எபிடாக்ஸி என்றால் என்ன?

பெரும்பாலான பொறியாளர்கள் அறிமுகமில்லாதவர்கள்எபிடாக்ஸி, குறைக்கடத்தி சாதனம் தயாரிப்பில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.எபிடாக்ஸிவெவ்வேறு சிப் தயாரிப்புகளில் பயன்படுத்தப்படலாம், மேலும் பல்வேறு தயாரிப்புகளில் பல்வேறு வகையான எபிடாக்ஸிகள் உள்ளனஎபிடாக்ஸி, SiC எபிடாக்ஸி, GaN எபிடாக்ஸி, முதலியன

எபிடாக்ஸி என்றால் என்ன?
Epitaxy பெரும்பாலும் ஆங்கிலத்தில் "Epitaxy" என்று அழைக்கப்படுகிறது. இந்த வார்த்தை கிரேக்க வார்த்தைகளான "எபி" ("மேலே" என்று பொருள்) மற்றும் "டாக்ஸி" ("ஏற்பாடு" என்று பொருள்) ஆகியவற்றிலிருந்து வந்தது. பெயர் குறிப்பிடுவது போல, ஒரு பொருளின் மேல் நேர்த்தியாக ஏற்பாடு செய்தல் என்று பொருள். எபிடாக்ஸி செயல்முறை ஒரு மெல்லிய ஒற்றை படிக அடுக்கை ஒரு படிக அடி மூலக்கூறில் வைப்பதாகும். புதிதாக டெபாசிட் செய்யப்பட்ட இந்த ஒற்றை படிக அடுக்கு எபிடாக்சியல் லேயர் என்று அழைக்கப்படுகிறது.

எபிடாக்ஸியில் இரண்டு முக்கிய வகைகள் உள்ளன: ஹோமோபிடாக்சியல் மற்றும் ஹெட்டோரோபிடாக்சியல். ஹோமோபிடாக்சியல் என்பது ஒரே மாதிரியான அடி மூலக்கூறில் ஒரே பொருளை வளர்ப்பதைக் குறிக்கிறது. எபிடாக்சியல் லேயர் மற்றும் அடி மூலக்கூறு சரியாக ஒரே லட்டு அமைப்பைக் கொண்டுள்ளன. ஹெட்டோரோபிடாக்ஸி என்பது ஒரு பொருளின் அடி மூலக்கூறில் மற்றொரு பொருளின் வளர்ச்சியாகும். இந்த வழக்கில், எபிடாக்ஸியாக வளர்ந்த படிக அடுக்கு மற்றும் அடி மூலக்கூறு ஆகியவற்றின் லேட்டிஸ் அமைப்பு வேறுபட்டிருக்கலாம். ஒற்றை படிகங்கள் மற்றும் பாலிகிரிஸ்டலின் என்றால் என்ன?
குறைக்கடத்திகளில், ஒற்றை கிரிஸ்டல் சிலிக்கான் மற்றும் பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் என்ற சொற்களை நாம் அடிக்கடி கேட்கிறோம். சில சிலிக்கான் ஒற்றை படிகங்கள் என்றும் சில சிலிக்கான் பாலிகிரிஸ்டலின் என்றும் ஏன் அழைக்கப்படுகின்றன?

