திMOCVDஒற்றை கட்ட InGaN எபிலேயர்கள், III-N பொருட்கள் மற்றும் பல குவாண்டம் கிணறு கட்டமைப்புகள் கொண்ட செமிகண்டக்டர் படங்கள் போன்ற உயர்தர ஒற்றை படிக மெல்லிய பிலிம்களை வளர்ப்பதற்கு தற்போது தொழில்துறையில் பயன்படுத்தப்படும் மிகவும் நிலையான செயல்முறைகளில் ஒன்று இந்த முறை. குறைக்கடத்தி மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்களின் உற்பத்தி.
திSiC பூச்சு MOCVD சசெப்டர்சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட ஒரு சிறப்பு செதில் வைத்திருப்பவர்எபிடாக்சியல் உலோக கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) செயல்பாட்டில் வளர்ச்சி.
SiC பூச்சு சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளை கோருவதில் பயன்படுத்தப்படும் MOCVD சஸ்செப்டர்களுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது.
MOCVD செயல்முறையின் ஒரு முக்கிய அங்கம் சஸ்பெப்டர் ஆகும், இது தயாரிக்கப்பட்ட மெல்லிய படங்களின் சீரான தன்மை மற்றும் தரத்தை உறுதி செய்வதற்கான முக்கிய உறுப்பு ஆகும்.
சஸ்செப்டர் என்றால் என்ன? சசெப்டர் என்பது MOCVD செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு சிறப்பு கூறு ஆகும். மின்காந்த ஆற்றலை உறிஞ்சுவது, வெப்பமாக மாற்றுவது மற்றும் அடி மூலக்கூறில் வெப்பத்தை சமமாக விநியோகிப்பது உள்ளிட்ட பல செயல்பாடுகளை இது கொண்டுள்ளது. துல்லியமான தடிமன் மற்றும் கலவை கொண்ட சீரான மெல்லிய படங்களின் வளர்ச்சிக்கு இந்த சீரான வெப்பமாக்கல் அவசியம்.
உறிஞ்சிகளின் வகைகள்:
1. கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள்: கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர்கள் பெரும்பாலும் பாதுகாப்பு அடுக்குடன் பூசப்பட்டிருக்கும்சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC), இது அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் நிலைத்தன்மைக்கு அறியப்படுகிறது. திSiC பூச்சுஅதிக வெப்பநிலையில் அரிப்பு மற்றும் சிதைவை எதிர்க்கும் கடினமான, பாதுகாப்பான மேற்பரப்பை வழங்குகிறது.
2. சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) susceptors: இந்த susceptors முற்றிலும் SiC ஆல் உருவாக்கப்பட்டு சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன. SiC susceptors உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகள் மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களுக்கு குறிப்பாக பொருத்தமானது.
MOCVD இல் சஸ்பெப்டர்கள் எவ்வாறு வேலை செய்கின்றன:
MOCVD செயல்பாட்டில், முன்னோடிகள் எதிர்வினை அறைக்குள் அறிமுகப்படுத்தப்படுகின்றன, அங்கு அவை சிதைந்து, அடி மூலக்கூறில் மெல்லிய படலத்தை உருவாக்குகின்றன. அடி மூலக்கூறு சமமாக சூடாக்கப்படுவதை உறுதி செய்வதன் மூலம் சசெப்டர் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, இது முழு அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் சீரான பட பண்புகளை அடைவதற்கு முக்கியமானது. வெப்பநிலை வரம்பு மற்றும் இரசாயன பொருந்தக்கூடிய தன்மை போன்ற படிவு செயல்முறையின் குறிப்பிட்ட தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய, சஸ்செப்டரின் பொருள் மற்றும் வடிவமைப்பு கவனமாக தேர்ந்தெடுக்கப்படுகிறது.
உயர்தர சஸ்பெக்டர்களைப் பயன்படுத்துவதன் நன்மைகள்:
• மேம்படுத்தப்பட்ட படத் தரம்: சீரான வெப்ப விநியோகத்தை வழங்குவதன் மூலம், செமிகண்டக்டர் சாதனங்களின் செயல்திறனுக்கு முக்கியமான, சீரான தடிமன் மற்றும் கலவையுடன் கூடிய திரைப்படங்களை அடைய சசெப்டர் உதவுகிறது.
• மேம்படுத்தப்பட்ட செயல்முறைத் திறன்: உயர்தர சப்செப்டர்கள், குறைபாடுகளின் வாய்ப்பைக் குறைப்பதன் மூலம் மற்றும் பயன்படுத்தக்கூடிய படங்களின் விளைச்சலை அதிகரிப்பதன் மூலம் MOCVD செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை அதிகரிக்கின்றன.
• ஆயுட்காலம் மற்றும் நம்பகத்தன்மை: SiC போன்ற நீடித்த பொருட்களால் செய்யப்பட்ட சஸ்செப்டர்கள் நீண்ட கால நம்பகத்தன்மையை உறுதிசெய்து பராமரிப்பு செலவுகளைக் குறைக்கின்றன.
எம்ஓசிவிடி செயல்பாட்டில் சஸ்செப்டர் ஒரு ஒருங்கிணைந்த அங்கமாகும், மேலும் இது மெல்லிய படப் படிவின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை நேரடியாக பாதிக்கிறது. கிடைக்கும் அளவுகள், MOCVD சப்செப்டர்கள் மற்றும் விலைகள் பற்றிய கூடுதல் தகவலுக்கு, எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம். எங்கள் பொறியியலாளர்கள் பொருத்தமான பொருட்கள் குறித்து உங்களுக்கு ஆலோசனை வழங்குவதோடு உங்கள் எல்லா கேள்விகளுக்கும் பதிலளிப்பதில் மகிழ்ச்சியடைவார்கள்.
தொலைபேசி: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
இடுகை நேரம்: ஆகஸ்ட்-12-2024