அறிமுகம்
குறைக்கடத்தி தொழிற்துறையில், முக்கியமான கூறுகளின் நம்பகமான மற்றும் திறமையான செயல்பாட்டை உறுதிப்படுத்த வெப்ப நிலைத்தன்மை மிக முக்கியமானது.குவார்ட்ஸ், சிலிக்கான் டை ஆக்சைட்டின் (SiO2) ஒரு படிக வடிவம், அதன் விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை பண்புகளுக்கு குறிப்பிடத்தக்க அங்கீகாரத்தைப் பெற்றுள்ளது. இந்த கட்டுரை வெப்ப நிலைத்தன்மையை ஆராய்கிறதுகுவார்ட்ஸ்கூறுகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி துறையில் அவற்றின் முக்கிய பங்கு.
வெப்ப நிலைத்தன்மைகுவார்ட்ஸ்கூறுகள்
குவார்ட்ஸ்குறிப்பிடத்தக்க வெப்ப நிலைத்தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது, இது பல்வேறு குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்த பொருளாக அமைகிறது. குவார்ட்ஸ் கூறுகளின் வெப்ப நிலைத்தன்மை பண்புகளுக்கு பின்வரும் காரணிகள் பங்களிக்கின்றன:
உயர் உருகுநிலை:குவார்ட்ஸ்தோராயமாக 1,700 டிகிரி செல்சியஸ் (3,092 டிகிரி பாரன்ஹீட்) மிக உயர்ந்த உருகுநிலையைக் கொண்டுள்ளது. இந்த உயர் உருகுநிலையானது, படிவு, அனீலிங் மற்றும் பரவல் போன்ற குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு செயல்முறைகளின் போது எதிர்கொள்ளும் உயர்ந்த வெப்பநிலையை தாங்குவதற்கு குவார்ட்ஸ் கூறுகளை அனுமதிக்கிறது.
வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம்:குவார்ட்ஸ்வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகத்தைக் கொண்டுள்ளது, அதாவது வெப்பநிலை மாற்றங்களுக்கு பதிலளிக்கும் வகையில் இது விரிவடைந்து சுருங்குகிறது. இந்த பண்பு பரிமாண நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது மற்றும் விரைவான அல்லது தீவிர வெப்பநிலை மாறுபாடுகளுக்கு வெளிப்படும் போது குவார்ட்ஸ் கூறுகளின் சிதைவு அல்லது விரிசல்களைத் தடுக்கிறது.
வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு:குவார்ட்ஸ்வெப்ப அதிர்ச்சிகளுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது, இது ஒரு கூறு திடீர் வெப்பநிலை மாற்றங்களை அனுபவிக்கும் போது ஏற்படும். வெப்ப அதிர்ச்சிகளைத் தாங்கும் அதன் திறன் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் வெப்ப சுழற்சி செயல்முறைகளின் போது குவார்ட்ஸ் கூறுகளின் ஒருமைப்பாடு மற்றும் நீண்ட ஆயுளை உறுதி செய்கிறது.
இன்சுலேடிங் பண்புகள்:குவார்ட்ஸ்ஒரு சிறந்த மின் இன்சுலேட்டராக உள்ளது, இது மின்சாரத்தை கடத்தாமல் அதிக வெப்பநிலை சூழல்களை தாங்க அனுமதிக்கிறது. செமிகண்டக்டர் பயன்பாடுகளில் இந்த பண்பு முக்கியமானது, அங்கு ஷார்ட் சர்க்யூட்களைத் தடுக்கவும் சாதனங்களின் சரியான செயல்பாட்டை உறுதிப்படுத்தவும் மின் காப்பு தேவைப்படுகிறது.
செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையில் குவார்ட்ஸ் கூறுகளின் நன்மைகள்
குவார்ட்ஸ் கூறுகளின் வெப்ப நிலைத்தன்மை பண்புகள் குறைக்கடத்தி துறையில் பல நன்மைகளை வழங்குகின்றன:
அதிக வெப்பநிலையில் நம்பகமான செயல்திறன்: குவார்ட்ஸ் கூறுகள் குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் எதிர்கொள்ளும் அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும், தேவைப்படும் வெப்பச் சூழல்களில் கூட நிலையான மற்றும் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. இந்த நம்பகத்தன்மை செயல்முறை ஒருமைப்பாட்டைப் பேணுவதற்கும் நிலையான முடிவுகளை அடைவதற்கும் முக்கியமானது.
பரிமாண நிலைப்புத்தன்மை: குவார்ட்ஸின் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம் வெவ்வேறு வெப்பநிலை நிலைகளிலும் கூட கூறுகள் அவற்றின் வடிவத்தையும் பரிமாணங்களையும் தக்கவைத்துக்கொள்வதை உறுதி செய்கிறது. துல்லியமான சீரமைப்புகளை அடைவதற்கும், இறுக்கமான சகிப்புத்தன்மையை பராமரிப்பதற்கும், குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் செயல்திறன் விலகல்களைத் தடுப்பதற்கும் இந்த நிலைத்தன்மை இன்றியமையாதது.
