ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுகள், தனித்த குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் மற்றும் சக்தி சாதனங்களின் உற்பத்திக்கான முக்கிய மூலப்பொருட்கள் செதில்களாகும். 90% க்கும் அதிகமான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் உயர் தூய்மை, உயர்தர செதில்களில் செய்யப்படுகின்றன.
செதில் தயாரிப்பு உபகரணங்கள் என்பது தூய பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் பொருட்களை ஒரு குறிப்பிட்ட விட்டம் மற்றும் நீளம் கொண்ட சிலிக்கான் ஒற்றை படிக கம்பிப் பொருட்களாக மாற்றும் செயல்முறையை குறிக்கிறது, பின்னர் சிலிக்கான் ஒற்றை படிக கம்பி பொருட்களை தொடர்ச்சியான இயந்திர செயலாக்கம், இரசாயன சிகிச்சை மற்றும் பிற செயல்முறைகளுக்கு உட்படுத்துகிறது.
சிலிக்கான் செதில்கள் அல்லது எபிடாக்சியல் சிலிக்கான் செதில்களை உற்பத்தி செய்யும் உபகரணங்கள் சில வடிவியல் துல்லியம் மற்றும் மேற்பரப்புத் தரத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கின்றன மற்றும் சிப் உற்பத்திக்குத் தேவையான சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறை வழங்குகிறது.
200 மிமீக்கும் குறைவான விட்டம் கொண்ட சிலிக்கான் செதில்களைத் தயாரிப்பதற்கான பொதுவான செயல்முறை ஓட்டம்:
ஒற்றை படிக வளர்ச்சி → துண்டித்தல் → வெளிப்புற விட்டம் உருட்டுதல் → வெட்டுதல் → சேம்ஃபரிங் → அரைத்தல் → பொறித்தல் → பெறுதல் → மெருகூட்டுதல் → சுத்தம் செய்தல் → எபிடாக்ஸி → பேக்கேஜிங் போன்றவை.
300 மிமீ விட்டம் கொண்ட சிலிக்கான் செதில்களை தயாரிப்பதற்கான முக்கிய செயல்முறை ஓட்டம் பின்வருமாறு:
ஒற்றை படிக வளர்ச்சி → துண்டித்தல் → வெளிப்புற விட்டம் உருட்டுதல் → வெட்டுதல் → சேம்ஃபரிங் → மேற்பரப்பு அரைத்தல் → பொறித்தல் → விளிம்பு மெருகூட்டல் → இரட்டை பக்க மெருகூட்டல் → ஒற்றை பக்க பாலிஷ் → இறுதி சுத்தம் → எபிடாக்ஸ் பேக்கேஜிங் போன்றவை.
1.சிலிக்கான் பொருள்
சிலிக்கான் ஒரு செமிகண்டக்டர் பொருளாகும், ஏனெனில் இது 4 வேலன்ஸ் எலக்ட்ரான்களைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பிற உறுப்புகளுடன் கால அட்டவணையின் குழு IVA இல் உள்ளது.
சிலிக்கானில் உள்ள வேலன்ஸ் எலக்ட்ரான்களின் எண்ணிக்கை அதை ஒரு நல்ல கடத்தி (1 வேலன்ஸ் எலக்ட்ரான்) மற்றும் ஒரு இன்சுலேட்டர் (8 வேலன்ஸ் எலக்ட்ரான்கள்) இடையே சரியாக வைக்கிறது.
தூய சிலிக்கான் இயற்கையில் காணப்படவில்லை மற்றும் உற்பத்திக்கு போதுமான தூய்மையானதாக இருக்க பிரித்தெடுக்கப்பட்டு சுத்திகரிக்கப்பட வேண்டும். இது பொதுவாக சிலிக்கா (சிலிக்கான் ஆக்சைடு அல்லது SiO2) மற்றும் பிற சிலிக்கேட்டுகளில் காணப்படுகிறது.
SiO2 இன் பிற வடிவங்களில் கண்ணாடி, நிறமற்ற படிகம், குவார்ட்ஸ், அகேட் மற்றும் பூனையின் கண் ஆகியவை அடங்கும்.
1940 கள் மற்றும் 1950 களின் முற்பகுதியில் செமிகண்டக்டராகப் பயன்படுத்தப்பட்ட முதல் பொருள் ஜெர்மானியம் ஆகும், ஆனால் அது விரைவில் சிலிக்கான் மூலம் மாற்றப்பட்டது.
