் C மூலத்தைக் கொண்ட உயர்-தூய்மை தூள் ஒரு சீரான மற்றும் நிலையான முன்னோடி குழம்புகளை உருவாக்குவதற்கு சிதறல் மற்றும் பைண்டர் மூலம் கட்டமைக்கப்படுகிறது. அதே நேரத்தில், கிராஃபைட் பாகங்களின் அளவு மற்றும் தடிமன் தேவைகளுக்கு ஏற்பTaC பூச்சு, முன் பூச்சு தெளித்தல், ஊற்றுதல், ஊடுருவல் மற்றும் பிற வடிவங்கள் மூலம் தயாரிக்கப்படுகிறது. இறுதியாக, இது ஒரு வெற்றிட சூழலில் 2200℃ க்கு மேல் சூடேற்றப்பட்டு, சீரான, அடர்த்தியான, ஒற்றை-கட்டம் மற்றும் நன்கு படிகமானதுTaC பூச்சு.
பூச்சுகளின் உள்ளார்ந்த தன்மை:
தடிமன்TaC பூச்சுசுமார் 10-50 μm ஆகும், தானியங்கள் ஒரு இலவச நோக்குநிலையில் வளர்கின்றன, மேலும் இது மற்ற அசுத்தங்கள் இல்லாமல், ஒற்றை-கட்ட முகத்தை மையமாகக் கொண்ட கனசதுர அமைப்புடன் TaC ஐ உருவாக்குகிறது; பூச்சு அடர்த்தியானது, கட்டமைப்பு முழுமையானது மற்றும் படிகத்தன்மை அதிகமாக உள்ளது.TaC பூச்சுகிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பில் உள்ள துளைகளை நிரப்ப முடியும், மேலும் இது அதிக பிணைப்பு வலிமையுடன் கிராஃபைட் மேட்ரிக்ஸுடன் வேதியியல் ரீதியாக பிணைக்கப்பட்டுள்ளது. பூச்சுகளில் Ta மற்றும் C விகிதம் 1:1 க்கு அருகில் உள்ளது. GDMS தூய்மை கண்டறிதல் குறிப்பு தரநிலை ASTM F1593, தூய்மையற்ற செறிவு 121ppm க்கும் குறைவாக உள்ளது. பூச்சு சுயவிவரத்தின் எண்கணித சராசரி விலகல் (Ra) 662nm ஆகும்.
பொதுவான பயன்பாடுகள்:
GaN மற்றும்SiC எபிடாக்சியல்வேஃபர் கேரியர்கள், செயற்கைக்கோள் உணவுகள், ஷவர்ஹெட்ஸ், மேல் கவர்கள் மற்றும் சஸ்செப்டர்கள் உட்பட CVD உலை கூறுகள்.
SiC, GaN மற்றும் AlN படிக வளர்ச்சி கூறுகள், க்ரூசிபிள்கள், விதை படிக வைத்திருப்பவர்கள், ஓட்ட வழிகாட்டிகள் மற்றும் வடிகட்டிகள் உட்பட.
மின்தடை வெப்பமூட்டும் கூறுகள், முனைகள், கவச வளையங்கள் மற்றும் பிரேசிங் சாதனங்கள் உள்ளிட்ட தொழில்துறை கூறுகள்.
முக்கிய அம்சங்கள்:
2600℃ இல் உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை
H இன் கடுமையான இரசாயன சூழல்களில் நிலையான-நிலை பாதுகாப்பை வழங்குகிறது2, NH3, SiH4மற்றும் Si நீராவி
குறுகிய உற்பத்தி சுழற்சிகளுடன் கூடிய வெகுஜன உற்பத்திக்கு ஏற்றது.