செமிகண்டக்டர் பொருட்களுடன் இணக்கத்தன்மை: குவார்ட்ஸ் சிலிக்கான், சிலிக்கான் கார்பைடு, காலியம் நைட்ரைடு மற்றும் பலவற்றை உள்ளடக்கிய பல்வேறு குறைக்கடத்தி பொருட்களுடன் மிகவும் இணக்கமானது. அதன் வெப்ப நிலைத்தன்மை குவார்ட்ஸ் கூறுகளை குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் தடையின்றி ஒருங்கிணைக்க அனுமதிக்கிறது, அவற்றின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கு பங்களிக்கிறது.
மாசுபாட்டிற்கு எதிர்ப்பு: குவார்ட்ஸ் வேதியியல் ரீதியாக செயலற்றது மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்கள், இரசாயனங்கள் மற்றும் குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் பொதுவாக எதிர்கொள்ளும் பிற பொருட்களிலிருந்து மாசுபடுவதை மிகவும் எதிர்க்கும். இந்த எதிர்ப்பானது குவார்ட்ஸ் கூறுகள் அவற்றின் செயல்திறன் மற்றும் செயல்பாட்டை நீண்ட காலத்திற்கு பராமரிக்கிறது, அடிக்கடி சுத்தம் மற்றும் பராமரிப்பின் தேவையை குறைக்கிறது.
செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையில் குவார்ட்ஸ் கூறுகளின் பயன்பாடுகள்
குவார்ட்ஸ் கூறுகள் செமிகண்டக்டர் துறையில் பரவலான பயன்பாடுகளைக் கண்டறிகின்றன, அவற்றுள்:
வேஃபர் கேரியர்கள் மற்றும் படகுகள்: குவார்ட்ஸ் செதில் கேரியர்கள் மற்றும் படகுகள் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் அனீலிங் போன்ற பல்வேறு வெப்ப செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அவற்றின் வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் குறைந்த மாசுபாடு பண்புகள் குறைக்கடத்தி செதில்களின் பாதுகாப்பான கையாளுதல் மற்றும் செயலாக்கத்தை உறுதி செய்கின்றன, குறைபாடுகளின் அபாயத்தைக் குறைக்கின்றன.
உலை குழாய்கள் மற்றும் லைனர்கள்: குவார்ட்ஸ் உலை குழாய்கள் மற்றும் லைனர்கள் ஆக்ஸிஜனேற்றம், பரவல் மற்றும் எபிடாக்ஸி போன்ற உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் வெப்ப காப்பு மற்றும் பாதுகாப்பை வழங்குகின்றன. அவற்றின் வெப்ப நிலைத்தன்மை துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு மற்றும் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை அனுமதிக்கிறது, தேவையான பொருள் பண்புகளை அடைவதற்கு அவசியம்.
குவார்ட்ஸ் விண்டோஸ் மற்றும் வியூபோர்ட்கள்: வெப்ப நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கும் போது ஆப்டிகல் அணுகலை வழங்க குவார்ட்ஸ் ஜன்னல்கள் மற்றும் வியூபோர்ட்கள் உபகரணங்கள் மற்றும் அறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த கூறுகள் காட்சி ஆய்வு, கண்காணிப்பு மற்றும் குறைக்கடத்தி செயல்முறைகள் மற்றும் உபகரணங்களின் சீரமைப்பை செயல்படுத்துகின்றன.
குவார்ட்ஸ் சென்சார்கள் மற்றும் தெர்மோகப்பிள்கள்: குவார்ட்ஸ் அடிப்படையிலான சென்சார்கள் மற்றும் தெர்மோகப்பிள்கள் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் வெப்பநிலை அளவீடு மற்றும் கட்டுப்பாட்டுக்கு பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அவற்றின் வெப்ப நிலைத்தன்மை வெப்பநிலை உணர்திறன் செயல்முறைகளின் துல்லியமான மற்றும் நம்பகமான கண்காணிப்பை உறுதி செய்கிறது.
முடிவுரை
குவார்ட்ஸ் கூறுகளின் வெப்ப நிலைத்தன்மை குறைக்கடத்தி துறையில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, இது முக்கியமான சாதனங்கள் மற்றும் செயல்முறைகளின் நம்பகமான மற்றும் திறமையான செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது. அவற்றின் உயர் உருகுநிலை, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம், வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் இன்சுலேடிங் பண்புகள் ஆகியவற்றுடன், குவார்ட்ஸ் கூறுகள் உயர்ந்த வெப்பநிலை, விரைவான வெப்பநிலை மாற்றங்கள் மற்றும் மின் காப்புத் தேவைகளைத் தாங்கும். உயர் வெப்பநிலையில் நம்பகமான செயல்திறன், பரிமாண நிலைத்தன்மை, குறைக்கடத்தி பொருட்களுடன் பொருந்தக்கூடிய தன்மை மற்றும் மாசுபாட்டிற்கு எதிர்ப்பு உள்ளிட்ட குவார்ட்ஸ் கூறுகளின் நன்மைகள், பல்வேறு குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் அவற்றை இன்றியமையாததாக ஆக்குகின்றன. குறைக்கடத்தி தொழில் தொடர்ந்து வளர்ச்சியடைந்து வருவதால், குவார்ட்ஸ் கூறுகள் வெப்ப நிலைத்தன்மையை அடைவதற்கும், குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் மற்றும் அமைப்புகளின் ஆயுட்காலம் மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்வதற்கும் ஒரு முக்கிய தீர்வாக இருக்கும்.
பின் நேரம்: ஏப்-02-2024