நான்கு முக்கிய காரணங்களுக்காக சிலிக்கான் முக்கிய குறைக்கடத்தி பொருளாக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டது:
மிகுதியான சிலிக்கான் பொருட்கள்: பூமியின் மேலோட்டத்தில் 25% பங்கு வகிக்கும் சிலிக்கான் பூமியில் இரண்டாவது மிகுதியான தனிமமாகும்.
சிலிக்கான் பொருளின் அதிக உருகுநிலையானது பரந்த செயல்முறை சகிப்புத்தன்மையை அனுமதிக்கிறது: 1412°C இல் உள்ள சிலிக்கானின் உருகுநிலையானது 937°C இல் உள்ள ஜெர்மானியத்தின் உருகுநிலையை விட அதிகமாக உள்ளது. அதிக உருகுநிலை சிலிக்கானை அதிக வெப்பநிலை செயல்முறைகளைத் தாங்க அனுமதிக்கிறது.
சிலிக்கான் பொருட்கள் பரந்த இயக்க வெப்பநிலை வரம்பைக் கொண்டுள்ளன;
சிலிக்கான் ஆக்சைட்டின் இயற்கையான வளர்ச்சி (SiO2): SiO2 என்பது உயர்தர, நிலையான மின் இன்சுலேடிங் பொருள் மற்றும் வெளிப்புற மாசுபாட்டிலிருந்து சிலிக்கானைப் பாதுகாக்க ஒரு சிறந்த இரசாயனத் தடையாக செயல்படுகிறது. ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுகளில் அருகில் உள்ள கடத்திகளுக்கு இடையே கசிவு ஏற்படாமல் இருக்க மின் நிலைத்தன்மை முக்கியமானது. உயர் செயல்திறன் கொண்ட உலோக-ஆக்சைடு குறைக்கடத்தி (MOS-FET) சாதனங்களின் உற்பத்திக்கு SiO2 பொருளின் நிலையான மெல்லிய அடுக்குகளை வளர்ப்பதற்கான திறன் அடிப்படையாகும். SiO2 சிலிக்கான் போன்ற இயந்திர பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது, அதிகப்படியான சிலிக்கான் செதில் வார்ப்பிங் இல்லாமல் உயர்-வெப்பநிலை செயலாக்கத்தை அனுமதிக்கிறது.
2.வேஃபர் தயாரிப்பு
குறைக்கடத்தி செதில்கள் மொத்த குறைக்கடத்தி பொருட்களிலிருந்து வெட்டப்படுகின்றன. இந்த குறைக்கடத்தி பொருள் ஒரு படிக கம்பி என்று அழைக்கப்படுகிறது, இது பாலிகிரிஸ்டலின் மற்றும் அகற்றப்படாத உள்ளார்ந்த பொருளின் பெரிய தொகுதியிலிருந்து வளர்க்கப்படுகிறது.
ஒரு பாலிகிரிஸ்டலின் தொகுதியை ஒரு பெரிய ஒற்றை படிகமாக மாற்றி அதற்கு சரியான படிக நோக்குநிலை மற்றும் பொருத்தமான அளவு N-வகை அல்லது P-வகை ஊக்கமருந்து கொடுப்பது படிக வளர்ச்சி எனப்படும்.
சிலிக்கான் செதில் தயாரிப்பிற்கான ஒற்றை படிக சிலிக்கான் இங்காட்களை தயாரிப்பதற்கான மிகவும் பொதுவான தொழில்நுட்பங்கள் சோக்ரால்ஸ்கி முறை மற்றும் மண்டல உருகும் முறை ஆகும்.
2.1 Czochralski முறை மற்றும் Czochralski ஒற்றை படிக உலை
Czochralski (CZ) முறை, Czochralski (CZ) முறை என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, இது உருகிய குறைக்கடத்தி-தர சிலிக்கான் திரவத்தை சரியான படிக நோக்குநிலையுடன் திட ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் இங்காட்களாக மாற்றும் செயல்முறையை குறிக்கிறது மற்றும் N-வகை அல்லது P-க்கு டோப் செய்யப்படுகிறது. வகை.
தற்போது, சிங்கிள் கிரிஸ்டல் சிலிக்கான் 85% க்கும் அதிகமானவை Czochralski முறையைப் பயன்படுத்தி வளர்க்கப்படுகின்றன.
ஒரு Czochralski ஒற்றை படிக உலை என்பது மூடிய உயர் வெற்றிடம் அல்லது அரிய வாயு (அல்லது மந்த வாயு) பாதுகாப்பு சூழலில் சூடாக்குவதன் மூலம் உயர் தூய்மை பாலிசிலிகான் பொருட்களை திரவமாக உருக்கி, பின்னர் சில வெளிப்புற சிலிகான் பொருட்களை உருவாக்குவதற்கு அவற்றை மறுபடிகமாக்குகிறது. பரிமாணங்கள்.
ஒற்றை படிக உலையின் செயல்பாட்டுக் கொள்கையானது பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் பொருள் ஒரு திரவ நிலையில் ஒற்றை படிக சிலிக்கான் பொருளாக மறுபடிகமாக்குவதன் இயற்பியல் செயல்முறையாகும்.
CZ ஒற்றை படிக உலை நான்கு பகுதிகளாக பிரிக்கப்படலாம்: உலை உடல், இயந்திர பரிமாற்ற அமைப்பு, வெப்பம் மற்றும் வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு மற்றும் எரிவாயு பரிமாற்ற அமைப்பு.
உலை உடல் ஒரு உலை குழி, ஒரு விதை படிக அச்சு, ஒரு குவார்ட்ஸ் க்ரூசிபிள், ஒரு ஊக்கமருந்து ஸ்பூன், ஒரு விதை படிக கவர் மற்றும் ஒரு கண்காணிப்பு சாளரத்தை உள்ளடக்கியது.
உலை குழி என்பது உலையில் உள்ள வெப்பநிலை சமமாக விநியோகிக்கப்படுவதையும், வெப்பத்தை நன்கு வெளியேற்றுவதையும் உறுதி செய்வதாகும்; விதை படிகத்தை மேலும் கீழும் நகர்த்தவும் சுழற்றவும் விதை படிக தண்டு பயன்படுத்தப்படுகிறது; டோப் செய்ய வேண்டிய அசுத்தங்கள் ஊக்கமருந்து கரண்டியில் வைக்கப்படுகின்றன;
விதை படிக உறை என்பது விதை படிகத்தை மாசுபடாமல் பாதுகாப்பதாகும். இயந்திர பரிமாற்ற அமைப்பு முக்கியமாக விதை படிகத்தின் இயக்கம் மற்றும் பிறையின் இயக்கத்தை கட்டுப்படுத்த பயன்படுகிறது.
சிலிக்கான் கரைசல் ஆக்சிஜனேற்றம் அடையாமல் இருக்க, உலையில் உள்ள வெற்றிட அளவு மிக அதிகமாக இருக்க வேண்டும், பொதுவாக 5 டோருக்குக் கீழே இருக்க வேண்டும், மேலும் சேர்க்கப்பட்ட மந்த வாயுவின் தூய்மை 99.9999%க்கு மேல் இருக்க வேண்டும்.
விரும்பிய படிக நோக்குநிலை கொண்ட ஒற்றை படிக சிலிக்கான் ஒரு சிலிக்கான் இங்காட் வளர விதை படிகமாக பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் வளர்ந்த சிலிக்கான் இங்காட் விதை படிகத்தின் பிரதி போன்றது.
உருகிய சிலிக்கான் மற்றும் ஒற்றை படிக சிலிக்கான் விதை படிகத்திற்கு இடையே உள்ள இடைமுகத்தில் உள்ள நிலைமைகள் துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும். இந்த நிலைமைகள் சிலிக்கானின் மெல்லிய அடுக்கு விதை படிகத்தின் கட்டமைப்பை துல்லியமாக பிரதிபலிக்கும் மற்றும் இறுதியில் ஒரு பெரிய ஒற்றை படிக சிலிக்கான் இங்காட்டாக வளரும் என்பதை உறுதி செய்கிறது.
2.2 மண்டல உருகும் முறை மற்றும் மண்டலம் உருகும் ஒற்றை படிக உலை
மிதவை மண்டல முறை (FZ) மிகக் குறைந்த ஆக்ஸிஜன் உள்ளடக்கத்துடன் ஒற்றை படிக சிலிக்கான் இங்காட்களை உருவாக்குகிறது. மிதவை மண்டல முறை 1950 களில் உருவாக்கப்பட்டது மற்றும் இன்றுவரை தூய்மையான ஒற்றை படிக சிலிக்கானை உருவாக்க முடியும்.
