செமிசெராஅறிமுகப்படுத்துகிறதுசெமிகண்டக்டர் கேசட், செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறை முழுவதும் செதில்களை பாதுகாப்பான மற்றும் திறமையான கையாளுதலுக்கான இன்றியமையாத கருவி. உயர் துல்லியத்துடன் வடிவமைக்கப்பட்ட, இந்த கேசட் உங்கள் செதில்கள் பாதுகாப்பாக சேமிக்கப்பட்டு கொண்டு செல்லப்படுவதை உறுதி செய்கிறது, ஒவ்வொரு நிலையிலும் அவற்றின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது.
உயர்ந்த பாதுகாப்பு மற்றும் ஆயுள்திசெமிகண்டக்டர் கேசட்செமிசெராவிலிருந்து உங்கள் செதில்களுக்கு அதிகபட்ச பாதுகாப்பை வழங்கும் வகையில் கட்டப்பட்டுள்ளது. வலுவான, மாசு-எதிர்ப்புப் பொருட்களிலிருந்து கட்டமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது உங்கள் செதில்களை சாத்தியமான சேதம் மற்றும் மாசுபாட்டிலிருந்து பாதுகாக்கிறது, இது தூய்மையான சூழலுக்கான சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது. கேசட்டின் வடிவமைப்பு துகள்களின் உருவாக்கத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் கையாளுதல் மற்றும் போக்குவரத்தின் போது செதில்கள் தீண்டப்படாமல் பாதுகாப்பாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.
சிறந்த செயல்திறனுக்கான மேம்படுத்தப்பட்ட வடிவமைப்புசெமிசெராவின்செமிகண்டக்டர் கேசட்துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட வடிவமைப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது துல்லியமான செதில் சீரமைப்பை வழங்குகிறது, தவறான சீரமைப்பு மற்றும் இயந்திர சேதத்தின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது. கேசட்டின் ஸ்லாட்டுகள், கீறல்கள் அல்லது பிற குறைபாடுகளை விளைவிக்கக்கூடிய எந்த அசைவையும் தடுக்கும் வகையில், ஒவ்வொரு செதில்களையும் பாதுகாப்பாக வைத்திருக்கும் வகையில் சரியான இடைவெளியில் உள்ளன.
பல்துறை மற்றும் பொருந்தக்கூடிய தன்மைதிசெமிகண்டக்டர் கேசட்பல்துறை மற்றும் பல்வேறு செதில் அளவுகளுடன் இணக்கமானது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் வெவ்வேறு நிலைகளுக்கு ஏற்றது. நீங்கள் நிலையான அல்லது தனிப்பயன் செதில் பரிமாணங்களுடன் பணிபுரிந்தாலும், இந்த கேசட் உங்கள் தேவைகளுக்கு ஏற்றது, உங்கள் உற்பத்தி செயல்முறைகளில் நெகிழ்வுத்தன்மையை வழங்குகிறது.
நெறிப்படுத்தப்பட்ட கையாளுதல் மற்றும் செயல்திறன்பயனரை மனதில் கொண்டு வடிவமைக்கப்பட்டதுசெமிசெரா செமிகண்டக்டர் கேசட்இலகுரக மற்றும் கையாள எளிதானது, விரைவான மற்றும் திறமையான ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல் ஆகியவற்றை அனுமதிக்கிறது. இந்த பணிச்சூழலியல் வடிவமைப்பு நேரத்தை மிச்சப்படுத்துவது மட்டுமல்லாமல், மனித பிழையின் அபாயத்தையும் குறைக்கிறது, உங்கள் வசதிக்குள் சுமூகமான செயல்பாடுகளை உறுதி செய்கிறது.
