செமிசெராவழங்குவதில் மகிழ்ச்சி அடைகிறதுPFA கேசட், இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் ஆயுள் மிக முக்கியமான சூழல்களில் செதில் கையாளுதலுக்கான பிரீமியம் தேர்வு. உயர்-தூய்மை Perfluoroalkoxy (PFA) மெட்டீரியலில் இருந்து வடிவமைக்கப்பட்ட இந்த கேசட், செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பில் மிகவும் தேவைப்படும் நிலைமைகளைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது உங்கள் செதில்களின் பாதுகாப்பையும் ஒருமைப்பாட்டையும் உறுதி செய்கிறது.
ஒப்பிடமுடியாத இரசாயன எதிர்ப்புதிPFA கேசட்பரவலான இரசாயனங்களுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது ஆக்கிரமிப்பு அமிலங்கள், கரைப்பான்கள் மற்றும் பிற கடுமையான இரசாயனங்களை உள்ளடக்கிய செயல்முறைகளுக்கு சரியான தேர்வாக அமைகிறது. இந்த வலுவான இரசாயன எதிர்ப்பானது, மிகவும் அரிக்கும் சூழல்களிலும் கேசட் அப்படியே இருப்பதையும், செயல்படுவதையும் உறுதிசெய்கிறது, இதன் மூலம் அதன் ஆயுட்காலம் நீட்டிக்கப்படுகிறது மற்றும் அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை குறைக்கிறது.
உயர் தூய்மை கட்டுமானம்செமிசெராவின்PFA கேசட்செதில் செயலாக்கத்தின் போது மாசுபடுவதைத் தடுப்பதில் முக்கியமான, மிகத் தூய்மையான PFA பொருளிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது. இந்த உயர்-தூய்மை கட்டுமானமானது துகள் உருவாக்கம் மற்றும் இரசாயன கசிவு அபாயத்தைக் குறைக்கிறது, உங்கள் செதில்கள் அவற்றின் தரத்தை சமரசம் செய்யக்கூடிய அசுத்தங்களிலிருந்து பாதுகாக்கப்படுவதை உறுதி செய்கிறது.
மேம்படுத்தப்பட்ட ஆயுள் மற்றும் செயல்திறன்ஆயுளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டதுPFA கேசட்தீவிர வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான செயலாக்க நிலைமைகளின் கீழ் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது. அதிக வெப்பநிலைக்கு வெளிப்பட்டாலும் அல்லது மீண்டும் மீண்டும் கையாளுதலுக்கு உட்படுத்தப்பட்டாலும், இந்த கேசட் அதன் வடிவத்தையும் செயல்திறனையும் தக்கவைத்து, தேவைப்படும் உற்பத்திச் சூழல்களில் நீண்ட கால நம்பகத்தன்மையை வழங்குகிறது.
பாதுகாப்பான கையாளுதலுக்கான துல்லிய பொறியியல்திசெமிசெரா PFA கேசட்பாதுகாப்பான மற்றும் நிலையான செதில் கையாளுதலை உறுதி செய்யும் துல்லியமான பொறியியலைக் கொண்டுள்ளது. ஒவ்வொரு ஸ்லாட்டும் கவனமாக செதில்களை பாதுகாப்பாக இடத்தில் வைத்திருக்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, சேதத்தை விளைவிக்கக்கூடிய எந்த அசைவு அல்லது மாற்றத்தையும் தடுக்கிறது. இந்த துல்லியமான பொறியியல், சீரான மற்றும் துல்லியமான செதில் வைப்பதை ஆதரிக்கிறது, இது ஒட்டுமொத்த செயல்முறை செயல்திறனுக்கு பங்களிக்கிறது.
செயல்முறைகள் முழுவதும் பல்துறை பயன்பாடுஅதன் உயர்ந்த பொருள் பண்புகளுக்கு நன்றி, திPFA கேசட்செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிகேஷனின் பல்வேறு நிலைகளில் பயன்படுத்தக்கூடிய பல்துறை திறன் கொண்டது. இது குறிப்பாக ஈரமான பொறித்தல், இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் கடுமையான இரசாயன சூழல்களை உள்ளடக்கிய பிற செயல்முறைகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது. அதன் பொருந்தக்கூடிய தன்மை, செயல்முறை ஒருமைப்பாடு மற்றும் செதில் தரத்தை பராமரிப்பதில் ஒரு முக்கிய கருவியாக அமைகிறது.