மண்டல உருகும் ஒற்றைப் படிக உலை என்பது, அதிக வெற்றிடத்தில் அல்லது அரிதான குவார்ட்ஸ் குழாய் வாயுவில் உள்ள பாலிகிரிஸ்டலின் கம்பி உலை உடலின் உயர் வெப்பநிலை குறுகிய மூடிய பகுதியின் மூலம் பாலிகிரிஸ்டலின் கம்பியில் ஒரு குறுகிய உருகும் மண்டலத்தை உருவாக்க மண்டல உருகும் கொள்கையைப் பயன்படுத்தும் உலையைக் குறிக்கிறது. பாதுகாப்பு சூழல்.
உருகும் மண்டலத்தை நகர்த்துவதற்கு பாலிகிரிஸ்டலின் தடி அல்லது உலை சூடாக்கும் உடலை நகர்த்தி படிப்படியாக ஒற்றை படிக கம்பியாக படிகமாக்கும் செயல்முறை உபகரணங்கள்.
மண்டல உருகும் முறை மூலம் ஒற்றை படிக கம்பிகளை தயாரிப்பதன் சிறப்பியல்பு என்னவென்றால், ஒற்றை படிக தண்டுகளாக படிகமயமாக்கல் செயல்பாட்டில் பாலிகிரிஸ்டலின் தண்டுகளின் தூய்மை மேம்படுத்தப்படலாம், மேலும் தடி பொருட்களின் ஊக்கமருந்து வளர்ச்சி மிகவும் சீரானது.
மண்டலம் உருகும் ஒற்றைப் படிக உலைகளின் வகைகளை இரண்டு வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்: மிதக்கும் மண்டலம் உருகும் ஒற்றைப் படிக உலைகள், மேற்பரப்பு பதற்றம் மற்றும் கிடைமட்ட மண்டலம் உருகும் ஒற்றைப் படிக உலைகள். நடைமுறை பயன்பாடுகளில், மண்டல உருகும் ஒற்றை படிக உலைகள் பொதுவாக மிதக்கும் மண்டல உருகலை ஏற்றுக்கொள்கின்றன.
மண்டலம் உருகும் ஒற்றைப் படிக உலை, க்ரூசிபிள் தேவையில்லாமல் உயர் தூய்மை குறைந்த ஆக்ஸிஜன் ஒற்றைப் படிக சிலிக்கானைத் தயாரிக்கலாம். இது முக்கியமாக உயர்-எதிர்ப்பு (>20kΩ·cm) ஒற்றைப் படிக சிலிக்கான் மற்றும் மண்டல உருகும் சிலிக்கானை சுத்திகரிக்கப் பயன்படுகிறது. இந்த தயாரிப்புகள் முக்கியமாக தனி சக்தி சாதனங்களின் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
மண்டல உருகும் ஒற்றை படிக உலை உலை அறை, மேல் தண்டு மற்றும் கீழ் தண்டு (மெக்கானிக்கல் டிரான்ஸ்மிஷன் பகுதி), ஒரு படிக கம்பி சக், ஒரு விதை படிக சக், ஒரு வெப்பமூட்டும் சுருள் (அதிக அதிர்வெண் ஜெனரேட்டர்), எரிவாயு துறைமுகங்கள் (வெற்றிட துறைமுகம், எரிவாயு நுழைவாயில், மேல் எரிவாயு கடையின்) போன்றவை.
உலை அறை அமைப்பில், குளிரூட்டும் நீர் சுழற்சி ஏற்பாடு செய்யப்பட்டுள்ளது. ஒற்றை படிக உலையின் மேல் தண்டின் கீழ் முனையானது ஒரு படிக கம்பி சக் ஆகும், இது பாலிகிரிஸ்டலின் கம்பியை இறுக்கப் பயன்படுகிறது; கீழ் தண்டின் மேல் முனை ஒரு விதை படிக சக் ஆகும், இது விதை படிகத்தை இறுக்க பயன்படுத்தப்படுகிறது.
