சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகள்|SiC வேஃபர்ஸ்

சுருக்கமான விளக்கம்:

செமிசெரா எனர்ஜி டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட் என்பது செதில் மற்றும் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி நுகர்பொருட்களில் நிபுணத்துவம் பெற்ற ஒரு முன்னணி சப்ளையர் ஆகும். குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, ஒளிமின்னழுத்த தொழில் மற்றும் பிற தொடர்புடைய துறைகளுக்கு உயர்தர, நம்பகமான மற்றும் புதுமையான தயாரிப்புகளை வழங்குவதற்கு நாங்கள் அர்ப்பணித்துள்ளோம்.

எங்கள் தயாரிப்பு வரிசையில் SiC/TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தயாரிப்புகள் மற்றும் பீங்கான் தயாரிப்புகள், சிலிக்கான் கார்பைடு, சிலிக்கான் நைட்ரைடு மற்றும் அலுமினியம் ஆக்சைடு போன்ற பல்வேறு பொருட்களை உள்ளடக்கியது.

தற்போது, தூய்மையான 99.9999% SiC பூச்சு மற்றும் 99.9% மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடை வழங்கும் ஒரே உற்பத்தியாளர் நாங்கள் மட்டுமே. அதிகபட்ச SiC பூச்சு நீளம் நாம் 2640mm செய்ய முடியும்.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஒற்றைப் படிகப் பொருள் ஒரு பெரிய பேண்ட் இடைவெளி அகலம் (~Si 3 மடங்கு), அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் (~Si 3.3 மடங்கு அல்லது GaAs 10 மடங்கு), உயர் எலக்ட்ரான் செறிவு இடம்பெயர்வு விகிதம் (~Si 2.5 மடங்கு), உயர் முறிவு மின்சாரம் புலம் (~Si 10 முறை அல்லது GaAs 5 முறை) மற்றும் பிற சிறந்த பண்புகள்.

SiC சாதனங்கள் உயர் வெப்பநிலை, உயர் அழுத்தம், அதிக அதிர்வெண், உயர் சக்தி மின்னணு சாதனங்கள் மற்றும் விண்வெளி, இராணுவம், அணுசக்தி போன்ற தீவிர சுற்றுச்சூழல் பயன்பாடுகள் துறையில் ஈடுசெய்ய முடியாத நன்மைகள் உள்ளன, நடைமுறையில் பாரம்பரிய குறைக்கடத்தி பொருள் சாதனங்களின் குறைபாடுகளை ஈடுசெய்கிறது. பயன்பாடுகள், மற்றும் படிப்படியாக சக்தி குறைக்கடத்திகள் முக்கிய வருகிறது.

4H-SiC சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு விவரக்குறிப்புகள்

பொருள் 项目	விவரக்குறிப்புகள் 参数
பாலிடைப் 晶型	4H -SiC	6H- SiC
விட்டம் 晶圆直径	2 அங்குலம் \| 3 அங்குலம் \| 4 அங்குலம் \| 6 அங்குலம்	2 அங்குலம் \| 3 அங்குலம் \| 4 அங்குலம் \| 6 அங்குலம்
தடிமன் 厚度	330 μm ~ 350 μm	330 μm ~ 350 μm
கடத்துத்திறன் 导电类型	N – வகை / அரை-இன்சுலேடிங் N型导电片/ 半绝缘片	N – வகை / அரை-இன்சுலேடிங் N型导电片/ 半绝缘片
டோபண்ட் 掺杂剂	N2 (நைட்ரஜன்)V (வனடியம்)	N2 (நைட்ரஜன்) V (வெனடியம்)
நோக்குநிலை 晶向	அச்சில் <0001> ஆஃப் அச்சு <0001> ஆஃப் 4°	அச்சில் <0001> ஆஃப் அச்சு <0001> ஆஃப் 4°
எதிர்ப்பாற்றல் 电阻率	0.015 ~ 0.03 ஓம்-செ.மீ (4H-N)	0.02 ~ 0.1 ஓம்-செ.மீ (6H-N)
நுண்குழாய் அடர்த்தி(MPD) 微管密度	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2
டிடிவி 总厚度变化	≤ 15 μm	≤ 15 μm
வில் / வார்ப் 翘曲度	≤25 μm	≤25 μm
மேற்பரப்பு 表面处理	டிஎஸ்பி/எஸ்எஸ்பி	டிஎஸ்பி/எஸ்எஸ்பி
தரம் 产品等级	உற்பத்தி / ஆராய்ச்சி தரம்	உற்பத்தி / ஆராய்ச்சி தரம்
கிரிஸ்டல் ஸ்டேக்கிங் வரிசை 堆积方式	ஏபிசிபி	ABCABC
லட்டு அளவுரு 晶格参数	a=3.076A, c=10.053A	a=3.073A, c=15.117A
எ.கா/eV(பேண்ட்-இடைவெளி) 禁带宽度	3.27 eV	3.02 eV
ε(மின்கடத்தா மாறிலி) 介电常数	9.6	9.66
ஒளிவிலகல் குறியீடு 折射率	n0 =2.719 ne =2.777	n0 =2.707 , ne =2.755

6H-SiC சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு விவரக்குறிப்புகள்

பொருள் 项目	விவரக்குறிப்புகள் 参数
பாலிடைப் 晶型	6H-SiC
விட்டம் 晶圆直径	4 அங்குலம் \| 6 அங்குலம்
தடிமன் 厚度	350μm ~ 450μm
கடத்துத்திறன் 导电类型	N – வகை / அரை-இன்சுலேடிங் N型导电片/ 半绝缘片
டோபண்ட் 掺杂剂	N2(நைட்ரஜன்) வி (வனடியம்)
நோக்குநிலை 晶向	<0001> தள்ளுபடி 4°± 0.5°
எதிர்ப்பாற்றல் 电阻率	0.02 ~ 0.1 ஓம்-செ.மீ (6H-N வகை)
நுண்குழாய் அடர்த்தி(MPD) 微管密度	≤ 10/செமீ2
டிடிவி 总厚度变化	≤ 15 μm
வில் / வார்ப் 翘曲度	≤25 μm
மேற்பரப்பு 表面处理	Si முகம்: CMP, எபி-ரெடி சி முகம்: ஆப்டிகல் பாலிஷ்
தரம் 产品等级	ஆராய்ச்சி தரம்