சிலிக்கான் தெர்மல் ஆக்சைடு வேஃபர்

குறிப்புகள்: ஆக்சிஜனேற்ற வகை

1. உலர் ஆக்சிஜனேற்றம்

சிலிக்கான் ஆக்ஸிஜனுடன் வினைபுரிகிறது, மேலும் ஆக்சைடு அடுக்கு அடித்தள அடுக்கை நோக்கி நகரும். உலர் ஆக்சிஜனேற்றம் 850 முதல் 1200 ° C வெப்பநிலையில் மேற்கொள்ளப்பட வேண்டும், மேலும் வளர்ச்சி விகிதம் குறைவாக உள்ளது, இது MOS இன்சுலேஷன் கேட் வளர்ச்சிக்கு பயன்படுத்தப்படலாம். உயர்தர, மிக மெல்லிய சிலிக்கான் ஆக்சைடு அடுக்கு தேவைப்படும்போது, ​​ஈரமான ஆக்சிஜனேற்றத்தை விட உலர் ஆக்சிஜனேற்றம் விரும்பப்படுகிறது.

உலர் ஆக்சிஜனேற்ற திறன்: 15nm~300nm(150A ~ 3000A)

2. ஈரமான ஆக்சிஜனேற்றம்

இந்த முறை ~1000 ° C இல் எரிக்க ஹைட்ரஜன் மற்றும் உயர்-தூய்மை ஆக்ஸிஜன் கலவையைப் பயன்படுத்துகிறது, இதனால் நீராவியை உருவாக்கி ஆக்சைடு அடுக்கு உருவாகிறது. ஈரமான ஆக்சிஜனேற்றம் உலர் ஆக்சிஜனேற்றம் போன்ற உயர்தர ஆக்சிஜனேற்ற அடுக்கை உருவாக்க முடியாது, ஆனால் ஒரு தனிமைப்படுத்தப்பட்ட மண்டலமாகப் பயன்படுத்த போதுமானது, உலர் ஆக்சிஜனேற்றத்துடன் ஒப்பிடுகையில் இது அதிக வளர்ச்சி விகிதத்தைக் கொண்டிருப்பதே தெளிவான நன்மை.

ஈரமான ஆக்ஸிஜனேற்ற திறன்: 50nm~ 15µm (500A ~15µm)

3. உலர் முறை - ஈர முறை - உலர் முறை

இந்த முறையில், தூய உலர் ஆக்சிஜன் ஆரம்ப நிலையில் ஆக்சிஜனேற்ற உலைக்குள் வெளியிடப்படுகிறது, ஆக்சிஜனேற்றத்தின் நடுவில் ஹைட்ரஜன் சேர்க்கப்படுகிறது, மேலும் ஹைட்ரஜன் இறுதியில் சேமிக்கப்பட்டு சுத்தமான உலர் ஆக்சிஜனுடன் ஆக்சிஜனேற்றத்தைத் தொடர்ந்து அடர்த்தியான ஆக்சிஜனேற்ற அமைப்பை உருவாக்குகிறது. நீர் நீராவி வடிவில் பொதுவான ஈரமான ஆக்ஸிஜனேற்ற செயல்முறை.

4. TEOS ஆக்சிஜனேற்றம்