வெப்பமூட்டும் சுருளுக்கு உயர் அதிர்வெண் மின்சாரம் வழங்கப்படுகிறது, மேலும் கீழ் முனையிலிருந்து தொடங்கும் பாலிகிரிஸ்டலின் கம்பியில் ஒரு குறுகிய உருகும் மண்டலம் உருவாகிறது. அதே நேரத்தில், மேல் மற்றும் கீழ் அச்சுகள் சுழலும் மற்றும் இறங்குகின்றன, இதனால் உருகும் மண்டலம் ஒரு படிகமாக படிகமாக்கப்படுகிறது.
மண்டலம் உருகும் ஒற்றை படிக உலையின் நன்மைகள் என்னவென்றால், அது தயாரிக்கப்பட்ட ஒற்றை படிகத்தின் தூய்மையை மேம்படுத்துவது மட்டுமல்லாமல், தடி ஊக்கமருந்து வளர்ச்சியை மேலும் சீரானதாக மாற்றும், மேலும் ஒற்றை படிக கம்பியை பல செயல்முறைகள் மூலம் சுத்திகரிக்க முடியும்.
மண்டலம் உருகும் ஒற்றை படிக உலைகளின் தீமைகள் அதிக செயல்முறை செலவுகள் மற்றும் தயாரிக்கப்பட்ட ஒற்றை படிகத்தின் சிறிய விட்டம் ஆகும். தற்போது, தயார் செய்யக்கூடிய ஒற்றை படிகத்தின் அதிகபட்ச விட்டம் 200 மிமீ ஆகும்.
ஒற்றை படிக உலை கருவிகளை உருகும் மண்டலத்தின் ஒட்டுமொத்த உயரம் ஒப்பீட்டளவில் அதிகமாக உள்ளது, மேலும் மேல் மற்றும் கீழ் அச்சுகளின் பக்கவாதம் ஒப்பீட்டளவில் நீளமானது, எனவே நீண்ட ஒற்றை படிக கம்பிகளை வளர்க்கலாம்.
3. செதில் செயலாக்கம் மற்றும் உபகரணங்கள்
செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறை உருவாக்க படிகக் கம்பியானது தொடர்ச்சியான செயல்முறைகளை மேற்கொள்ள வேண்டும், அதாவது ஒரு செதில். செயலாக்கத்தின் அடிப்படை செயல்முறை:
டூம்பிங், கட்டிங், ஸ்லைசிங், வேஃபர் அனீலிங், சேம்ஃபரிங், அரைத்தல், பாலிஷ் செய்தல், சுத்தம் செய்தல் மற்றும் பேக்கேஜிங் செய்தல் போன்றவை.
3.1 வேஃபர் அனீலிங்
பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் மற்றும் சோக்ரால்ஸ்கி சிலிக்கான் உற்பத்தி செயல்பாட்டில், ஒற்றை படிக சிலிக்கான் ஆக்ஸிஜனைக் கொண்டுள்ளது. ஒரு குறிப்பிட்ட வெப்பநிலையில், ஒற்றை படிக சிலிக்கானில் உள்ள ஆக்ஸிஜன் எலக்ட்ரான்களை தானம் செய்யும், மேலும் ஆக்ஸிஜன் ஆக்ஸிஜன் நன்கொடையாளர்களாக மாற்றப்படும். இந்த எலக்ட்ரான்கள் சிலிக்கான் செதில் உள்ள அசுத்தங்களுடன் இணைந்து சிலிக்கான் செதில்களின் எதிர்ப்பை பாதிக்கும்.
அனீலிங் உலை: ஹைட்ரஜன் அல்லது ஆர்கான் சூழலில் உலை வெப்பநிலையை 1000-1200 டிகிரி செல்சியஸ் வரை உயர்த்தும் உலையைக் குறிக்கிறது. வெப்பம் மற்றும் குளிர்ச்சியை வைத்திருப்பதன் மூலம், பளபளப்பான சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்புக்கு அருகில் உள்ள ஆக்ஸிஜன் ஆவியாகி அதன் மேற்பரப்பில் இருந்து அகற்றப்பட்டு, ஆக்ஸிஜன் படிவு மற்றும் அடுக்குகளை ஏற்படுத்துகிறது.
சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பில் உள்ள நுண் குறைபாடுகளைக் கரைக்கும் செயல்முறை உபகரணங்கள், சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பில் உள்ள அசுத்தங்களின் அளவைக் குறைக்கின்றன, குறைபாடுகளைக் குறைக்கின்றன மற்றும் சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பில் ஒப்பீட்டளவில் சுத்தமான பகுதியை உருவாக்குகின்றன.
அனீலிங் உலை அதிக வெப்பநிலை காரணமாக உயர் வெப்பநிலை உலை என்றும் அழைக்கப்படுகிறது. தொழில் சிலிக்கான் வேஃபர் அனீலிங் செயல்முறையை பெறுதல் என்றும் அழைக்கிறது.
சிலிக்கான் செதில் அனீலிங் உலை பிரிக்கப்பட்டுள்ளது:
-கிடைமட்ட அனீலிங் உலை;
- செங்குத்து அனீலிங் உலை;
-விரைவான அனீலிங் உலை.
கிடைமட்ட அனீலிங் உலைக்கும் செங்குத்து அனீலிங் உலைக்கும் இடையிலான முக்கிய வேறுபாடு எதிர்வினை அறையின் தளவமைப்பு திசையாகும்.
கிடைமட்ட அனீலிங் உலையின் எதிர்வினை அறை கிடைமட்டமாக கட்டமைக்கப்பட்டுள்ளது, மேலும் சிலிக்கான் செதில்களின் ஒரு தொகுதியை அனீலிங் உலையின் எதிர்வினை அறைக்குள் ஒரே நேரத்தில் அனீலிங் செய்வதற்காக ஏற்றலாம். அனீலிங் நேரம் பொதுவாக 20 முதல் 30 நிமிடங்கள் ஆகும், ஆனால் எதிர்வினை அறைக்கு அனீலிங் செயல்முறைக்குத் தேவையான வெப்பநிலையை அடைய அதிக வெப்ப நேரம் தேவைப்படுகிறது.
செங்குத்து அனீலிங் உலை செயல்முறையானது, அனீலிங் சிகிச்சைக்காக அனீலிங் உலையின் எதிர்வினை அறைக்குள் சிலிக்கான் செதில்களின் தொகுப்பை ஒரே நேரத்தில் ஏற்றும் முறையைப் பின்பற்றுகிறது. எதிர்வினை அறை ஒரு செங்குத்து அமைப்பு அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது சிலிக்கான் செதில்களை ஒரு குவார்ட்ஸ் படகில் கிடைமட்ட நிலையில் வைக்க அனுமதிக்கிறது.
அதே நேரத்தில், குவார்ட்ஸ் படகு எதிர்வினை அறையில் முழுவதுமாக சுழலும் என்பதால், எதிர்வினை அறையின் அனீலிங் வெப்பநிலை சீரானது, சிலிக்கான் செதில் வெப்பநிலை விநியோகம் சீரானது, மேலும் இது சிறந்த அனீலிங் சீரான பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இருப்பினும், செங்குத்து அனீலிங் உலையின் செயல்முறை விலை கிடைமட்ட அனீலிங் உலையை விட அதிகமாக உள்ளது.
விரைவான அனீலிங் உலை சிலிக்கான் செதில்களை நேரடியாக சூடாக்க ஆலசன் டங்ஸ்டன் விளக்கைப் பயன்படுத்துகிறது. வெப்பமூட்டும் அல்லது குளிரூட்டும் விகிதம் பாரம்பரிய அனீலிங் உலையை விட வேகமானது. எதிர்வினை அறை வெப்பநிலையை 1100°Cக்கு மேல் வெப்பப்படுத்த சில வினாடிகள் மட்டுமே ஆகும்.
—————————————————————————————————————————— ——
செமிசெரா வழங்க முடியும்கிராஃபைட் பாகங்கள்,மென்மையான/கடுமையான உணர்வு,சிலிக்கான் கார்பைடு பாகங்கள், CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பாகங்கள், மற்றும்SiC/TaC பூசப்பட்ட பாகங்கள்30 நாட்களில் முழு குறைக்கடத்தி செயல்முறையுடன்.
மேலே உள்ள குறைக்கடத்தி தயாரிப்புகளில் நீங்கள் ஆர்வமாக இருந்தால், முதல் முறையாக எங்களை தொடர்பு கொள்ள தயங்க வேண்டாம்.
தொலைபேசி: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
இடுகை நேரம்: ஆகஸ்ட்-26-2024