விளக்கம்
செமிகோரெக்ஸின் SiC Wafer Susceptors for MOCVD (உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு) எபிடாக்சியல் படிவு செயல்முறைகளின் சரியான கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடை (SiC) பயன்படுத்தி, இந்த susceptors அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் இணையற்ற நீடித்துழைப்பு மற்றும் செயல்திறனை வழங்குகின்றன, இது குறைக்கடத்தி பொருட்களின் துல்லியமான மற்றும் திறமையான வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.
முக்கிய அம்சங்கள்:
1. உயர்ந்த பொருள் பண்புகள்உயர்-தர SiC இலிருந்து கட்டமைக்கப்பட்டது, எங்கள் வேஃபர் சஸ்பெப்டர்கள் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகின்றன. இந்த பண்புகள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்கள் உட்பட MOCVD செயல்முறைகளின் தீவிர நிலைமைகளைத் தாங்கி, நீண்ட ஆயுளையும் நம்பகமான செயல்திறனையும் உறுதிப்படுத்துகின்றன.
2. எபிடாக்சியல் டெபாசிஷனில் துல்லியம்எங்கள் SiC Wafer Susceptors இன் துல்லியமான பொறியியல், செதில் மேற்பரப்பில் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை உறுதிசெய்கிறது, சீரான மற்றும் உயர்தர எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சியை எளிதாக்குகிறது. உகந்த மின் பண்புகளைக் கொண்ட குறைக்கடத்திகளை உற்பத்தி செய்வதற்கு இந்தத் துல்லியம் முக்கியமானது.
3. மேம்படுத்தப்பட்ட ஆயுள்வலுவான SiC பொருள், கடுமையான செயல்முறை சூழல்களுக்கு தொடர்ச்சியான வெளிப்பாட்டின் கீழும், தேய்மானம் மற்றும் சீரழிவுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. இந்த ஆயுட்காலம் சஸ்செப்டர் மாற்றங்களின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது, வேலையில்லா நேரத்தையும் செயல்பாட்டுச் செலவுகளையும் குறைக்கிறது.
விண்ணப்பங்கள்:
MOCVD க்கான Semicorex's SiC Wafer Susceptors மிகவும் பொருத்தமானது:
• குறைக்கடத்தி பொருட்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி
• உயர் வெப்பநிலை MOCVD செயல்முறைகள்
• GaN, AlN மற்றும் பிற கலவை குறைக்கடத்திகளின் உற்பத்தி
• மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி பயன்பாடுகள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள்:
பலன்கள்:
•உயர் துல்லியம்: சீரான மற்றும் உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.
•நீண்ட கால செயல்திறன்விதிவிலக்கான ஆயுள் மாற்று அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது.
• செலவு-திறன்: குறைக்கப்பட்ட வேலையில்லா நேரம் மற்றும் பராமரிப்பு மூலம் செயல்பாட்டுச் செலவுகளைக் குறைக்கிறது.
•பன்முகத்தன்மை: பல்வேறு MOCVD செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கக்கூடியது.