இன் தூய்மைசெதில் மேற்பரப்புஅடுத்தடுத்த குறைக்கடத்தி செயல்முறைகள் மற்றும் தயாரிப்புகளின் தகுதி விகிதத்தை பெரிதும் பாதிக்கும். அனைத்து மகசூல் இழப்புகளில் 50% வரை ஏற்படுகிறதுசெதில் மேற்பரப்புமாசுபடுதல்.
சாதனத்தின் மின் செயல்திறன் அல்லது சாதன உற்பத்தி செயல்பாட்டில் கட்டுப்பாடற்ற மாற்றங்களை ஏற்படுத்தக்கூடிய பொருள்கள் கூட்டாக அசுத்தங்கள் என குறிப்பிடப்படுகின்றன. அசுத்தங்கள் செதில், சுத்தமான அறை, செயலாக்க கருவிகள், செயல்முறை இரசாயனங்கள் அல்லது நீர் ஆகியவற்றிலிருந்து வரலாம்.வேஃபர்மாசுபாடு பொதுவாக காட்சி கண்காணிப்பு, செயல்முறை ஆய்வு அல்லது இறுதி சாதன சோதனையில் சிக்கலான பகுப்பாய்வு உபகரணங்களைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் கண்டறியப்படலாம்.
▲சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பில் உள்ள அசுத்தங்கள் | பட மூல நெட்வொர்க்
மாசுபடுத்தல் பகுப்பாய்வின் முடிவுகள், மாசுபாட்டின் அளவு மற்றும் வகையைப் பிரதிபலிக்க பயன்படுத்தப்படலாம்செதில்ஒரு குறிப்பிட்ட செயல்முறை படி, ஒரு குறிப்பிட்ட இயந்திரம் அல்லது ஒட்டுமொத்த செயல்முறை. கண்டறியும் முறைகளின் வகைப்பாட்டின் படி,செதில் மேற்பரப்புமாசுபாட்டை பின்வரும் வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்.
உலோக மாசுபாடு
உலோகங்களால் ஏற்படும் மாசுபாடு பல்வேறு அளவுகளில் குறைக்கடத்தி சாதன குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தும்.
ஆல்காலி உலோகங்கள் அல்லது கார பூமி உலோகங்கள் (Li, Na, K, Ca, Mg, Ba, முதலியன) pn கட்டமைப்பில் கசிவு மின்னோட்டத்தை ஏற்படுத்தும், இது ஆக்சைட்டின் முறிவு மின்னழுத்தத்திற்கு வழிவகுக்கிறது; மாற்றம் உலோகம் மற்றும் கன உலோகம் (Fe, Cr, Ni, Cu, Au, Mn, Pb, முதலியன) மாசுபாடு கேரியர் வாழ்க்கைச் சுழற்சியைக் குறைக்கலாம், கூறுகளின் சேவை ஆயுளைக் குறைக்கலாம் அல்லது கூறு வேலை செய்யும் போது இருண்ட மின்னோட்டத்தை அதிகரிக்கும்.
உலோக மாசுபாட்டைக் கண்டறிவதற்கான பொதுவான முறைகள் மொத்த பிரதிபலிப்பு எக்ஸ்ரே ஃப்ளோரசன்ஸ், அணு உறிஞ்சும் நிறமாலை மற்றும் தூண்டல் இணைக்கப்பட்ட பிளாஸ்மா மாஸ் ஸ்பெக்ட்ரோமெட்ரி (ICP-MS) ஆகும்.
▲ செதில் மேற்பரப்பு மாசுபாடு | ஆராய்ச்சிகேட்
உலோக மாசுபாடு, சுத்தம் செய்தல், பொறித்தல், லித்தோகிராபி, படிவு போன்றவற்றில் பயன்படுத்தப்படும் வினைப்பொருட்கள் அல்லது அடுப்புகள், உலைகள், அயன் பொருத்துதல் போன்ற செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் இயந்திரங்களிலிருந்து வரலாம் அல்லது கவனக்குறைவான செதில் கையாளுதலால் ஏற்படலாம்.
துகள் மாசுபாடு
மேற்பரப்பு குறைபாடுகளிலிருந்து சிதறிய ஒளியைக் கண்டறிவதன் மூலம் உண்மையான பொருள் வைப்பு பொதுவாக கவனிக்கப்படுகிறது. எனவே, துகள் மாசுபாட்டிற்கான மிகவும் துல்லியமான அறிவியல் பெயர் ஒளி-புள்ளி குறைபாடு ஆகும். துகள் மாசுபாடு பொறித்தல் மற்றும் லித்தோகிராஃபி செயல்முறைகளில் தடுப்பு அல்லது மறைத்தல் விளைவுகளை ஏற்படுத்தும்.
