வேஃபர் கேரியர் அறிமுகம்
தயாரிப்பு வகை
▶PECVD & TALOX செயல்முறைக்கான வேஃபர் கேரியர் சிஸ்டம்
• PECVD & TALOX கிராஃபைட் படகு (M4~M12)
• செங்குத்து SM-படகு (M4, M6)
• இம்ப்லாண்ட் & ஷவர் கிராஃபைட் பகுதி (M4~M6)
• C/C தட்டு & பீங்கான் பூச்சு
• உலோக RIE-தட்டு & செராமிக் பூச்சு
• வெற்றிட சீல் : ஓ-ரிங் & SQ-ரிங்
▶டெக்ஸ்ச்சரிங் & வெட் எட்ச்சிங் பரிமாற்ற செயல்முறை
• LSC H-கேரியர் அல்லது கேசட் (M4~M12)
• LSC V-கேரியர் அல்லது கேசட் (M4~M12)
• ASC கேரியர் அல்லது கேசட் (M4, M6)
• W/F கேரியர் & ஸ்டோரேஜ் பாக்ஸ் (M4~M12)
• போக்குவரத்து சக்கரம் (ரோலர்) தொடர்
▶சோலார் செல் கேரியர் & மெட்டல் கேரியர்
• TRC கேரியர் அல்லது கேசட் (M4~M12)
• இதழ் (பெல்ட் உடன்)
கிராஃபைட் படகு (எச்-வகை)
19P6-216CT (WF M4~M12)
கிராஃபைட் படகு (எச்-வகை)
21P6-240CT WF M4~M12)
கிராஃபைட் படகு (எச்-வகை)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
கிராஃபைட் படகு (எச்-வகை)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
கிராஃபைட் படகு (எச்-வகை)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF கேரியர் & ஸ்டோரேஜ் பாக்ஸ் (~M12)
C/C tray அல்லது CARRIER( M4~M10)
C/C tray அல்லது CARRIER( M4~M10)
செங்குத்து படகு (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC கேரியர் (~M6)
TRC கேரியர்(~M12)
TRC கேரியர்(~M12)
கிராஃபைட்-படகு(எம்12)
PECVD செயல்முறைக்கான வேஃபர் கேரியர் அமைப்பு
▶ கிராஃபைட் படகு (CT-வடிவமைக்கப்பட்ட) M10/M12 செயல்முறை
• சிறப்பு வடிவமைப்பு கருத்து
▶ கிராஃபைட் படகு (CT-வடிவமைக்கப்பட்ட) M4/M6 செயல்முறை
▶ படகு துணை பாகங்கள்
▶ செங்குத்து படகு-161.7மிமீ வேஃபர்
▶ செங்குத்து படகு-166 மிமீ வேஃபர்
▶ செங்குத்து படகு-161.7மிமீ, 166மிமீ வேஃபர்
சோலார் செல் கேரியர் & மெட்டல் டிஆர்சி கேரியர்
வகை: ஆட்டோமேஷன்
வேஃபர் அளவு : ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
பயன்பாடு: கேரி (கேசட்)
கொள்ளளவு: 100 தாள்
பிட்ச்: 4.76 மிமீ/5.953 மிமீ/6.35 மிமீ
பரிமாணம்: தோராயமாக 559×220×220மிமீ
தோராயமாக 712×260×260மிமீ
நன்மை: வளிமண்டலம்
பொருள்: ஃபிளேம், சைட் பார்-அலுமினியம் (அனோடைசிங்)
பக்க தட்டு-POM (ஆண்டிஸ்டேடிக்)
கீழ் பட்டியின் கவர்-EPDM/PU/VITON (ASE)