SiC அடி மூலக்கூறுகளுக்கு எவ்வாறு உற்பத்தி-செயலாக்க வழிமுறைகள் பின்வருமாறு:
1. கிரிஸ்டல் ஓரியண்டேஷன்: எக்ஸ்ரே டிஃப்ராஃப்ரக்ஷனைப் பயன்படுத்தி படிக இங்காட்டை நோக்குநிலைப்படுத்துதல்.ஒரு X-கதிர் கற்றை விரும்பிய படிக முகத்தில் செலுத்தப்படும் போது, மாறுபடும் கற்றையின் கோணம் படிக நோக்குநிலையை தீர்மானிக்கிறது.
2. வெளிப்புற விட்டம் அரைத்தல்: கிராஃபைட் சிலுவைகளில் வளர்க்கப்படும் ஒற்றை படிகங்கள் பெரும்பாலும் நிலையான விட்டம் அதிகமாக இருக்கும்.வெளிப்புற விட்டம் அரைப்பது அவற்றை நிலையான அளவுகளுக்கு குறைக்கிறது.
முகத்தை அரைத்தல்எண்ட் ஃபேஸ் அரைப்பது இந்த நிலைப்படுத்தல் விளிம்புகளைத் திறக்கிறது.
3. கம்பி அறுக்கும்: 4H-SiC அடி மூலக்கூறுகளை செயலாக்குவதில் கம்பி அறுக்கும் ஒரு முக்கியமான படியாகும்.கம்பி அறுக்கும் போது ஏற்படும் விரிசல்கள் மற்றும் துணை மேற்பரப்பு சேதம் அடுத்தடுத்த செயல்முறைகளை எதிர்மறையாக பாதிக்கிறது, செயலாக்க நேரத்தை நீட்டித்து பொருள் இழப்பை ஏற்படுத்துகிறது.வைர சிராய்ப்பு கொண்ட பல கம்பி அறுக்கும் மிகவும் பொதுவான முறை.4H-SiC இங்காட்டை வெட்ட, வைர உராய்வுகளுடன் பிணைக்கப்பட்ட உலோகக் கம்பிகளின் பரஸ்பர இயக்கம் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
4. சேம்ஃபரிங்: விளிம்பு சிப்பிங்கைத் தடுக்கவும், அடுத்தடுத்த செயல்முறைகளின் போது நுகர்வு இழப்புகளைக் குறைக்கவும், வயர்-சான் சில்லுகளின் கூர்மையான விளிம்புகள் குறிப்பிட்ட வடிவங்களுக்கு மாற்றப்படுகின்றன.
5. மெலிதல்: கம்பி அறுக்கும் பல கீறல்கள் மற்றும் துணை மேற்பரப்பு சேதங்கள்.இந்த குறைபாடுகளை முடிந்தவரை அகற்ற வைர சக்கரங்களைப் பயன்படுத்தி மெல்லியதாக மாற்றப்படுகிறது.
6. அரைத்தல்: இந்த செயல்முறையானது சிறிய அளவிலான போரான் கார்பைடு அல்லது வைர உராய்வுகளைப் பயன்படுத்தி கரடுமுரடான அரைத்தல் மற்றும் மெல்லிய அரைக்கும் போது எஞ்சியிருக்கும் சேதங்கள் மற்றும் புதிய சேதங்களை அகற்றும்.
7. மெருகூட்டல்: இறுதிப் படிகளில் அலுமினா அல்லது சிலிக்கான் ஆக்சைடு உராய்வைப் பயன்படுத்தி கடினமான மெருகூட்டல் மற்றும் நன்றாக மெருகூட்டல் ஆகியவை அடங்கும்.மெருகூட்டல் திரவமானது மேற்பரப்பை மென்மையாக்குகிறது, பின்னர் அது சிராய்ப்புகளால் இயந்திரத்தனமாக அகற்றப்படுகிறது.இந்த படி ஒரு மென்மையான மற்றும் சேதமடையாத மேற்பரப்பை உறுதி செய்கிறது.
8. சுத்தம் செய்தல்: துகள்கள், உலோகங்கள், ஆக்சைடு படங்கள், கரிம எச்சங்கள் மற்றும் பிற அசுத்தங்களை செயலாக்க படிகளில் இருந்து நீக்குதல்.
இடுகை நேரம்: மே-15-2024