மேம்பட்ட டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுடன் கூடிய SiC கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி குழாய்கள்

மேம்பட்ட டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுடன் கூடிய SiC கிரிஸ்டல் க்ரோத் டியூப்ஸ் சிறப்புப் படம்

சுருக்கமான விளக்கம்:

பூச்சு அதிக தூய்மை, அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் கிராஃபைட் மேற்பரப்புகளை தேய்மானம், அரிப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றத்திலிருந்து திறம்பட பாதுகாக்க இரசாயன எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு என்பது உயர் செயல்திறன் கொண்ட மேற்பரப்பு பூச்சு தொழில்நுட்பமாகும், இது பொருளின் மேற்பரப்பில் உடைகள்-எதிர்ப்பு, அரிப்பை-எதிர்ப்பு பாதுகாப்பு அடுக்கை உருவாக்குவதன் மூலம் சிறந்த செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

செமிசெரா செமிசெரா பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் கேரியர்களுக்கு சிறப்பு டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை வழங்குகிறது.செமிசெரா செமிசெரா முன்னணி பூச்சு செயல்முறை டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை அதிக தூய்மை, அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிக இரசாயன சகிப்புத்தன்மை ஆகியவற்றை அடைய உதவுகிறது, SIC/GAN படிகங்கள் மற்றும் EPI அடுக்குகளின் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது (கிராஃபைட் பூசப்பட்ட TaC சசெப்டர்), மற்றும் முக்கிய உலை கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டித்தல். டான்டலம் கார்பைடு TaC பூச்சுகளின் பயன்பாடு விளிம்பு சிக்கலைத் தீர்ப்பதற்கும், படிக வளர்ச்சியின் தரத்தை மேம்படுத்துவதற்கும் ஆகும், மேலும் செமிசெரா செமிசெரா டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை (CVD) தீர்த்து சர்வதேச மேம்பட்ட நிலையை எட்டியுள்ளது.

பல வருட வளர்ச்சிக்குப் பிறகு, செமிசெரா தொழில்நுட்பத்தை வென்றதுCVD TaCR&D துறையின் கூட்டு முயற்சிகளுடன். SiC செதில்களின் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் குறைபாடுகள் ஏற்படுவது எளிது, ஆனால் பயன்படுத்திய பிறகுTaC, வேறுபாடு குறிப்பிடத்தக்கது. கீழே TaC உடன் மற்றும் இல்லாத செதில்களின் ஒப்பீடு, அத்துடன் ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கான சிமிசெரா' பாகங்கள்.

அதிக திறன் கொண்ட டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு_ தொழில்துறை உற்பத்தி திறனை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகளை குறைக்கிறது சிறப்பு படம்

ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கான டாக் பகுதி

ஆன்டிவேர் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு_ உடைகள் மற்றும் அரிப்பிலிருந்து உபகரணங்களைப் பாதுகாக்கிறது சிறப்புப் படம்

TaC பூசப்பட்ட வளையத்துடன் கூடிய கிராஃபைட்

TaC உடன் மற்றும் இல்லாமல்

TaC ஐப் பயன்படுத்திய பிறகு (வலது)

மேலும், செமிசெராவின்TaC பூசப்பட்ட தயாரிப்புகள்ஒப்பிடும்போது நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் அதிக உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறதுSiC பூச்சுகள்.ஆய்வக அளவீடுகள் எங்கள் என்பதை நிரூபித்துள்ளனTaC பூச்சுகள்நீண்ட காலத்திற்கு 2300 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பநிலையில் தொடர்ந்து செயல்பட முடியும். எங்கள் மாதிரிகளின் சில எடுத்துக்காட்டுகள் கீழே உள்ளன: