செமிசெராவின் சிலிக்கான் கார்பைடு டம்மி வேஃபர் இன்றைய உயர் துல்லியமான குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் தேவைகளை பூர்த்தி செய்யும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் விதிவிலக்கான ஆயுள், அதிக வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் சிறந்த தூய்மை ஆகியவற்றிற்கு பெயர் பெற்றது.செதில்செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிக்கேஷனில் சோதனை, அளவுத்திருத்தம் மற்றும் தர உத்தரவாதம் ஆகியவற்றிற்கு அவசியம். செமிசெராவின் சிலிக்கான் கார்பைடு டம்மி வேஃபர் இணையற்ற உடைகள் எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, இது சீரழிவு இல்லாமல் கடுமையான பயன்பாட்டைத் தாங்கும் என்பதை உறுதிசெய்கிறது, இது R&D மற்றும் உற்பத்தி சூழல்களுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
பல்வேறு பயன்பாடுகளை ஆதரிக்க வடிவமைக்கப்பட்ட, சிலிக்கான் கார்பைடு டம்மி வேஃபர் அடிக்கடி சம்பந்தப்பட்ட செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.சி வேஃபர், SiC அடி மூலக்கூறு, SOI வேஃபர், SiN அடி மூலக்கூறு, மற்றும்எபி-வேஃபர்தொழில்நுட்பங்கள். அதன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு உயர் வெப்பநிலை செயலாக்கம் மற்றும் கையாளுதலுக்கான சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது, இது மேம்பட்ட மின்னணு கூறுகள் மற்றும் சாதனங்களை தயாரிப்பதில் பொதுவானது. கூடுதலாக, செதில்களின் உயர் தூய்மை மாசுபாட்டின் அபாயங்களைக் குறைக்கிறது, உணர்திறன் குறைக்கடத்தி பொருட்களின் தரத்தை பாதுகாக்கிறது.
செமிகண்டக்டர் துறையில், சிலிக்கான் கார்பைடு டம்மி வேஃபர், காலியம் ஆக்சைடு Ga2O3 மற்றும் AlN வேஃபர் உள்ளிட்ட புதிய பொருள் சோதனைக்கான நம்பகமான குறிப்பு செதில்களாக செயல்படுகிறது. இந்த வளர்ந்து வரும் பொருட்களுக்கு பல்வேறு நிலைமைகளின் கீழ் அவற்றின் நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை உறுதிப்படுத்த கவனமாக பகுப்பாய்வு மற்றும் சோதனை தேவைப்படுகிறது. செமிசெராவின் போலி வேஃபரைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், உற்பத்தியாளர்கள் செயல்திறன் நிலைத்தன்மையைப் பராமரிக்கும் ஒரு நிலையான தளத்தைப் பெறுகிறார்கள், உயர்-சக்தி, RF மற்றும் உயர்-அதிர்வெண் பயன்பாடுகளுக்கான அடுத்த தலைமுறை பொருட்களை உருவாக்க உதவுகிறது.
தொழில்கள் முழுவதும் பயன்பாடுகள்
• செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிகேஷன்
SiC டம்மி வேஃபர்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் அவசியமானவை, குறிப்பாக உற்பத்தியின் ஆரம்ப கட்டங்களில். அவை ஒரு பாதுகாப்பு தடையாக செயல்படுகின்றன, சிலிக்கான் செதில்களை சாத்தியமான சேதத்திலிருந்து பாதுகாக்கின்றன மற்றும் செயல்முறை துல்லியத்தை உறுதி செய்கின்றன.
•தர உத்தரவாதம் மற்றும் சோதனை
தர உத்தரவாதத்தில், டெலிவரி காசோலைகள் மற்றும் செயல்முறை படிவங்களை மதிப்பிடுவதற்கு SiC டம்மி வேஃபர்கள் முக்கியமானவை. அவை படத்தின் தடிமன், அழுத்தம் எதிர்ப்பு மற்றும் பிரதிபலிப்பு குறியீடு போன்ற அளவுருக்களின் துல்லியமான அளவீடுகளை செயல்படுத்துகின்றன, இது உற்பத்தி செயல்முறைகளின் சரிபார்ப்புக்கு பங்களிக்கிறது.
•லித்தோகிராபி மற்றும் பேட்டர்ன் சரிபார்ப்பு
லித்தோகிராஃபியில், இந்த செதில்கள் மாதிரி அளவு அளவீடு மற்றும் குறைபாடு சரிபார்ப்புக்கான ஒரு அளவுகோலாக செயல்படுகின்றன. அவற்றின் துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மை, செமிகண்டக்டர் சாதன செயல்பாட்டிற்கு முக்கியமான, விரும்பிய வடிவியல் துல்லியத்தை அடைய உதவுகிறது.
•ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு
R&D சூழல்களில், SiC டம்மி வேஃபர்களின் நெகிழ்வுத்தன்மை மற்றும் நீடித்துழைப்பு ஆகியவை விரிவான பரிசோதனையை ஆதரிக்கின்றன. கடுமையான சோதனை நிலைமைகளைத் தாங்கும் அவர்களின் திறன் புதிய குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பங்களை உருவாக்குவதற்கு அவர்களை விலைமதிப்பற்றதாக ஆக்குகிறது.
