செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறை - எட்ச் தொழில்நுட்பம்

A திரும்ப நூற்றுக்கணக்கான செயல்முறைகள் தேவைசெதில்ஒரு குறைக்கடத்தியில். மிக முக்கியமான செயல்முறைகளில் ஒன்றாகும்பொறித்தல்- அதாவது, சிறந்த சுற்று வடிவங்களை செதுக்குதல்செதில். என்ற வெற்றிபொறித்தல்ஒரு செட் விநியோக வரம்பிற்குள் பல்வேறு மாறிகளை நிர்வகிப்பதில் செயல்முறை தங்கியுள்ளது, மேலும் ஒவ்வொரு செதுக்கல் கருவியும் உகந்த நிலைமைகளின் கீழ் செயல்பட தயாராக இருக்க வேண்டும். இந்த விரிவான செயல்முறையை முடிக்க எங்கள் செதுக்கல் செயல்முறை பொறியாளர்கள் சிறந்த உற்பத்தி தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகின்றனர்.
SK Hynix செய்தி மையம், Icheon DRAM Front Etch, Middle Etch மற்றும் End Etch தொழில்நுட்பக் குழுக்களின் உறுப்பினர்களை அவர்களின் பணியைப் பற்றி மேலும் அறிய நேர்காணல் செய்தது.
எட்ச்: உற்பத்தித்திறனை மேம்படுத்துவதற்கான ஒரு பயணம்
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், பொறித்தல் என்பது மெல்லிய படங்களில் செதுக்கும் வடிவங்களைக் குறிக்கிறது. பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்தி வடிவங்கள் தெளிக்கப்படுகின்றன, இது ஒவ்வொரு செயல்முறையின் இறுதிக் கட்டத்தையும் உருவாக்குகிறது. அதன் முக்கிய நோக்கம், தளவமைப்புக்கு ஏற்ப துல்லியமான வடிவங்களைச் செய்தபின் முன்வைப்பது மற்றும் எல்லா நிலைகளிலும் ஒரே மாதிரியான முடிவுகளைப் பராமரிப்பதாகும்.
படிவு அல்லது ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி செயல்பாட்டில் சிக்கல்கள் ஏற்பட்டால், அவை தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட எச்சிங் (எட்ச்) தொழில்நுட்பம் மூலம் தீர்க்கப்படும். இருப்பினும், பொறிக்கும் செயல்பாட்டின் போது ஏதேனும் தவறு நடந்தால், நிலைமையை மாற்ற முடியாது. ஏனென்றால், அதே பொருளை பொறிக்கப்பட்ட பகுதியில் நிரப்ப முடியாது. எனவே, குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில், ஒட்டுமொத்த மகசூல் மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தை தீர்மானிக்க பொறித்தல் முக்கியமானது.

பொறித்தல் செயல்முறை எட்டு படிகளை உள்ளடக்கியது: ISO, BG, BLC, GBL, SNC, M0, SN மற்றும் MLM.
முதலில், ISO (Isolation) நிலை பொறிப்பு (Etch) சிலிக்கான் (Si) செதில் மீது செயலில் உள்ள செல் பகுதியை உருவாக்குகிறது. BG (Buried Gate) நிலை வரிசை முகவரி வரி (Word Line) 1 மற்றும் மின்னணு சேனலை உருவாக்குவதற்கான நுழைவாயிலை உருவாக்குகிறது. அடுத்து, BLC (பிட் லைன் காண்டாக்ட்) நிலை ISO க்கும் செல் பகுதியில் உள்ள நெடுவரிசை முகவரி வரி (பிட் லைன்) 2 க்கும் இடையே இணைப்பை உருவாக்குகிறது. GBL (பெரி கேட்+செல் பிட் லைன்) நிலை ஒரே நேரத்தில் செல் நெடுவரிசை முகவரிக் கோடு மற்றும் சுற்றளவு 3 இல் உள்ள நுழைவாயிலை உருவாக்கும்.
SNC (சேமிப்பக முனை ஒப்பந்தம்) நிலை செயலில் உள்ள பகுதிக்கும் சேமிப்பக முனை 4க்கும் இடையே தொடர்பை உருவாக்குகிறது. அதன்பின், M0 (Metal0) நிலையானது புற S/D (Storage Node) 5 மற்றும் இணைப்புப் புள்ளிகளின் இணைப்புப் புள்ளிகளை உருவாக்குகிறது. நெடுவரிசை முகவரி வரிக்கும் சேமிப்பக முனைக்கும் இடையில். SN (Storage Node) நிலை அலகு திறனை உறுதிப்படுத்துகிறது, மேலும் MLM (மல்டி லேயர் மெட்டல்) நிலை வெளிப்புற மின்சாரம் மற்றும் உள் வயரிங் ஆகியவற்றை உருவாக்குகிறது, மேலும் முழு எச்சிங் (Etch) பொறியியல் செயல்முறையும் முடிந்தது.

