செமிசெராவின் சிலிக்கான் பிலிம் என்பது செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்தர, துல்லியமான-பொறியியல் பொருள் ஆகும். தூய சிலிக்கானில் இருந்து தயாரிக்கப்படும் இந்த மெல்லிய படல தீர்வு சிறந்த சீரான தன்மை, அதிக தூய்மை மற்றும் விதிவிலக்கான மின் மற்றும் வெப்ப பண்புகளை வழங்குகிறது. Si Wafer, SiC அடி மூலக்கூறு, SOI வேஃபர், SiN அடி மூலக்கூறு மற்றும் எபி-வேஃபர் ஆகியவற்றின் உற்பத்தி உட்பட பல்வேறு குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்த இது சிறந்தது. செமிசெராவின் சிலிக்கான் ஃபிலிம் நம்பகமான மற்றும் சீரான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது, இது மேம்பட்ட மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸுக்கு இன்றியமையாத பொருளாக அமைகிறது.
செமிகண்டக்டர் உற்பத்திக்கான சிறந்த தரம் மற்றும் செயல்திறன்
செமிசெராவின் சிலிக்கான் ஃபிலிம் அதன் சிறந்த இயந்திர வலிமை, அதிக வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் குறைந்த குறைபாடு விகிதங்களுக்கு பெயர் பெற்றது, இவை அனைத்தும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்திகள் தயாரிப்பதில் முக்கியமானவை. கேலியம் ஆக்சைடு (Ga2O3) சாதனங்கள், AlN வேஃபர் அல்லது எபி-வேஃபர்ஸ் தயாரிப்பில் பயன்படுத்தப்பட்டாலும், மெல்லிய-பட படிவு மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான வலுவான அடித்தளத்தை இந்தத் திரைப்படம் வழங்குகிறது. SiC சப்ஸ்ட்ரேட் மற்றும் SOI வேஃபர்ஸ் போன்ற பிற குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறுகளுடன் அதன் இணக்கத்தன்மை, தற்போதுள்ள உற்பத்தி செயல்முறைகளில் தடையற்ற ஒருங்கிணைப்பை உறுதிசெய்கிறது, அதிக மகசூல் மற்றும் நிலையான தயாரிப்பு தரத்தை பராமரிக்க உதவுகிறது.
செமிகண்டக்டர் துறையில் பயன்பாடுகள்
செமிகண்டக்டர் துறையில், Semicera's Silicon Film ஆனது Si Wafer மற்றும் SOI Wafer தயாரிப்பில் இருந்து SiN அடி மூலக்கூறு மற்றும் Epi-Wafer உருவாக்கம் போன்ற சிறப்புப் பயன்பாடுகள் வரை பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்தத் திரைப்படத்தின் உயர் தூய்மை மற்றும் துல்லியமானது நுண்செயலிகள் மற்றும் ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுகள் முதல் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள் வரை அனைத்திலும் பயன்படுத்தப்படும் மேம்பட்ட கூறுகளின் உற்பத்தியில் இன்றியமையாததாக ஆக்குகிறது.
எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி, செதில் பிணைப்பு மற்றும் மெல்லிய-பட படிவு போன்ற குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் சிலிக்கான் பிலிம் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. செமிகண்டக்டர் ஃபேப்களில் உள்ள க்ளீன்ரூம்கள் போன்ற மிகவும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட சூழல்கள் தேவைப்படும் தொழில்களுக்கு அதன் நம்பகமான பண்புகள் குறிப்பாக மதிப்புமிக்கவை. கூடுதலாக, சிலிக்கான் ஃபிலிம் தயாரிப்பின் போது திறமையான செதில் கையாளுதல் மற்றும் போக்குவரத்துக்காக கேசட் அமைப்புகளில் ஒருங்கிணைக்கப்படலாம்.
நீண்ட கால நம்பகத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மை
செமிசெராவின் சிலிக்கான் பிலிம் பயன்படுத்துவதன் முக்கிய நன்மைகளில் ஒன்று அதன் நீண்ட கால நம்பகத்தன்மை. அதன் சிறந்த ஆயுள் மற்றும் நிலையான தரத்துடன், இந்த படம் அதிக அளவு உற்பத்தி சூழல்களுக்கு நம்பகமான தீர்வை வழங்குகிறது. உயர் துல்லியமான குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் அல்லது மேம்பட்ட மின்னணு பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்பட்டாலும், உற்பத்தியாளர்கள் பரந்த அளவிலான தயாரிப்புகளில் அதிக செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை அடைய முடியும் என்பதை Semicera's Silicon Film உறுதி செய்கிறது.
செமிசெராவின் சிலிக்கான் திரைப்படத்தை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?
செமிசெராவிலிருந்து வரும் சிலிக்கான் பிலிம், குறைக்கடத்தி துறையில் அதிநவீன பயன்பாடுகளுக்கு இன்றியமையாத பொருளாகும். சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, அதிக தூய்மை மற்றும் இயந்திர வலிமை உள்ளிட்ட அதன் உயர் செயல்திறன் பண்புகள், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் மிக உயர்ந்த தரத்தை அடைய விரும்பும் உற்பத்தியாளர்களுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது. Si Wafer மற்றும் SiC சப்ஸ்ட்ரேட் முதல் Gallium Oxide Ga2O3 சாதனங்களின் தயாரிப்பு வரை, இந்தப் படம் ஒப்பிடமுடியாத தரம் மற்றும் செயல்திறனை வழங்குகிறது.
செமிசெராவின் சிலிக்கான் ஃபிலிம் மூலம், நவீன செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் ஒரு தயாரிப்பை நீங்கள் நம்பலாம், இது அடுத்த தலைமுறை மின்னணுவியலுக்கு நம்பகமான அடித்தளத்தை வழங்குகிறது.
பொருட்கள் | உற்பத்தி | ஆராய்ச்சி | போலி |
படிக அளவுருக்கள் | |||
பாலிடைப் | 4H | ||
மேற்பரப்பு நோக்குநிலை பிழை | <11-20 >4±0.15° | ||
மின் அளவுருக்கள் | |||
டோபண்ட் | n-வகை நைட்ரஜன் | ||
எதிர்ப்பாற்றல் | 0.015-0.025ohm·cm | ||
இயந்திர அளவுருக்கள் | |||
விட்டம் | 150.0 ± 0.2 மிமீ | ||
தடிமன் | 350± 25 μm | ||
முதன்மை தட்டையான நோக்குநிலை | [1-100]±5° | ||
முதன்மை தட்டையான நீளம் | 47.5 ± 1.5 மிமீ | ||
இரண்டாம் நிலை பிளாட் | இல்லை | ||
டிடிவி | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
எல்டிவி | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
வில் | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
வார்ப் | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
முன்(Si-Face) கடினத்தன்மை(AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
கட்டமைப்பு | |||
நுண்குழாய் அடர்த்தி | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 EA/cm2 |
உலோக அசுத்தங்கள் | ≤5E10அணுக்கள்/செமீ2 | NA | |
BPD | ≤1500 EA/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
TSD | ≤500 EA/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
முன் தரம் | |||
முன் | Si | ||
மேற்பரப்பு பூச்சு | Si-Face CMP | ||
துகள்கள் | ≤60ea/வேஃபர் (அளவு≥0.3μm) | NA | |
கீறல்கள் | ≤5ea/மிமீ. ஒட்டுமொத்த நீளம் ≤ விட்டம் | ஒட்டுமொத்த நீளம்≤2*விட்டம் | NA |
ஆரஞ்சு தலாம்/குழிகள்/கறைகள்/விரிசல்கள்/மாசுகள் | இல்லை | NA | |
விளிம்பு சில்லுகள் / உள்தள்ளல்கள் / முறிவு / ஹெக்ஸ் தட்டுகள் | இல்லை | ||
பாலிடைப் பகுதிகள் | இல்லை | ஒட்டுமொத்த பகுதி≤20% | ஒட்டுமொத்த பகுதி≤30% |
முன் லேசர் குறி | இல்லை | ||
பின் தரம் | |||
பின் பூச்சு | சி-முகம் CMP | ||
கீறல்கள் | ≤5ea/mm, ஒட்டுமொத்த நீளம்≤2*விட்டம் | NA | |
பின் குறைபாடுகள் (விளிம்பு சில்லுகள் / உள்தள்ளல்கள்) | இல்லை | ||
முதுகு முரட்டுத்தனம் | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
பின் லேசர் குறியிடுதல் | 1 மிமீ (மேல் விளிம்பிலிருந்து) | ||
விளிம்பு | |||
விளிம்பு | சேம்ஃபர் | ||
பேக்கேஜிங் | |||
பேக்கேஜிங் | வெற்றிட பேக்கேஜிங்குடன் எபி-ரெடி மல்டி-வேஃபர் கேசட் பேக்கேஜிங் | ||
*குறிப்புகள்: "NA" என்றால் கோரிக்கை இல்லை என்பது குறிப்பிடப்படாத உருப்படிகள் SEMI-STD ஐக் குறிக்கலாம். |