செதில் தயாரிப்பு செயல்பாட்டில், இரண்டு முக்கிய இணைப்புகள் உள்ளன: ஒன்று அடி மூலக்கூறு தயாரித்தல், மற்றொன்று எபிடாக்சியல் செயல்முறையை செயல்படுத்துதல். அடி மூலக்கூறு, செமிகண்டக்டர் ஒற்றை படிகப் பொருளிலிருந்து கவனமாக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு செதில், செமிகண்டக்டர் சாதனங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கான அடிப்படையாக நேரடியாக செதில் உற்பத்தி செயல்முறையில் வைக்கப்படலாம் அல்லது எபிடாக்சியல் செயல்முறைகள் மூலம் அதை மேலும் மேம்படுத்தலாம்.
எனவே, குறிப்பீடு என்றால் என்ன? சுருக்கமாக, எபிடாக்ஸி என்பது ஒரு படிக அடி மூலக்கூறில் ஒரு புதிய அடுக்கு ஒற்றை படிகத்தின் வளர்ச்சியாகும், அது நன்றாக செயலாக்கப்பட்டது (வெட்டுதல், அரைத்தல், மெருகூட்டல் போன்றவை). இந்த புதிய ஒற்றை படிக அடுக்கு மற்றும் அடி மூலக்கூறு ஒரே பொருள் அல்லது வெவ்வேறு பொருட்களால் செய்யப்படலாம், இதனால் தேவைக்கேற்ப ஒரே மாதிரியான அல்லது ஹீட்டோரோபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை அடைய முடியும். புதிதாக வளர்ந்த ஒற்றை படிக அடுக்கு அடி மூலக்கூறின் படிக கட்டத்திற்கு ஏற்ப விரிவடையும் என்பதால், இது எபிடாக்சியல் அடுக்கு என்று அழைக்கப்படுகிறது. அதன் தடிமன் பொதுவாக சில மைக்ரான்கள் மட்டுமே. சிலிக்கானை உதாரணமாக எடுத்துக் கொண்டால், சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி என்பது, ஒரு குறிப்பிட்ட படிக நோக்குநிலையுடன் கூடிய சிலிக்கான் ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறில், அடி மூலக்கூறு, கட்டுப்படுத்தக்கூடிய எதிர்ப்புத்திறன் மற்றும் தடிமன் போன்ற அதே படிக நோக்குநிலையுடன் சிலிக்கான் அடுக்கை வளர்ப்பதாகும். சரியான லட்டு அமைப்புடன் கூடிய சிலிக்கான் ஒற்றைப் படிக அடுக்கு. அடி மூலக்கூறில் எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளரும் போது, முழுதும் எபிடாக்சியல் வேஃபர் என்று அழைக்கப்படுகிறது.
பாரம்பரிய சிலிக்கான் குறைக்கடத்தி தொழிலுக்கு, சிலிக்கான் செதில்களில் நேரடியாக உயர் அதிர்வெண் மற்றும் உயர் சக்தி சாதனங்களை உற்பத்தி செய்வது சில தொழில்நுட்ப சிக்கல்களை சந்திக்கும். எடுத்துக்காட்டாக, அதிக முறிவு மின்னழுத்தம், சிறிய தொடர் எதிர்ப்பு மற்றும் சேகரிப்பான் பகுதியில் சிறிய செறிவூட்டல் மின்னழுத்த வீழ்ச்சி ஆகியவற்றின் தேவைகளை அடைவது கடினம். எபிடாக்ஸி தொழில்நுட்பத்தின் அறிமுகம் இந்த சிக்கல்களை புத்திசாலித்தனமாக தீர்க்கிறது. குறைந்த-எதிர்ப்பு சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறில் உயர்-எதிர்ப்பு எபிடாக்சியல் லேயரை வளர்த்து, பின்னர் உயர்-எதிர்ப்பு எபிடாக்சியல் லேயரில் சாதனங்களை உருவாக்குவதே தீர்வு. இந்த வழியில், உயர்-எதிர்ப்பு எபிடாக்சியல் அடுக்கு சாதனத்திற்கு உயர் முறிவு மின்னழுத்தத்தை வழங்குகிறது, அதே சமயம் குறைந்த-எதிர்ப்பு அடி மூலக்கூறு அடி மூலக்கூறின் எதிர்ப்பைக் குறைக்கிறது, இதன் மூலம் செறிவூட்டல் மின்னழுத்த வீழ்ச்சியைக் குறைக்கிறது, இதன் மூலம் அதிக முறிவு மின்னழுத்தம் மற்றும் எதிர்ப்பு மற்றும் சிறிய சமநிலையை அடைகிறது. சிறிய மின்னழுத்த வீழ்ச்சி.
