விளக்கம்
செமிசெராவின் SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள் உயர்தர கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளைப் பயன்படுத்தி வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, அவை மேம்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறைகள் மூலம் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) உடன் நுணுக்கமாக பூசப்படுகின்றன. இந்த புதுமையான வடிவமைப்பு வெப்ப அதிர்ச்சி மற்றும் இரசாயன சிதைவுக்கு விதிவிலக்கான எதிர்ப்பை உறுதிசெய்கிறது, SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டரின் ஆயுளை கணிசமாக நீட்டிக்கிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறை முழுவதும் நம்பகமான செயல்திறனுக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது.
முக்கிய அம்சங்கள்:
1. உயர்ந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சசெப்டர் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனை வெளிப்படுத்துகிறது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் போது திறமையான வெப்பச் சிதறலுக்கு முக்கியமானது. இந்த அம்சம் செதில் மேற்பரப்பில் வெப்ப சாய்வுகளை குறைக்கிறது, தேவையான குறைக்கடத்தி பண்புகளை அடைவதற்கு தேவையான சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை ஊக்குவிக்கிறது.
2. வலுவான இரசாயன மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்புSiC பூச்சு இரசாயன அரிப்பு மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு எதிராக வலிமையான பாதுகாப்பை வழங்குகிறது, கடுமையான செயலாக்க சூழல்களில் கூட கிராஃபைட் சஸ்செப்டரின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது. இந்த மேம்படுத்தப்பட்ட ஆயுள் வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் ஆயுட்காலம் நீட்டிக்கிறது, குறைக்கடத்தி உற்பத்தி வசதிகளில் உற்பத்தி மற்றும் செலவு-திறனை அதிகரிக்க உதவுகிறது.
3. குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கான தனிப்பயனாக்கம்எங்கள் SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள் குறிப்பிட்ட தேவைகள் மற்றும் விருப்பங்களைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில் வடிவமைக்கப்படலாம். வெவ்வேறு பயன்பாடுகள் மற்றும் செயல்முறை அளவுருக்களுக்கான வடிவமைப்பு நெகிழ்வுத்தன்மை மற்றும் உகந்த செயல்திறனை உறுதிப்படுத்த, அளவு சரிசெய்தல் மற்றும் பூச்சு தடிமன் மாறுபாடுகள் உட்பட பல தனிப்பயனாக்குதல் விருப்பங்களை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.
விண்ணப்பங்கள்:
பயன்பாடுகள்Semicera SiC பூச்சுகள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் பல்வேறு நிலைகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அவற்றுள்:
1. -எல்இடி சிப் ஃபேப்ரிகேஷன்
2. -பாலிசிலிகான் உற்பத்தி
3. -செமிகண்டக்டர் கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி
4. -சிலிக்கான் மற்றும் SiC எபிடாக்ஸி
5. -வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் (TO&D)