செமிசெராSiC Cantilever Wafer Paddleநவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இதுசெதில் துடுப்புசிறந்த இயந்திர வலிமை மற்றும் வெப்ப எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, இது அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் செதில்களை கையாளுவதற்கு முக்கியமானது.
SiC கான்டிலீவர் வடிவமைப்பு துல்லியமான செதில் வைப்பதை செயல்படுத்துகிறது, கையாளுதலின் போது சேதம் ஏற்படும் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது. அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் கூட செதில் நிலையானதாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது, இது உற்பத்தி செயல்திறனை பராமரிக்க முக்கியமானது.
அதன் கட்டமைப்பு நன்மைகள் கூடுதலாக, செமிசெராவின்SiC Cantilever Wafer Paddleஎடை மற்றும் ஆயுள் ஆகியவற்றிலும் நன்மைகளை வழங்குகிறது. இலகுரக கட்டுமானமானது, தற்போதுள்ள அமைப்புகளுடன் கையாள்வதையும் ஒருங்கிணைப்பதையும் எளிதாக்குகிறது, அதே சமயம் அதிக அடர்த்தி கொண்ட SiC பொருள் கோரும் நிலைமைகளின் கீழ் நீடித்து நிலைத்திருக்கும் தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைட்டின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
வேலை வெப்பநிலை (°C) | 1600°C (ஆக்ஸிஜனுடன்), 1700°C (சுற்றுச்சூழலைக் குறைக்கிறது) |
SiC உள்ளடக்கம் | > 99.96% |
இலவச Si உள்ளடக்கம் | < 0.1% |
மொத்த அடர்த்தி | 2.60-2.70 கிராம்/செ.மீ3 |
வெளிப்படையான போரோசிட்டி | < 16% |
சுருக்க வலிமை | > 600 MPa |
குளிர் வளைக்கும் வலிமை | 80-90 MPa (20°C) |
சூடான வளைக்கும் வலிமை | 90-100 MPa (1400°C) |
வெப்ப விரிவாக்கம் @1500°C | 4.70 10-6/°C |
வெப்ப கடத்துத்திறன் @1200°C | 23 W/m•K |
மீள் மாடுலஸ் | 240 GPa |
வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு | மிகவும் நல்லது |