தொழில் தரநிலைகளை பூர்த்தி செய்தல்செமிசெரா உறுதி செய்கிறதுசெமிகண்டக்டர் கேசட்தரம் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கான மிக உயர்ந்த தொழில் தரநிலைகளை சந்திக்கிறது. ஒவ்வொரு கேசட்டும் கடுமையான சோதனைக்கு உட்படுத்தப்பட்டு, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் கோரும் நிலைமைகளின் கீழ் அது தொடர்ந்து செயல்படும் என்பதை உறுதிப்படுத்துகிறது. தரத்திற்கான இந்த அர்ப்பணிப்பு உங்கள் செதில்கள் எப்பொழுதும் பாதுகாக்கப்படுவதையும், தொழில்துறையில் தேவையான உயர் தரங்களைப் பேணுவதையும் உறுதி செய்கிறது.
பொருட்கள் | உற்பத்தி | ஆராய்ச்சி | போலி |
படிக அளவுருக்கள் | |||
பாலிடைப் | 4H | ||
மேற்பரப்பு நோக்குநிலை பிழை | <11-20 >4±0.15° | ||
மின் அளவுருக்கள் | |||
டோபண்ட் | n-வகை நைட்ரஜன் | ||
எதிர்ப்பாற்றல் | 0.015-0.025ohm·cm | ||
இயந்திர அளவுருக்கள் | |||
விட்டம் | 150.0 ± 0.2 மிமீ | ||
தடிமன் | 350± 25 μm | ||
முதன்மை தட்டையான நோக்குநிலை | [1-100]±5° | ||
முதன்மை தட்டையான நீளம் | 47.5 ± 1.5 மிமீ | ||
இரண்டாம் நிலை பிளாட் | இல்லை | ||
டிடிவி | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
எல்டிவி | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
வில் | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
வார்ப் | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
முன்(Si-Face) கடினத்தன்மை(AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
கட்டமைப்பு | |||
நுண்குழாய் அடர்த்தி | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 EA/cm2 |
உலோக அசுத்தங்கள் | ≤5E10அணுக்கள்/செமீ2 | NA | |
BPD | ≤1500 EA/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
TSD | ≤500 EA/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
முன் தரம் | |||
முன் | Si | ||
மேற்பரப்பு பூச்சு | Si-Face CMP | ||
துகள்கள் | ≤60ea/வேஃபர் (அளவு≥0.3μm) | NA | |
கீறல்கள் | ≤5ea/மிமீ. ஒட்டுமொத்த நீளம் ≤ விட்டம் | ஒட்டுமொத்த நீளம்≤2*விட்டம் | NA |
ஆரஞ்சு தலாம்/குழிகள்/கறைகள்/விரிசல்கள்/மாசுகள் | இல்லை | NA | |
விளிம்பு சில்லுகள் / உள்தள்ளல்கள் / முறிவு / ஹெக்ஸ் தட்டுகள் | இல்லை | ||
பாலிடைப் பகுதிகள் | இல்லை | ஒட்டுமொத்த பகுதி≤20% | ஒட்டுமொத்த பகுதி≤30% |
முன் லேசர் குறி | இல்லை | ||
பின் தரம் | |||
பின் பூச்சு | சி-முகம் CMP | ||
கீறல்கள் | ≤5ea/mm, ஒட்டுமொத்த நீளம்≤2*விட்டம் | NA | |
பின் குறைபாடுகள் (விளிம்பு சில்லுகள் / உள்தள்ளல்கள்) | இல்லை | ||
முதுகு முரட்டுத்தனம் | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
பின் லேசர் குறியிடுதல் | 1 மிமீ (மேல் விளிம்பிலிருந்து) | ||
விளிம்பு | |||
விளிம்பு | சேம்ஃபர் | ||
பேக்கேஜிங் | |||
பேக்கேஜிங் | வெற்றிட பேக்கேஜிங்குடன் எபி-ரெடி மல்டி-வேஃபர் கேசட் பேக்கேஜிங் | ||
*குறிப்புகள்: "NA" என்றால் கோரிக்கை இல்லை என்பது குறிப்பிடப்படாத உருப்படிகள் SEMI-STD ஐக் குறிக்கலாம். |