மெட்டல்-ஆர்கானிக் கெமிக்கல் நீராவி படிவு (எம்ஓசிவிடி) என்பது குறைக்கடத்தி துறையில் ஒரு முக்கியமான செயல்முறையாகும், அங்கு உயர்தர மெல்லிய படலங்கள் அடி மூலக்கூறுகளில் வைக்கப்படுகின்றன. MOCVD செயல்முறையின் ஒரு முக்கிய அங்கம் சசெப்டர் ஆகும், இது தயாரிக்கப்பட்ட படங்களின் சீரான தன்மை மற்றும் தரத்தை உறுதி செய்வதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.
சஸ்செப்டர் என்றால் என்ன? ஒரு சசெப்டர் என்பது MOCVD செயல்பாட்டில் மெல்லிய படலங்கள் டெபாசிட் செய்யப்படும் அடி மூலக்கூறை ஆதரிக்கவும் வெப்பப்படுத்தவும் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு சிறப்பு கூறு ஆகும். மின்காந்த ஆற்றலை உறிஞ்சுவது, வெப்பமாக மாற்றுவது மற்றும் அடி மூலக்கூறு முழுவதும் இந்த வெப்பத்தை சீராக விநியோகிப்பது உள்ளிட்ட பல செயல்பாடுகளை இது செய்கிறது. துல்லியமான தடிமன் மற்றும் கலவையுடன் ஒரே மாதிரியான படங்களின் வளர்ச்சிக்கு இந்த சீரான வெப்பமாக்கல் அவசியம்.
சஸ்செப்டர்களின் வகைகள்:
1. கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர்கள்: பொதுவாக ஒரு பாதுகாப்பு அடுக்குடன் பூசப்பட்டிருக்கும்சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC), கிராஃபைட் சசெப்டர்கள் அவற்றின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் நிலைத்தன்மைக்கு அறியப்படுகின்றன. திSiC பூச்சுஅதிக வெப்பநிலையில் அரிப்பு மற்றும் சிதைவை எதிர்க்கும் கடினமான, பாதுகாப்பான மேற்பரப்பை வழங்குகிறது.
2. சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) சஸ்செப்டர்கள்: இவை முற்றிலும் SiC இலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றன, சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் தேய்மானம் மற்றும் கிழிக்க எதிர்ப்பு ஆகியவற்றை வழங்குகிறது.SiC susceptorsகுறிப்பாக உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகள் மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களுக்கு ஏற்றது.
எப்படிசஸ்பெக்டர்கள்MOCVD இல் வேலை:
MOCVD செயல்பாட்டில், முன்னோடிகள் உலை அறைக்குள் அறிமுகப்படுத்தப்படுகின்றன, அங்கு அவை சிதைந்து, அடி மூலக்கூறில் மெல்லிய படலத்தை உருவாக்குகின்றன. அடி மூலக்கூறு ஒரே மாதிரியாக சூடாக்கப்படுவதை உறுதி செய்வதன் மூலம் சசெப்டர் ஒரு முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, இது முழு அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பு முழுவதும் சீரான பட பண்புகளை அடைவதற்கு முக்கியமானது. வெப்பநிலை வரம்பு மற்றும் இரசாயன இணக்கத்தன்மை போன்ற படிவு செயல்முறையின் குறிப்பிட்ட தேவைகளுடன் பொருந்துமாறு சசெப்டரின் பொருள் மற்றும் வடிவமைப்பு கவனமாக தேர்ந்தெடுக்கப்படுகிறது.
பயன்படுத்துவதன் நன்மைகள்உயர்தர சஸ்செப்டர்கள்:
• மேம்படுத்தப்பட்ட ஃபிலிம் தரம்: சீரான வெப்ப விநியோகத்தை வழங்குவதன் மூலம், செமிகண்டக்டர் சாதனங்களின் செயல்திறனுக்கு இன்றியமையாத தடிமன் மற்றும் கலவையுடன் கூடிய திரைப்படங்களை அடைவதில் சப்செப்டர்கள் உதவுகின்றன.
• அதிகரித்த செயல்முறை திறன்: உயர்தர susceptors குறைபாடுகள் சாத்தியக்கூறுகளை குறைத்து மற்றும் பயன்படுத்தக்கூடிய படங்களின் விளைச்சலை அதிகரிப்பதன் மூலம் MOCVD செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.
• ஆயுட்காலம் மற்றும் நம்பகத்தன்மை: SiC போன்ற நீடித்த பொருட்களால் செய்யப்பட்ட சஸ்செப்டர்கள் நீண்ட கால நம்பகத்தன்மை மற்றும் குறைக்கப்பட்ட பராமரிப்பு செலவுகளை உறுதி செய்கின்றன.
முடிவு: சசெப்டர் என்பது MOCVD செயல்பாட்டில் இன்றியமையாத அங்கமாகும், இது மெல்லிய படப் படிவின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை நேரடியாக பாதிக்கிறது. சரியான சசெப்டர் பொருள் மற்றும் வடிவமைப்பைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்கள் தங்கள் செயல்முறைகளை மேம்படுத்தலாம், இதன் விளைவாக சிறந்த சாதன செயல்திறன் மற்றும் குறைந்த உற்பத்தி செலவுகள் கிடைக்கும். உயர் செயல்திறன் கொண்ட மின்னணு சாதனங்களுக்கான தேவை தொடர்ந்து அதிகரித்து வருவதால், உயர்தர MOCVD susc இன் முக்கியத்துவம்
இடுகை நேரம்: ஆகஸ்ட்-12-2024