செமிகண்டக்டர் தொழில் உயர்தர மின்னணு சாதனங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கு மிகவும் சிறப்பு வாய்ந்த உபகரணங்களை நம்பியுள்ளது. எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் இது போன்ற ஒரு முக்கியமான கூறு எபி பான் கேரியர் ஆகும். செமிகண்டக்டர் செதில்களில் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை படிவதில் இந்த உபகரணங்கள் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, இறுதி தயாரிப்பின் சீரான தன்மை மற்றும் தரத்தை உறுதி செய்கிறது.
எபிடாக்சி பான் கேரியர் என்றும் அழைக்கப்படும் எபி பான் கேரியர், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட தட்டு ஆகும். இது எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் படிவுகளின் போது குறைக்கடத்தி செதில்களை வைத்திருக்கிறது மற்றும் ஆதரிக்கிறது. இந்த கேரியர்கள் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளின் பொதுவான உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, இது ஒற்றை-படிக அடுக்குகளின் வளர்ச்சிக்கு ஒரு நிலையான தளத்தை வழங்குகிறது.
பொருட்கள் மற்றும் கட்டுமானம்:
எபி பான் கேரியர்கள் பொதுவாக தீவிர வெப்பநிலையை தாங்கக்கூடிய மற்றும் இரசாயன எதிர்வினைகளை எதிர்க்கும் பொருட்களிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றன. பொதுவான பொருட்கள் அடங்கும்:
•சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC): அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் தேய்மானம் மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு ஆகியவற்றிற்கு பெயர் பெற்ற SiC, எபி பான் கேரியர்களுக்கான பிரபலமான தேர்வாகும்.
• கிராஃபைட்: அதன் சிறந்த வெப்ப பண்புகள் மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கும் திறன் காரணமாக பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. கிராஃபைட் கேரியர்கள் பொதுவாக SiC உடன் பூசப்பட்டிருக்கும், அவை அவற்றின் ஆயுள் மற்றும் அரிப்பை எதிர்க்கும்.
எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் பங்கு:
எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறை ஒரு அடி மூலக்கூறு அல்லது செதில் மீது படிகப் பொருட்களின் மெல்லிய அடுக்கை வைப்பதை உள்ளடக்கியது. துல்லியமான மின் பண்புகளுடன் குறைக்கடத்தி சாதனங்களை உருவாக்குவதில் இந்த செயல்முறை முக்கியமானது. எபி பான் கேரியர் எதிர்வினை அறையில் உள்ள செதில்களை ஆதரிக்கிறது மற்றும் படிவு செயல்பாட்டின் போது அது நிலையாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.
எபி பான் கேரியரின் முக்கிய செயல்பாடுகள் பின்வருமாறு:
• சீரான வெப்ப விநியோகம்: கேரியர் செதில் முழுவதும் வெப்ப விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, இது நிலையான எபிடாக்சியல் லேயர் தடிமன் மற்றும் தரத்தை அடைவதற்கு அவசியம்.
• இரசாயன தனிமைப்படுத்தல்: ஒரு நிலையான மற்றும் மந்தமான மேற்பரப்பை வழங்குவதன் மூலம், எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தரத்தை குறைக்கக்கூடிய தேவையற்ற இரசாயன எதிர்வினைகளை கேரியர் தடுக்கிறது.
உயர்தர நன்மைகள்எபி பான் கேரியர்கள்:
• மேம்படுத்தப்பட்ட சாதன செயல்திறன்: சீரான எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் சிறந்த செயல்திறனுக்கு பங்களிக்கின்றன, இதன் விளைவாக சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மை உள்ளது.
• அதிகரித்த மகசூல்: குறைபாடுகளைக் குறைப்பதன் மூலம் மற்றும் சீரான அடுக்கு படிவுகளை உறுதி செய்வதன் மூலம், உயர்தர கேரியர்கள் பயன்படுத்தக்கூடிய குறைக்கடத்தி செதில்களின் விளைச்சலை மேம்படுத்துகின்றன.
• குறைக்கப்பட்ட பராமரிப்பு செலவுகள்: நீடித்த பொருட்கள் மற்றும் துல்லியமான பொறியியல் அடிக்கடி மாற்றுதல் மற்றும் பராமரிப்பு தேவையை குறைக்கிறது, ஒட்டுமொத்த உற்பத்தி செலவுகளை குறைக்கிறது.
எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் எபி பான் கேரியர் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், இது குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை நேரடியாக பாதிக்கிறது. சரியான பொருட்கள் மற்றும் வடிவமைப்பைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம், உற்பத்தியாளர்கள் எபிடாக்சியல் செயல்முறையை மேம்படுத்தலாம், இது மேம்பட்ட சாதன செயல்திறன் மற்றும் குறைக்கப்பட்ட உற்பத்தி செலவுகளுக்கு வழிவகுக்கும். மேம்பட்ட மின்னணு சாதனங்களுக்கான தேவை அதிகரித்து வருவதால், உயர்தரத்தின் முக்கியத்துவம்எபி பான் கேரியர்கள்குறைக்கடத்தி துறையில் தொடர்ந்து அதிகரித்து வருகிறது.
இடுகை நேரம்: ஆகஸ்ட்-13-2024