தரம் மற்றும் புதுமைக்கான அர்ப்பணிப்புசெமிசெராவில், மிக உயர்ந்த தொழில்துறை தரத்தை பூர்த்தி செய்யும் தயாரிப்புகளை வழங்க நாங்கள் கடமைப்பட்டுள்ளோம். திPFA கேசட்இந்த உறுதிப்பாட்டை எடுத்துக்காட்டுகிறது, உங்கள் உற்பத்தி செயல்முறைகளில் தடையின்றி ஒருங்கிணைக்கும் நம்பகமான தீர்வை வழங்குகிறது. ஒவ்வொரு கேசட்டும் கடுமையான தரக் கட்டுப்பாட்டிற்கு உட்பட்டு, எங்களின் கடுமையான செயல்திறன் அளவுகோல்களை அது பூர்த்திசெய்கிறது, செமிசெராவிலிருந்து நீங்கள் எதிர்பார்க்கும் சிறப்பை வழங்குகிறது.
பொருட்கள் | உற்பத்தி | ஆராய்ச்சி | போலி |
படிக அளவுருக்கள் | |||
பாலிடைப் | 4H | ||
மேற்பரப்பு நோக்குநிலை பிழை | <11-20 >4±0.15° | ||
மின் அளவுருக்கள் | |||
டோபண்ட் | n-வகை நைட்ரஜன் | ||
எதிர்ப்பாற்றல் | 0.015-0.025ohm·cm | ||
இயந்திர அளவுருக்கள் | |||
விட்டம் | 150.0 ± 0.2 மிமீ | ||
தடிமன் | 350± 25 μm | ||
முதன்மை தட்டையான நோக்குநிலை | [1-100]±5° | ||
முதன்மை தட்டையான நீளம் | 47.5 ± 1.5 மிமீ | ||
இரண்டாம் நிலை பிளாட் | இல்லை | ||
டிடிவி | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
எல்டிவி | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
வில் | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
வார்ப் | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
முன்(Si-Face) கடினத்தன்மை(AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
கட்டமைப்பு | |||
நுண்குழாய் அடர்த்தி | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 EA/cm2 |
உலோக அசுத்தங்கள் | ≤5E10அணுக்கள்/செமீ2 | NA | |
BPD | ≤1500 EA/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
TSD | ≤500 EA/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
முன் தரம் | |||
முன் | Si | ||
மேற்பரப்பு பூச்சு | Si-Face CMP | ||
துகள்கள் | ≤60ea/வேஃபர் (அளவு≥0.3μm) | NA | |
கீறல்கள் | ≤5ea/மிமீ. ஒட்டுமொத்த நீளம் ≤ விட்டம் | ஒட்டுமொத்த நீளம்≤2*விட்டம் | NA |
ஆரஞ்சு தலாம்/குழிகள்/கறைகள்/விரிசல்கள்/மாசுகள் | இல்லை | NA | |
விளிம்பு சில்லுகள் / உள்தள்ளல்கள் / முறிவு / ஹெக்ஸ் தட்டுகள் | இல்லை | ||
பாலிடைப் பகுதிகள் | இல்லை | ஒட்டுமொத்த பகுதி≤20% | ஒட்டுமொத்த பகுதி≤30% |
முன் லேசர் குறி | இல்லை | ||
பின் தரம் | |||
பின் பூச்சு | சி-முகம் CMP | ||
கீறல்கள் | ≤5ea/mm, ஒட்டுமொத்த நீளம்≤2*விட்டம் | NA | |
பின் குறைபாடுகள் (விளிம்பு சில்லுகள் / உள்தள்ளல்கள்) | இல்லை | ||
முதுகு முரட்டுத்தனம் | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
பின் லேசர் குறியிடுதல் | 1 மிமீ (மேல் விளிம்பிலிருந்து) | ||
விளிம்பு | |||
விளிம்பு | சேம்ஃபர் | ||
பேக்கேஜிங் | |||
பேக்கேஜிங் | வெற்றிட பேக்கேஜிங்குடன் எபி-ரெடி மல்டி-வேஃபர் கேசட் பேக்கேஜிங் | ||
*குறிப்புகள்: "NA" என்றால் கோரிக்கை இல்லை என்பது குறிப்பிடப்படாத உருப்படிகள் SEMI-STD ஐக் குறிக்கலாம். |