பட வளர்ச்சி அல்லது படிவின் போது, பின்ஹோல்களும் மைக்ரோவாய்டுகளும் உருவாக்கப்படுகின்றன, மேலும் துகள்கள் பெரியதாகவும் கடத்தும் தன்மையுடனும் இருந்தால், அவை குறுகிய சுற்றுகளை கூட ஏற்படுத்தலாம்.
▲ துகள் மாசு உருவாக்கம் | பட மூல நெட்வொர்க்
ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபியின் போது சிறிய துகள் மாசுபாடு மேற்பரப்பில் நிழல்களை ஏற்படுத்தும். ஃபோட்டோமாஸ்க் மற்றும் ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் லேயருக்கு இடையில் பெரிய துகள்கள் அமைந்திருந்தால், அவை தொடர்பு வெளிப்பாட்டின் தீர்மானத்தை குறைக்கலாம்.
கூடுதலாக, அவை அயனி பொருத்துதல் அல்லது உலர் பொறித்தல் ஆகியவற்றின் போது துரிதப்படுத்தப்பட்ட அயனிகளைத் தடுக்கலாம். துகள்களும் படத்தால் மூடப்பட்டிருக்கலாம், அதனால் புடைப்புகள் மற்றும் புடைப்புகள் உள்ளன. அடுத்தடுத்த டெபாசிட் செய்யப்பட்ட அடுக்குகள் விரிசல் ஏற்படலாம் அல்லது இந்த இடங்களில் திரட்சியை எதிர்க்கலாம், இது வெளிப்பாட்டின் போது சிக்கல்களை ஏற்படுத்தும்.
கரிம மாசுபாடு
கார்பன் கொண்ட அசுத்தங்கள், அத்துடன் C உடன் தொடர்புடைய பிணைப்பு கட்டமைப்புகள், கரிம மாசுபாடு என்று அழைக்கப்படுகின்றன. கரிம அசுத்தங்கள் எதிர்பாராத ஹைட்ரோபோபிக் பண்புகளை ஏற்படுத்தும்செதில் மேற்பரப்பு, மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையை அதிகரிக்கவும், மங்கலான மேற்பரப்பை உருவாக்கவும், எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சியை சீர்குலைக்கவும், அசுத்தங்கள் முதலில் அகற்றப்படாவிட்டால் உலோக மாசுபாட்டின் சுத்திகரிப்பு விளைவை பாதிக்கும்.
இத்தகைய மேற்பரப்பு மாசுபாடு பொதுவாக வெப்ப சிதைவு MS, எக்ஸ்ரே ஒளிமின்னழுத்த நிறமாலை மற்றும் ஆகர் எலக்ட்ரான் ஸ்பெக்ட்ரோஸ்கோபி போன்ற கருவிகளால் கண்டறியப்படுகிறது.
▲பட மூல நெட்வொர்க்
வாயு மாசுபாடு மற்றும் நீர் மாசுபாடு
வளிமண்டல மூலக்கூறுகள் மற்றும் மூலக்கூறு அளவு கொண்ட நீர் மாசுபாடு பொதுவாக சாதாரண உயர் திறன் கொண்ட துகள் காற்று (HEPA) அல்லது அல்ட்ரா-குறைந்த ஊடுருவல் காற்று வடிகட்டிகள் (ULPA) மூலம் அகற்றப்படுவதில்லை. இத்தகைய மாசுபாடு பொதுவாக அயன் மாஸ் ஸ்பெக்ட்ரோமெட்ரி மற்றும் கேபிலரி எலக்ட்ரோபோரேசிஸ் மூலம் கண்காணிக்கப்படுகிறது.
சில அசுத்தங்கள் பல வகைகளைச் சேர்ந்ததாக இருக்கலாம், எடுத்துக்காட்டாக, துகள்கள் கரிம அல்லது உலோகப் பொருட்கள் அல்லது இரண்டும் கொண்டதாக இருக்கலாம், எனவே இந்த வகை மாசுபாடு மற்ற வகைகளாகவும் வகைப்படுத்தப்படலாம்.
▲வாயு மூலக்கூறு அசுத்தங்கள் | அயோனிகான்
கூடுதலாக, செதில் மாசுபாட்டை மூலக்கூறு மாசுபாடு, துகள் மாசுபாடு மற்றும் செயல்முறை-பெறப்பட்ட குப்பைகள் மாசுபடுத்துதல் என மாசுபடுத்தும் மூலத்தின் அளவைப் பொறுத்து வகைப்படுத்தலாம். மாசு துகள் அளவு சிறியது, அதை அகற்றுவது மிகவும் கடினம். இன்றைய மின்னணு உதிரிபாக உற்பத்தியில், செதில் சுத்தம் செய்யும் செயல்முறைகள் முழு உற்பத்தி செயல்முறையில் 30% - 40% ஆகும்.
▲சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பில் உள்ள அசுத்தங்கள் | பட மூல நெட்வொர்க்
இடுகை நேரம்: நவம்பர்-18-2024