CVD மொத்த சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC)
கண்ணோட்டம்:CVDமொத்த சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC)பிளாஸ்மா பொறித்தல் கருவிகள், விரைவான வெப்பச் செயலாக்கம் (RTP) பயன்பாடுகள் மற்றும் பிற குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் மிகவும் விரும்பப்படும் பொருள். அதன் விதிவிலக்கான இயந்திர, இரசாயன மற்றும் வெப்ப பண்புகள், அதிக துல்லியம் மற்றும் நீடித்துழைப்பு தேவைப்படும் மேம்பட்ட தொழில்நுட்ப பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்த பொருளாக அமைகிறது.
CVD மொத்த SiC இன் பயன்பாடுகள்:செமிகண்டக்டர் துறையில், குறிப்பாக பிளாஸ்மா பொறித்தல் அமைப்புகளில், ஃபோகஸ் ரிங்க்ஸ், கேஸ் ஷவர்ஹெட்ஸ், எட்ஜ் ரிங்க்ஸ் மற்றும் பிளேட்டன்ஸ் போன்ற கூறுகள் SiC இன் சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றிலிருந்து பயனடைகின்றன. அதன் பயன்பாடு நீண்டுள்ளதுRTPகுறிப்பிடத்தக்க சீரழிவு இல்லாமல் விரைவான வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களைத் தாங்கும் SiC இன் திறன் காரணமாக அமைப்புகள்.
பொறிக்கும் கருவிகள் கூடுதலாக, சி.வி.டிமொத்த SiCபரவலான உலைகள் மற்றும் படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் விரும்பப்படுகிறது, அங்கு அதிக வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சூழல்களுக்கு எதிர்ப்பு தேவைப்படுகிறது. இந்த பண்புக்கூறுகள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் குளோரின் மற்றும் ஃவுளூரின் போன்ற அரிக்கும் வாயுக்களை உள்ளடக்கிய உயர் தேவை பயன்பாடுகளுக்கு SiC ஐ தேர்ந்தெடுக்கும் பொருளாக ஆக்குகின்றன.
CVD மொத்த SiC கூறுகளின் நன்மைகள்:
•அதிக அடர்த்தி:3.2 g/cm³ அடர்த்தியுடன்,CVD மொத்த SiCகூறுகள் உடைகள் மற்றும் இயந்திர தாக்கத்திற்கு மிகவும் எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டவை.
•சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்:300 W/m·K இன் வெப்ப கடத்துத்திறனை வழங்குகிறது, மொத்த SiC வெப்பத்தை திறமையாக நிர்வகிக்கிறது, இது தீவிர வெப்ப சுழற்சிகளுக்கு வெளிப்படும் கூறுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
•விதிவிலக்கான இரசாயன எதிர்ப்பு:குளோரின் மற்றும் ஃவுளூரின் அடிப்படையிலான இரசாயனங்கள் உட்பட, பொறிக்கப்பட்ட வாயுக்களுடன் SiC இன் குறைந்த வினைத்திறன், நீண்ட கூறு ஆயுளை உறுதி செய்கிறது.
•சரிசெய்யக்கூடிய மின்தடை: CVD மொத்த SiCகள்எதிர்ப்பை 10⁻²–10⁴ Ω-செமீ வரம்பிற்குள் தனிப்பயனாக்கலாம், இது குறிப்பிட்ட செதுக்கல் மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் தேவைகளுக்கு ஏற்றவாறு மாற்றுகிறது.
•வெப்ப விரிவாக்க குணகம்:4.8 x 10⁻⁶/°C (25–1000°C) வெப்ப விரிவாக்க குணகத்துடன், CVD மொத்த SiC வெப்ப அதிர்ச்சியை எதிர்க்கிறது, விரைவான வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகளின் போது கூட பரிமாண நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கிறது.
•பிளாஸ்மாவில் ஆயுள்:குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் பிளாஸ்மா மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களின் வெளிப்பாடு தவிர்க்க முடியாதது, ஆனால்CVD மொத்த SiCஅரிப்பு மற்றும் சிதைவுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, மாற்று அதிர்வெண் மற்றும் ஒட்டுமொத்த பராமரிப்பு செலவுகளை குறைக்கிறது.
தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்:
•விட்டம்:305 மிமீக்கு மேல்
•எதிர்ப்பாற்றல்:10⁻²–10⁴ Ω-செ.மீ.க்குள் சரிசெய்யக்கூடியது
•அடர்த்தி:3.2 g/cm³
•வெப்ப கடத்துத்திறன்:300 W/m·K
•வெப்ப விரிவாக்க குணகம்:4.8 x 10⁻⁶/°C (25–1000°C)
தனிப்பயனாக்கம் மற்றும் நெகிழ்வுத்தன்மை:மணிக்குசெமிசெரா செமிகண்டக்டர், ஒவ்வொரு குறைக்கடத்தி பயன்பாட்டிற்கும் வெவ்வேறு விவரக்குறிப்புகள் தேவைப்படலாம் என்பதை நாங்கள் புரிந்துகொள்கிறோம். அதனால்தான் எங்களின் CVD மொத்த SiC கூறுகள் முழுமையாக தனிப்பயனாக்கக்கூடியவை, சரிசெய்யக்கூடிய எதிர்ப்புத் திறன் மற்றும் உங்கள் உபகரணத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப வடிவமைக்கப்பட்ட பரிமாணங்கள். உங்கள் பிளாஸ்மா எச்சிங் அமைப்புகளை மேம்படுத்தினாலும் அல்லது RTP அல்லது பரவல் செயல்முறைகளில் நீடித்த கூறுகளைத் தேடினாலும், எங்கள் CVD மொத்த SiC இணையற்ற செயல்திறனை வழங்குகிறது.
