சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வேஃபர் கேரியர்கள்

1. சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் கடத்துத்திறன்எங்கள் SiC- பூசப்பட்ட செதில் கேரியர்கள் நிலையான மற்றும் நிலையான வெப்பநிலையை பராமரிப்பதில் சிறந்து விளங்குகின்றன, இது CVD செயல்முறைகளுக்கு முக்கியமானது. இது சீரான வெப்ப விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, இது உயர்ந்த மெல்லிய படலத்திற்கும் பூச்சு தரத்திற்கும் வழிவகுக்கிறது.

2. துல்லியமான உற்பத்திஒவ்வொரு செதில் கேரியரும் துல்லியமான தரங்களுக்கு உற்பத்தி செய்யப்படுகிறது, சீரான தடிமன் மற்றும் மேற்பரப்பு மென்மையை உறுதி செய்கிறது. ஒட்டுமொத்த உற்பத்தித் தரத்தை மேம்படுத்தி, பல செதில்களில் நிலையான படிவு விகிதங்கள் மற்றும் திரைப்பட பண்புகளை அடைவதற்கு இந்தத் துல்லியம் இன்றியமையாதது.

3. தூய்மையற்ற தடைSiC பூச்சு ஒரு ஊடுருவ முடியாத தடையாக செயல்படுகிறது, இது சஸ்செப்டரில் இருந்து செதில்களில் இருந்து அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கிறது. இது மாசுபடுத்தும் அபாயங்களைக் குறைக்கிறது, இது உயர்-தூய்மை குறைக்கடத்தி சாதனங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கு முக்கியமானது.

4. ஆயுள் மற்றும் செலவு திறன்உறுதியான கட்டுமானம் மற்றும் SiC பூச்சு ஆகியவை செதில் கேரியர்களின் ஆயுளை மேம்படுத்தி, சஸ்பெப்டர் மாற்றீடுகளின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது. இது குறைந்த பராமரிப்பு செலவுகள் மற்றும் குறைக்கப்பட்ட வேலையில்லா நேரம், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாடுகளின் செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது.

5. தனிப்பயனாக்குதல் விருப்பங்கள்SiC பூச்சுடன் கூடிய Semicorex Wafer Carriers, அளவு, வடிவம் மற்றும் பூச்சு தடிமன் ஆகியவற்றில் உள்ள மாறுபாடுகள் உட்பட குறிப்பிட்ட செயல்முறை தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய தனிப்பயனாக்கலாம். இந்த நெகிழ்வுத்தன்மையானது, வெவ்வேறு குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு செயல்முறைகளின் தனித்துவமான கோரிக்கைகளுடன் பொருந்துமாறு சஸ்செப்டரை மேம்படுத்துவதற்கு அனுமதிக்கிறது. தனிப்பயனாக்குதல் விருப்பங்கள், அதிக அளவு உற்பத்தி அல்லது ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு போன்ற சிறப்புப் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றவாறு சஸ்பெப்டர் டிசைன்களை உருவாக்கி, குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டு நிகழ்வுகளுக்கு உகந்த செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.