கூடுதலாக, நீராவி நிலை எபிடாக்ஸி மற்றும் GaAs மற்றும் பிற III-V, II-VI மற்றும் பிற மூலக்கூறு கலவை குறைக்கடத்தி பொருட்கள் போன்ற எபிடாக்சி தொழில்நுட்பங்கள் பெரிதும் உருவாக்கப்பட்டு, பெரும்பாலான நுண்ணலை சாதனங்கள், ஒளியியல் சாதனங்கள் மற்றும் சக்திக்கு அடிப்படையாக மாறியுள்ளன. சாதனங்கள். உற்பத்திக்கான இன்றியமையாத செயல்முறை தொழில்நுட்பங்கள், குறிப்பாக மெல்லிய அடுக்குகளில் மூலக்கூறு கற்றை மற்றும் உலோக-கரிம நீராவி கட்ட எபிடாக்ஸி தொழில்நுட்பத்தின் வெற்றிகரமான பயன்பாடு, சூப்பர்லட்டீஸ்கள், குவாண்டம் கிணறுகள், வடிகட்டிய சூப்பர்லட்டீஸ்கள் மற்றும் அணு-நிலை மெல்லிய-அடுக்கு எபிடாக்ஸி ஆகியவை குறைக்கடத்தி ஆராய்ச்சியின் புதிய துறையாக மாறியுள்ளன. "எனர்ஜி பெல்ட் திட்டத்தின்" வளர்ச்சி உறுதியான அடித்தளத்தை அமைத்துள்ளது.
மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி சாதனங்களைப் பொறுத்த வரையில், இது போன்ற அனைத்து குறைக்கடத்தி சாதனங்களும் எபிடாக்சியல் லேயரில் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் சிலிக்கான் கார்பைடு செதில் தான் அடி மூலக்கூறாக செயல்படுகிறது. SiC எபிடாக்சியல் பொருளின் தடிமன், பின்னணி கேரியர் செறிவு மற்றும் பிற அளவுருக்கள் SiC சாதனங்களின் பல்வேறு மின் பண்புகளை நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது. உயர் மின்னழுத்த பயன்பாடுகளுக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு சாதனங்கள் எபிடாக்சியல் பொருட்களின் தடிமன் மற்றும் பின்னணி கேரியர் செறிவு போன்ற அளவுருக்களுக்கான புதிய தேவைகளை முன்வைக்கின்றன. எனவே, சிலிக்கான் கார்பைடு சாதனங்களின் செயல்திறனை முழுமையாகப் பயன்படுத்துவதில் சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் தொழில்நுட்பம் ஒரு தீர்க்கமான பாத்திரத்தை வகிக்கிறது. ஏறக்குறைய அனைத்து SiC சக்தி சாதனங்களின் தயாரிப்பு உயர்தர SiC எபிடாக்சியல் செதில்களை அடிப்படையாகக் கொண்டது. எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் உற்பத்தி பரந்த பேண்ட்கேப் செமிகண்டக்டர் தொழிற்துறையின் ஒரு முக்கிய பகுதியாகும்.
இடுகை நேரம்: மே-06-2024