ஒற்றைப் படிக: லேட்டிஸ் அமைப்பு தானிய எல்லைகள் இல்லாமல், தொடர்ச்சியாகவும் மாறாமலும் இருக்கும், அதாவது, முழுப் படிகமும் சீரான படிக நோக்குநிலையுடன் ஒரே லட்டியால் ஆனது. பாலிகிரிஸ்டலின்: பாலிகிரிஸ்டலின் பல சிறிய தானியங்களால் ஆனது, அவை ஒவ்வொன்றும் ஒரு படிகமாகும், மேலும் அவற்றின் நோக்குநிலைகள் ஒருவருக்கொருவர் பொறுத்து சீரற்றவை. இந்த தானியங்கள் தானிய எல்லைகளால் பிரிக்கப்படுகின்றன. பாலிகிரிஸ்டலின் பொருட்களின் உற்பத்தி செலவு ஒற்றை படிகங்களை விட குறைவாக உள்ளது, எனவே அவை இன்னும் சில பயன்பாடுகளில் பயனுள்ளதாக இருக்கும். எபிடாக்சியல் செயல்முறை எங்கு ஈடுபடும்?
சிலிக்கான் அடிப்படையிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் தயாரிப்பில், எபிடாக்சியல் செயல்முறை பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறில் தூய மற்றும் நேர்த்தியாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் அடுக்கை வளர்க்க சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது மேம்பட்ட ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் உற்பத்திக்கு மிகவும் முக்கியமானது. கூடுதலாக, சக்தி சாதனங்களில், SiC மற்றும் GaN ஆகியவை சிறந்த சக்தி கையாளும் திறன் கொண்ட இரண்டு பரந்த பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்தி பொருட்கள் ஆகும். இந்த பொருட்கள் பொதுவாக எபிடாக்ஸி மூலம் சிலிக்கான் அல்லது பிற அடி மூலக்கூறுகளில் வளர்க்கப்படுகின்றன. குவாண்டம் தகவல்தொடர்புகளில், குறைக்கடத்தி அடிப்படையிலான குவாண்டம் பிட்கள் பொதுவாக சிலிக்கான் ஜெர்மானியம் எபிடாக்சியல் கட்டமைப்புகளைப் பயன்படுத்துகின்றன. முதலியன

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் முறைகள்?

பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் மூன்று குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸி முறைகள்:

மூலக்கூறு கற்றை எபிடாக்ஸி (MBE): மூலக்கூறு கற்றை எபிடாக்ஸி) என்பது அதி-உயர் வெற்றிட நிலைகளின் கீழ் நிகழ்த்தப்படும் ஒரு குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி தொழில்நுட்பமாகும். இந்த தொழில்நுட்பத்தில், மூலப்பொருள் அணுக்கள் அல்லது மூலக்கூறு கற்றைகளின் வடிவத்தில் ஆவியாகி பின்னர் ஒரு படிக அடி மூலக்கூறில் வைக்கப்படுகிறது. MBE என்பது மிகவும் துல்லியமான மற்றும் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய குறைக்கடத்தி மெல்லிய பட வளர்ச்சி தொழில்நுட்பமாகும், இது அணு மட்டத்தில் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட பொருளின் தடிமனை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த முடியும்.

மெட்டல் ஆர்கானிக் சிவிடி (எம்ஓசிவிடி): MOCVD செயல்பாட்டில், தேவையான தனிமங்களைக் கொண்ட கரிம உலோகங்கள் மற்றும் ஹைட்ரைடு வாயுக்கள் தகுந்த வெப்பநிலையில் அடி மூலக்கூறுக்கு வழங்கப்படுகின்றன, மேலும் தேவையான குறைக்கடத்தி பொருட்கள் வேதியியல் எதிர்வினைகள் மூலம் உருவாக்கப்பட்டு அடி மூலக்கூறில் வைக்கப்படுகின்றன, மீதமுள்ளவை கலவைகள் மற்றும் எதிர்வினை பொருட்கள் வெளியேற்றப்படுகின்றன.

நீராவி கட்ட எபிடாக்ஸி (VPE): நீராவி நிலை எபிடாக்ஸி என்பது குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்தியில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கியமான தொழில்நுட்பமாகும். அதன் அடிப்படைக் கொள்கையானது ஒரு பொருள் அல்லது சேர்மத்தின் நீராவியை ஒரு கேரியர் வாயுவில் கொண்டு செல்வதும், வேதியியல் எதிர்வினைகள் மூலம் ஒரு அடி மூலக்கூறில் படிகங்களை வைப்பதும் ஆகும்.