செமிகண்டக்டர்களின் வடிவமைப்பிற்கு முக்கியமாக பொறித்தல் (Etch) தொழில்நுட்ப வல்லுநர்கள் பொறுப்பு என்பதால், DRAM துறை மூன்று குழுக்களாக பிரிக்கப்பட்டுள்ளது: Front Etch (ISO, BG, BLC); மிடில் எட்ச் (ஜிபிஎல், எஸ்என்சி, எம்0); எண்ட் எட்ச் (எஸ்என், எம்எல்எம்). இந்த அணிகள் உற்பத்தி நிலைகள் மற்றும் உபகரணங்களின் நிலைகளின்படி பிரிக்கப்படுகின்றன.
அலகு உற்பத்தி செயல்முறைகளை நிர்வகிப்பதற்கும் மேம்படுத்துவதற்கும் உற்பத்தி நிலைகள் பொறுப்பு. உற்பத்தி நிலைகள் மாறி கட்டுப்பாடு மற்றும் பிற உற்பத்தி மேம்படுத்தல் நடவடிக்கைகள் மூலம் விளைச்சல் மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துவதில் மிக முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.
பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது ஏற்படக்கூடிய சிக்கல்களைத் தவிர்ப்பதற்காக உற்பத்தி உபகரணங்களை நிர்வகிப்பதற்கும் பலப்படுத்துவதற்கும் உபகரண நிலைகள் பொறுப்பாகும். உபகரணங்கள் நிலைகளின் முக்கிய பொறுப்பு உபகரணங்களின் உகந்த செயல்திறனை உறுதி செய்வதாகும்.
பொறுப்புகள் தெளிவாக இருந்தாலும், அனைத்து குழுக்களும் ஒரு பொதுவான இலக்கை நோக்கி வேலை செய்கின்றன - அதாவது, உற்பத்தி செயல்முறைகள் மற்றும் உற்பத்தித்திறனை மேம்படுத்துவதற்கு தொடர்புடைய உபகரணங்களை நிர்வகிக்கவும் மேம்படுத்தவும். இந்த நோக்கத்திற்காக, ஒவ்வொரு அணியும் தங்கள் சொந்த சாதனைகள் மற்றும் முன்னேற்றத்திற்கான பகுதிகளை தீவிரமாக பகிர்ந்து கொள்கிறது, மேலும் வணிக செயல்திறனை மேம்படுத்த ஒத்துழைக்கிறது.
மினியேட்டரைசேஷன் தொழில்நுட்பத்தின் சவால்களை எவ்வாறு சமாளிப்பது

SK Hynix ஜூலை 2021 இல் 10nm (1a) வகுப்பு செயல்முறைக்கான 8Gb LPDDR4 DRAM தயாரிப்புகளை பெருமளவில் உற்பத்தி செய்யத் தொடங்கியது.

செமிகண்டக்டர் மெமரி சர்க்யூட் வடிவங்கள் 10nm சகாப்தத்தில் நுழைந்துள்ளன, மேலும் மேம்பாடுகளுக்குப் பிறகு, ஒரு DRAM சுமார் 10,000 செல்களுக்கு இடமளிக்கும். எனவே, பொறித்தல் செயல்பாட்டில் கூட, செயல்முறை விளிம்பு போதுமானதாக இல்லை.
உருவாக்கப்பட்ட துளை (துளை) 6 மிகவும் சிறியதாக இருந்தால், அது "திறக்கப்படாமல்" தோன்றலாம் மற்றும் சிப்பின் கீழ் பகுதியைத் தடுக்கலாம். கூடுதலாக, உருவாக்கப்பட்ட துளை மிகவும் பெரியதாக இருந்தால், "பிரிட்ஜிங்" ஏற்படலாம். இரண்டு துளைகளுக்கு இடையிலான இடைவெளி போதுமானதாக இல்லாதபோது, ​​"பிரிட்ஜிங்" ஏற்படுகிறது, இதன் விளைவாக அடுத்தடுத்த படிகளில் பரஸ்பர ஒட்டுதல் சிக்கல்கள் ஏற்படுகின்றன. குறைக்கடத்திகள் பெருகிய முறையில் சுத்திகரிக்கப்படுவதால், துளை அளவு மதிப்புகளின் வரம்பு படிப்படியாக சுருங்குகிறது, மேலும் இந்த அபாயங்கள் படிப்படியாக அகற்றப்படும்.
மேலே உள்ள சிக்கல்களைத் தீர்க்க, பொறித்தல் தொழில்நுட்ப வல்லுநர்கள் செயல்முறை செய்முறை மற்றும் APC7 அல்காரிதம் மாற்றியமைத்தல் மற்றும் ADCC8 மற்றும் LSR9 போன்ற புதிய பொறித்தல் தொழில்நுட்பங்களை அறிமுகப்படுத்துதல் உள்ளிட்ட செயல்முறையை தொடர்ந்து மேம்படுத்துகின்றனர்.
வாடிக்கையாளர் தேவைகள் மிகவும் மாறுபட்டதாக இருப்பதால், மற்றொரு சவால் வெளிப்பட்டுள்ளது - பல தயாரிப்பு உற்பத்தியின் போக்கு. அத்தகைய வாடிக்கையாளர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய, ஒவ்வொரு தயாரிப்புக்கும் உகந்த செயல்முறை நிலைமைகள் தனித்தனியாக அமைக்கப்பட வேண்டும். பொறியாளர்களுக்கு இது மிகவும் சிறப்பான சவாலாகும், ஏனெனில் அவர்கள் நிறுவப்பட்ட நிலைமைகள் மற்றும் பன்முகப்படுத்தப்பட்ட நிலைமைகளின் தேவைகளை வெகுஜன உற்பத்தி தொழில்நுட்பத்தை உருவாக்க வேண்டும்.
இந்த நோக்கத்திற்காக, Etch பொறியாளர்கள் "APC ஆஃப்செட்"10 தொழில்நுட்பத்தை முக்கிய தயாரிப்புகளின் (கோர் தயாரிப்புகள்) அடிப்படையில் பல்வேறு வழித்தோன்றல்களை நிர்வகிக்க அறிமுகப்படுத்தினர், மேலும் பல்வேறு தயாரிப்புகளை விரிவாக நிர்வகிக்க "T-இன்டெக்ஸ் சிஸ்டத்தை" நிறுவி பயன்படுத்துகின்றனர். இந்த முயற்சிகள் மூலம், பல தயாரிப்பு உற்பத்தியின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய இந்த அமைப்பு தொடர்ந்து மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது.