சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் ஹோல்டரை ஆர்டிபி கேரியர், எல்இடி எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டர் மற்றும் பீப்பாய் சஸ்செப்டருக்கு மட்டும் பயன்படுத்த முடியாது, ஆனால் மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கானின் உற்பத்தி செயல்முறையில் நிலையான ஏற்றத்தை ஆதரிக்கிறது. இந்த தயாரிப்பு Pancake Susceptor மற்றும் ஃபோட்டோவோல்டாயிக் பாகங்களிலும் சிறப்பாகச் செயல்படுகிறது, மேலும் SiC Epitaxy இல் GaN செயல்முறையில் பயன்படுத்துவதற்கு ஏற்றது, உற்பத்தித் திறனை திறம்பட மேம்படுத்துகிறது மற்றும் குறைபாடுகளைக் குறைக்கிறது.
செமிசெராவின் சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் ஹோல்டர் உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களைப் பயன்படுத்துகிறது, இது சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டிருப்பது மட்டுமல்லாமல், அரிக்கும் சூழல்களிலும் நிலையானதாக இருக்கும். ICP எட்ச்சிங் கேரியர் அல்லது பிற சிக்கலான எபிடாக்ஸி மற்றும் எச்சிங் செயல்முறைகளில் இருந்தாலும், இந்தத் தயாரிப்பு நிலையான செதில் ஏற்றுதலை உறுதிசெய்யும், மன அழுத்தத்தைக் குறைக்கும் மற்றும் உற்பத்தித் தரத்தை மேம்படுத்தும்.
செமிசெராவின் சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் ஹோல்டர் சிக்கலான எபிடாக்ஸி மற்றும் செதுக்கல் செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் அதிக ஆயுள் கொண்ட, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் இது ஒரு சிறந்த தேர்வாக மாறியுள்ளது. Si Epitaxy அல்லது SiC Epitaxy ஐ ஆதரித்தாலும், வாடிக்கையாளர்களுக்கு முதல் தர தயாரிப்புகள் மற்றும் சேவைகளை வழங்க semicera உறுதிபூண்டுள்ளது.
சிறந்த வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு, பரவலாக பொருந்தும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்கள்
