கிரிஸ்டல் வளர்ச்சியில் சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகுகளின் சிறப்பான செயல்திறன்

படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகள் குறைக்கடத்தி புனையலின் மையத்தில் உள்ளன, அங்கு உயர்தர செதில்களின் உற்பத்தி முக்கியமானது. இந்த செயல்முறைகளில் ஒரு ஒருங்கிணைந்த அங்கமாகும்சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) செதில் படகு. SiC வேஃபர் படகுகள் அவற்றின் விதிவிலக்கான செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மை காரணமாக தொழில்துறையில் குறிப்பிடத்தக்க அங்கீகாரத்தைப் பெற்றுள்ளன. இந்த கட்டுரையில், நாம் குறிப்பிடத்தக்க பண்புகளை ஆராய்வோம்SiC செதில் படகுகள்மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் படிக வளர்ச்சியை எளிதாக்குவதில் அவற்றின் பங்கு.

SiC செதில் படகுகள்படிக வளர்ச்சியின் பல்வேறு கட்டங்களில் குறைக்கடத்தி செதில்களை வைத்திருக்கவும் கொண்டு செல்லவும் குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. ஒரு பொருளாக, சிலிக்கான் கார்பைடு விரும்பத்தக்க பண்புகளின் தனித்துவமான கலவையை வழங்குகிறது, இது செதில் படகுகளுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது. முதல் மற்றும் முக்கியமானது அதன் சிறந்த இயந்திர வலிமை மற்றும் உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை. SiC சிறந்த கடினத்தன்மை மற்றும் விறைப்புத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, இது படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளின் போது எதிர்கொள்ளும் தீவிர நிலைமைகளைத் தாங்க அனுமதிக்கிறது.

ஒரு முக்கிய நன்மைSiC செதில் படகுகள்அவற்றின் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகும். வெப்பச் சிதறல் என்பது படிக வளர்ச்சியில் ஒரு முக்கியமான காரணியாகும், ஏனெனில் இது வெப்பநிலை சீரான தன்மையை பாதிக்கிறது மற்றும் செதில்களில் வெப்ப அழுத்தத்தைத் தடுக்கிறது. SiC இன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் திறமையான வெப்ப பரிமாற்றத்தை எளிதாக்குகிறது, செதில்கள் முழுவதும் நிலையான வெப்பநிலை விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது. இந்த குணாதிசயம் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி போன்ற செயல்முறைகளில் குறிப்பாக நன்மை பயக்கும், அங்கு சீரான பட படிவுகளை அடைவதற்கு துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு அவசியம்.

மேலும்,SiC செதில் படகுகள்சிறந்த இரசாயன செயலற்ற தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் அரிக்கும் இரசாயனங்கள் மற்றும் வாயுக்களின் பரவலான எதிர்ப்புகளை அவை எதிர்க்கின்றன. இந்த இரசாயன நிலைத்தன்மை அதை உறுதி செய்கிறதுSiC செதில் படகுகள்கடுமையான செயல்முறை சூழல்களுக்கு நீண்டகால வெளிப்பாட்டின் மீது அவர்களின் ஒருமைப்பாடு மற்றும் செயல்திறனைப் பராமரிக்கவும். இரசாயனத் தாக்குதலுக்கு எதிர்ப்பானது மாசுபடுதல் மற்றும் பொருள் சிதைவைத் தடுக்கிறது, வளர்க்கப்படும் செதில்களின் தரத்தைப் பாதுகாக்கிறது.

SiC செதில் படகுகளின் பரிமாண நிலைத்தன்மை மற்றொரு குறிப்பிடத்தக்க அம்சமாகும். படிக வளர்ச்சியின் போது செதில்களின் துல்லியமான நிலைப்பாட்டை உறுதிசெய்து, அதிக வெப்பநிலையில் கூட அவற்றின் வடிவத்தையும் வடிவத்தையும் பராமரிக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. பரிமாண நிலைப்புத்தன்மையானது படகின் ஏதேனும் சிதைவு அல்லது சிதைவைக் குறைக்கிறது, இது செதில்கள் முழுவதும் தவறான சீரமைப்பு அல்லது சீரான வளர்ச்சிக்கு வழிவகுக்கும். இதன் விளைவாக வரும் குறைக்கடத்தி பொருளில் விரும்பிய படிக நோக்குநிலை மற்றும் சீரான தன்மையை அடைவதற்கு இந்த துல்லியமான நிலைப்பாடு முக்கியமானது.

SiC செதில் படகுகள் சிறந்த மின் பண்புகளையும் வழங்குகின்றன. சிலிக்கான் கார்பைடு என்பது ஒரு குறைக்கடத்தி பொருளாகும், அதன் பரந்த பேண்ட்கேப் மற்றும் உயர் முறிவு மின்னழுத்தத்தால் வகைப்படுத்தப்படுகிறது. SiC இன் உள்ளார்ந்த மின் பண்புகள் படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளின் போது குறைந்தபட்ச மின் கசிவு மற்றும் குறுக்கீட்டை உறுதி செய்கின்றன. உயர்-சக்தி சாதனங்களை வளர்க்கும் போது அல்லது உணர்திறன் மின்னணு கட்டமைப்புகளுடன் பணிபுரியும் போது இது மிகவும் முக்கியமானது, ஏனெனில் இது உற்பத்தி செய்யப்படும் குறைக்கடத்தி பொருட்களின் ஒருமைப்பாட்டைப் பராமரிக்க உதவுகிறது.

கூடுதலாக, SiC செதில் படகுகள் அவற்றின் நீண்ட ஆயுள் மற்றும் மறுபயன்பாட்டிற்கு அறியப்படுகின்றன. அவை நீண்ட செயல்பாட்டு ஆயுட்காலம் கொண்டவை, குறிப்பிடத்தக்க சீரழிவு இல்லாமல் பல படிக வளர்ச்சி சுழற்சிகளைத் தாங்கும் திறன் கொண்டது. இந்த நீடித்தது செலவு-செயல்திறனாக மொழிபெயர்க்கிறது மற்றும் அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை குறைக்கிறது. SiC வேஃபர் படகுகளின் மறுபயன்பாடு நிலையான உற்பத்தி நடைமுறைகளுக்கு பங்களிப்பது மட்டுமல்லாமல், படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் நிலையான செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

முடிவில், SiC செதில் படகுகள் குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கான படிக வளர்ச்சியில் ஒரு ஒருங்கிணைந்த அங்கமாகிவிட்டன. அவற்றின் விதிவிலக்கான இயந்திர வலிமை, உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, வெப்ப கடத்துத்திறன், இரசாயன செயலற்ற தன்மை, பரிமாண நிலைத்தன்மை மற்றும் மின் பண்புகள் ஆகியவை படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளை எளிதாக்குவதில் அவற்றை மிகவும் விரும்பத்தக்கதாக ஆக்குகின்றன. SiC செதில் படகுகள் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை உறுதி செய்கின்றன, மாசுபடுவதைத் தடுக்கின்றன மற்றும் செதில்களின் துல்லியமான நிலைப்பாட்டை செயல்படுத்துகின்றன, இறுதியில் உயர்தர குறைக்கடத்தி பொருட்களின் உற்பத்திக்கு வழிவகுக்கும். மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கான தேவை தொடர்ந்து அதிகரித்து வருவதால், உகந்த படிக வளர்ச்சியை அடைவதில் SiC வேஃபர் படகுகளின் முக்கியத்துவத்தை மிகைப்படுத்த முடியாது.