மின்னணு குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் சிலிக்கான் கார்பைடு முனைகள்

சிலிக்கான் கார்பைடு முனைகள்மின்னணு குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. அவை திரவங்கள் அல்லது வாயுக்களை தெளிக்கப் பயன்படும் ஒரு சாதனமாகும், இது பெரும்பாலும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஈரமான இரசாயன சிகிச்சைக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது. Sic முனை அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, எனவே இது மின்னணு குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு முனை (1)

எலக்ட்ரானிக் செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பில்,சிலிக்கான் கார்பைடு முனைகள்பூச்சு மற்றும் சுத்தம் செய்யும் செயல்முறைகளில் பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. எடுத்துக்காட்டாக, ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி செயல்பாட்டில், ஒரு சிலிக்கான் கார்பைடு முனையானது, ஒரு சிலிக்கான் செதில்களின் மீது ஒரு ஒளிச்சேர்க்கை கரைசலை தெளிக்கப் பயன்படுகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு முனை சீரான தெளித்தல் பண்புகளைக் கொண்டிருப்பதால், அது சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பில் ஒளிச்சேர்க்கையின் சீரான விநியோகத்தை உறுதிசெய்து, அதன் மூலம் உற்பத்தி திறன் மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.

கூடுதலாக,சிலிக்கான் கார்பைடு முனைகள்துப்புரவு செயல்முறைகளில் பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் போது, ​​மேற்பரப்பு அசுத்தங்கள் மற்றும் அசுத்தங்களை அகற்ற சிலிக்கான் செதில்களை சுத்தம் செய்ய வேண்டும். சிலிக்கான் கார்பைடு முனைகள், அதிவேக காற்று அல்லது இரசாயனக் கரைசல்களை தெளிப்பதன் மூலம் சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பை சுத்தம் செய்யலாம், மாசுபடுத்திகளை திறம்பட நீக்கி, உற்பத்தி செயல்முறையின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

மின்னணு குறைக்கடத்தி உற்பத்தி நிறுவனங்களுக்கு, சரியான சிலிக்கான் கார்பைடு முனை தேர்வு செய்வது மிகவும் முக்கியம். முதலில், திசிலிக்கான் கார்பைடு முனைஉற்பத்தி செயல்பாட்டில் அதிக வெப்பநிலை சூழலை சமாளிக்க மிக அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். இரண்டாவதாக, அரிப்பு எதிர்ப்பும் அவசியமானது, ஏனெனில் வலுவான அமிலங்கள் மற்றும் தளங்கள் போன்ற சில இரசாயனங்கள் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. கூடுதலாக, உடைகள் எதிர்ப்பையும் கருத்தில் கொள்ள வேண்டும், ஏனெனில் முனை உராய்வுக்கு உட்பட்டது மற்றும் பயன்பாட்டின் போது தேய்கிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு முனைகளின் செயல்திறனை மேம்படுத்த, உற்பத்தியாளர்கள் பொதுவாக சில மேம்பட்ட உற்பத்தி நுட்பங்களைப் பயன்படுத்துகின்றனர். எடுத்துக்காட்டாக, முனைகள் அவற்றின் இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகளின் நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த உயர் தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களால் செய்யப்படுகின்றன. கூடுதலாக, துல்லியமான செயலாக்கம் மற்றும் மேற்பரப்பு சிகிச்சை மூலம், சிலிக்கான் கார்பைடு முனையின் தெளித்தல் விளைவு மற்றும் சேவை வாழ்க்கை மேம்படுத்தப்படலாம்.

சுருக்கமாக, மின்னணு குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் சிலிக்கான் கார்பைடு முனைகள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. அவை அதிக வெப்பநிலை, அரிப்பு மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன மற்றும் தெளிப்பு திரவ அல்லது வாயு சிகிச்சை செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படலாம். எலக்ட்ரானிக் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி நிறுவனங்கள் சரியான சிலிக்கான் கார்பைடு முனையைத் தேர்வுசெய்து, உற்பத்தி செயல்முறையின் செயல்திறனையும் தயாரிப்பு தரத்தையும் மேம்படுத்த மேம்பட்ட உற்பத்தி தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்த வேண்டும்.

மின்னணு குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் சிலிக்கான் கார்பைடு முனைகள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. அவை அதிக வெப்பநிலை, அரிப்பு மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன மற்றும் தெளிப்பு திரவ அல்லது வாயு சிகிச்சை செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படலாம். ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி செயல்பாட்டில், சிலிக்கான் கார்பைடு முனை, சிலிக்கான் செதில்களின் மீது ஒளிச்சேர்க்கை கரைசலை சமமாக தெளித்து, உற்பத்தி திறன் மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது. துப்புரவு செயல்பாட்டில், சிலிக்கான் கார்பைடு முனை, அதிவேக காற்றோட்டத்தை தெளிப்பதன் மூலமோ அல்லது இரசாயனக் கரைசலை தெளிப்பதன் மூலமோ சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பைச் சுத்தம் செய்து, மாசுகளை அகற்றி, உற்பத்தி செயல்முறையின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது. எலக்ட்ரானிக் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி நிறுவனங்கள் சரியான சிலிக்கான் கார்பைடு முனையைத் தேர்வுசெய்து, உற்பத்தி செயல்முறையின் செயல்திறனையும் தயாரிப்பு தரத்தையும் மேம்படுத்த மேம்பட்ட உற்பத்தி தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்த வேண்டும்.


இடுகை நேரம்: டிசம்பர்-26-2023